一种清洗机制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片制造技术领域，提供一种清洗机，包括至少一个用于清洗硅片的清洗槽

【技术实现步骤摘要】
一种清洗机


[0001]本技术涉及硅片制造
，具体涉及一种清洗机
。

技术介绍

[0002]硅棒切割为硅片后需要进行清洗，清洗完硅片后需将水分烘干，使硅片表面无脏污
。
清洗的后一道工序是烘干下料，烘干的温度通常为
95℃。
从烘干槽出来的硅片需要在下料区中几分钟内冷却至常温，然后进分选机进行筛选检测
。
现有技术中通常使用单独设置的风幕机对硅片进行吹风冷却，单独使用风幕机降温所需时间长，能耗较高；而如配合另外的制冷设备，虽然降温效率提高，但是会进一步增加能耗
。
[0003]烘干的前一工位是慢提拉槽，硅片在一定温度的水中缓慢提拉取出，使硅片表面尽量不挂珠，避免硅片表面的水印
。
为了保持慢提拉槽里面的水质，需要在每次进硅片后进行
20
秒时间的溢流
。
由于慢拉槽水的温度通常为
90℃
，而硅片在慢拉槽内的时间约4分钟左右，为了给慢拉槽连续提供纯水，需要提前将水温加热至
90℃。
现有技术中使用预热槽为慢拉槽提供纯水，预热槽中的水通过单独设置的电热管进行加热，能耗较高
。
[0004]由于以上各种原因，导致现有技术的清洗机的能耗较高
。
因此需要一种方案，降低清洗机的能耗
。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种清洗机，以解决现有技术的清洗机能耗较高的问题
。
[0006]本技术提供一种清洗机，包括至少一个用于清洗硅片的清洗槽
、
以及对硅片进行烘干的烘干区，还包括：慢提拉槽，设置于所述清洗槽与所述烘干区之间，用于经过清洗的硅片进行清水慢提拉处理；下料区，设置于所述烘干区后，所述下料区适于放置用于盛放最终烘干后的硅片的花篮；所述下料区还设置有风冷系统，适于对放置于所述下料区的花篮进行吹风冷却；预热槽，包括设置于所述预热槽内的水温预热系统，适于将所述预热槽内的水预热至设定温度，并向所述慢提拉槽持续提供设定温度的水；热交换系统，包括空气能量分离装置，所述空气能量分离装置具有空气入口
、
热供能端和冷供能端，所述热供能端适于连接并向所述水温预热系统提供热能，所述冷供能端适于连接并向所述风冷系统提供冷能
。
[0007]可选的，所述空气能量分离装置为涡流管，所述涡流管具有压缩空气入口
、
热端出口和冷端出口；所述压缩空气入口连通压缩空气泵；所述热端出口连通所述水温预热系统，向所述水温预热系统提供热气；所述冷端出口连通所述风冷系统，向所述风冷系统提供冷气
。
[0008]可选的，所述水温预热系统包括热盘管，所述热盘管至少设置于所述预热槽的侧壁；所述热盘管的始端设置于所述预热槽的侧壁长度方向的一端，连通所述热端出口；所述热盘管自所述预热槽的侧壁长度方向的一端延伸至另一端，弯曲折返后继续延伸，至侧壁初始一侧再次弯曲折返后继续延伸，反复延伸
‑
弯曲多次后均匀分布于侧壁的整个壁面；所
述热盘管的末端连通外部空气；所述热盘管至少在所述预热槽的侧壁上蛇形设置
。
[0009]可选的，所述热盘管设置于所述预热槽的相对两个侧壁上
。
[0010]可选的，所述热交换系统包括热气传输管，所述热气传输管连通所述涡流管的所述热端出口和所述热盘管的始端
。
[0011]可选的，所述热气传输管为外表面包裹隔热棉的铜管
。
[0012]可选的，所述风冷系统包括冷却风刀和固定支架，所述冷却风刀设置于所述固定支架上；所述冷却风刀的入风口连通所述涡流管的冷端出口，所述冷却风刀的出风口朝向所述花篮
。
[0013]可选的，所述固定支架的高度高于所述花篮
。
[0014]可选的，所述冷却风刀的数量为多个，所述多个冷却风刀沿所述多个花篮的排列方向多排并列平行设置
。
