干燥装置及掩膜版的干燥方法制造方法及图纸

本申请涉及一种干燥装置及掩膜版的干燥方法

【技术实现步骤摘要】
干燥装置及掩膜版的干燥方法


[0001]本申请涉及掩膜版
，特别是涉及一种干燥装置及掩膜版的干燥方法
。

技术介绍

[0002]在
OLED(Organic Light Emitting Diode)
显示器件的蒸镀制程中，需要使用掩膜版
(MASK)
将蒸镀材料沉积于基板上形成薄膜
。
掩膜版使用后必须进行清洗和干燥
。
目前，一般采用药液和水组合使用的清洗方式对掩膜版进行清洗，然后采用线性风刀对掩膜版两侧表面进行吹风干燥
。
[0003]由于掩膜版制作精度要求高，掩膜版上会有对位孔，清洗时液体进入对位孔后无法流出，从而会在对位孔的孔内残留液体
。
而目前所使用的干燥装置对掩膜版干燥时，会存在对位孔内的残留液体干燥效果不佳的问题，使得对位孔周围和内部有药液和水渍残留的情况
。
这样，一方面导致下游设备使用时无法精确对位，影响蒸镀精度，另一方面还会对蒸镀机的真空度和产品寿命有不同程度的负面影响
。

技术实现思路

[0004]基于上述问题，本申请提出了一种干燥装置及掩膜版的干燥方法，以利于提高对掩膜版的干燥效果，降低干燥后药液和水渍残留情况发生的概率
。
[0005]本申请第一方面的实施例提出一种干燥装置，所述干燥装置包括：干燥空间，所述干燥空间具有相对设置的第一部分和第二部分，所述干燥空间用于放置待干燥物体；吹气结构，所述吹气结构的出风端设置在所述第一部分上；以及吸气结构，所述吹气结构的吸风端设置在所述第二部分上，所述吸气结构与所述吹气结构对应设置
。
[0006]在一些实施例中，所述吹气结构包括气源以及与所述气源连通的至少一个吹气头，所述吹气头设置在所述第一部分上，每个所述吹气头包括一个第一出风口，所述第一出风口配置为提供第一方向的风，所述第一方向为所述第一部分指向所述第二部分的方向
。
[0007]在一些实施例中，所述吸气结构包括抽风机以及与所述抽风机连通的至少一个吸气头，所述吸气头设置在所述第二部分上，每个所述吸气头包括一个吸风口，所述吸风口配置为提供第一方向的风，所述第一方向为所述第一部分指向所述第二部分的方向
。
[0008]在一些实施例中，所述干燥装置还包括设置在所述第一部分上的多个第一风刀以及设置在所述第二部分上的多个第二风刀，所述第一风刀和所述第二风刀配置为向所述干燥空间内吹风
。
[0009]在一些实施例中，所述干燥装置还包括加热器，所述加热器配置为对所述吹气结构
、
所述第一风刀和
/
或所述第二风刀内的气体加热
。
[0010]在一些实施例中，所述吹气结构包括气源以及与所述气源连通的多个第三风刀，所述第三风刀设置在所述第一部分上，所述第三风刀包括第二出风口，所述第二出风口配置为提供第一方向的风，所述第二出风口与所述吸气头对应设置
。
[0011]在一些实施例中，所述第三风刀包括第三出风口，与所述第二出风口相邻设置，所
述第三出风口配置为提供第一方向的风，所述第三出风口与所述吸气头错位设置
。
[0012]本申请第二方面的实施例提出一种掩膜版的干燥方法，应用于如第一方面所述的干燥装置，所述掩膜版包括掩膜版本体以及设置在所述掩膜版本体上的多个对位孔，所述掩膜版的干燥方法包括：
[0013]将所述掩膜版放置于所述干燥空间内；
[0014]开启所述吹气结构和所述吸气结构，以对所述对位孔内的残留液体进行干燥
。
[0015]在一些实施例中，所述掩膜版本体包括相对的第一表面和第二表面，每个所述对位孔包括第一孔段和第二孔段，第一孔段靠近所述第一表面设置，第二孔段靠近所述第二表面设置；
[0016]所述第一孔段在所述第一表面所在平面的正投影位于所述第二孔段在所述第一表面所在平面的正投影的内部
。
[0017]在一些实施例中，当所述掩膜版放置于所述干燥空间时，所述吹气结构的出风端与所述第一孔段对应设置，所述吸气结构的吸风端与所述第二孔段对应设置；
[0018]在所述将所述掩膜版放置于所述干燥空间内的步骤之后，所述掩膜版的干燥方法还包括：
[0019]将所述对位孔分别与所述吹气结构和所述吸气结构对准
。
[0020]在一些实施例中，所述第一孔段为圆柱形，所述吹气结构的出风端的直径小于等于所述第一孔段的直径
。
[0021]本申请中，通过设置吹气结构和吸气结构，从而利用主动抽风的方式引导对位孔内的风流出，提高对位孔内的风速和风量，进而有利于提高干燥装置的干燥效果，降低掩膜版干燥后药液和水渍残留情况发生的概率
。
附图说明
[0022]图1为相关技术中干燥装置干燥掩膜版的结构示意图；
[0023]图2为本申请实施例的其中一种干燥装置的结构示意图；
[0024]图3为图2所示的干燥装置干燥掩膜版的结构示意图；
[0025]图4为本申请实施例的另一种干燥装置的结构示意图；
[0026]图5为图4所示的干燥装置干燥掩膜版的结构示意图；
[0027]图6为本申请实施例的掩膜版的干燥方法的流程示意图
。
具体实施方式
[0028]为使本申请的上述目的
、
特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明
。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请
。
但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制
。
[0029]在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示
或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制
。
[0030]此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量
。
由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征
。
在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定
。
[0031]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种干燥装置，其特征在于，所述干燥装置包括：干燥空间，所述干燥空间具有相对设置的第一部分和第二部分，所述干燥空间用于放置待干燥物体；吹气结构，所述吹气结构的出风端设置在所述第一部分上；以及吸气结构，所述吹气结构的吸风端设置在所述第二部分上，所述吸气结构与所述吹气结构对应设置
。2.
根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述吹气结构包括气源以及与所述气源连通的至少一个吹气头，所述吹气头设置在所述第一部分上，每个所述吹气头包括一个第一出风口，所述第一出风口配置为提供第一方向的风，所述第一方向为所述第一部分指向所述第二部分的方向
。3.
根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述吸气结构包括抽风机以及与所述抽风机连通的至少一个吸气头，所述吸气头设置在所述第二部分上，每个所述吸气头包括一个吸风口，所述吸风口配置为提供第一方向的风，所述第一方向为所述第一部分指向所述第二部分的方向
。4.
根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥装置还包括设置在所述第一部分上的多个第一风刀以及设置在所述第二部分上的多个第二风刀，所述第一风刀和所述第二风刀配置为向所述干燥空间内吹风
。5.
根据权利要求4所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥装置还包括加热器，所述加热器配置为对所述吹气结构
、
所述第一风刀和
/
或所述第二风刀内的气体加热
。6.
根据权利要求3所述的干燥装置，其特征在于，所述吹气结构包括气源以及与所述气源连通的多个第三风...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏塞朔，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：