[0015]可选的，所述热交换系统包括冷气传输管，所述冷气传输管连通所述涡流管的所述冷端出口和所述冷却风刀的入风口
。
[0016]可选的，所述冷气传输管为外表面包裹隔热棉的铜管
。
[0017]本技术的有益效果在于：
[0018]本技术提供的清洗机，通过热交换系统中的涡流管，分别向预热槽的水温预热系统提供热气和向下料区的风冷系统提供冷气
。
空气能量分离装置，例如涡流管是一种结构非常简单的能量分离装置，工作时从压缩空气入口进入的压缩气体在喷嘴内膨胀加速后旋转，然后气流以高速度沿切线方向进入涡流管
。
气流在涡流管内高速旋转时，经过涡流变换后分离成总温不相等的两部分气流，处于涡流室中心部位的气流温度低，这股冷气流通过发生器中心形成超低温冷气汇集到冷端出口排出
。
而处于涡流室外层部位的气流经涡流加速后温度高，汇集到热端出口排出
。
从而可以得到制冷效果或制热效果
。
本技术的清洗机通过涡流管同时对预热槽的水温预热系统提供热气和对下料区的风冷系统提供冷气，无需单独设置电热管和风幕机
。
由于涡流管的以上过程是在压缩空气进入涡流管后由于涡流管内部结构而自发进行的，因此涡流管自身能耗很低，热交换系统仅需考虑压缩空气泵的耗能
。
而压缩空气泵的能耗相比电热管和风幕机的总和要低，故而可以降低清洗机整体的能耗
。
此外涡流管还可通过自身的调节阀调节压缩空气进入腔室后前往冷端和热端的比例，从而调节热端出口和冷端出口的出气比例，具有相对自由的温度控制能力
。
此外，进入涡流管的压缩空气气压是可调的，气压越高，产生的高温或者低温也就越多，因此可以通过对压缩空气入口进入的压缩空气的气压进行调整，以配合调整预热槽的水温和下料区的气温，从而调控预热槽原本的电热管的能耗以及下料区原本的风幕机的能耗
。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0020]图1为本技术的一个实施例的清洗机的局部结构示意图；
[0021]图2为图1的局部结构在下料区设置有花篮和硅片时的状态示意图
。
[0022]附图标记：
[0023]100.
预热槽；
110.
热盘管；
111.
热盘管始端；
112
热盘管终端；
[0024]200.
下料区；
210.
花篮；
220.
固定支架；
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种清洗机，包括至少一个用于清洗硅片的清洗槽
、
以及对硅片进行烘干的烘干区，其特征在于，还包括：慢提拉槽，设置于所述清洗槽与所述烘干区之间，用于对经过清洗的硅片进行清水慢提拉处理；下料区，设置于所述烘干区后，所述下料区适于放置用于盛放最终烘干后的硅片的花篮；所述下料区还设置有风冷系统，适于对放置于所述下料区的花篮进行吹风冷却；预热槽，包括设置于所述预热槽内的水温预热系统，适于将所述预热槽内的水预热至设定温度，并向所述慢提拉槽持续提供设定温度的水；热交换系统，包括空气能量分离装置，所述空气能量分离装置具有空气入口
、
热供能端和冷供能端，所述热供能端适于连接并向所述水温预热系统提供热能，所述冷供能端适于连接并向所述风冷系统提供冷能
。2.
根据权利要求1所述的清洗机，其特征在于，所述空气能量分离装置为涡流管，所述涡流管具有压缩空气入口
、
热端出口和冷端出口；所述压缩空气入口连通压缩空气泵；所述热端出口连通所述水温预热系统，向所述水温预热系统提供热气；所述冷端出口连通所述风冷系统，向所述风冷系统提供冷气
。3.
根据权利要求2所述的清洗机，其特征在于，所述水温预热系统包括热盘管，所述热盘管至少设置于所述预热槽的侧壁；所述热盘管的始端设置于...

【专利技术属性】
技术研发人员：白运发，王进，任检，张银鹏，
申请(专利权)人：安徽华晟新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：