微型机构的缓冲阀制造技术

本发明专利技术提供一种微型机构的缓冲阀，该缓冲阀的一内部流道包含有：一内微气孔

【技术实现步骤摘要】
微型机构的缓冲阀


[0001]本专利技术涉及一种缓冲阀，其是一种装置于输送高洁净度流体的气动膜片阀的呼吸孔上的双向阀，该气动膜片阀具有一膜片与一阀座，该缓冲阀可以减缓该气动膜片阀开闭的动作，以减少该膜片的一中央部与该阀座的闭合冲击及高压气体快速释放产生的振动，这样的冲击与震动会增加材料的剥离造成污染，近年来在晶圆研磨上更进一步追求输送液体的悬浮颗粒不会因该中央部与该阀座的关闭产生冲击喷射流，加上高压气体快速释放造成悬浮颗粒的运动轨迹与流体方向分离而产生碰撞而凝结
。

技术介绍

[0002]该气动膜片阀包含有有一气压缸
、
一膜片
、
一阀座等，该气压缸由一活塞分隔成一气压室与一弹簧室，该弹簧室装设一弹簧，该弹簧室与该气压室分别设有一呼吸孔，该气压室的该呼吸孔可以用来充填高压气体，通常气体压力会在
3bar
到
7bar
不等
。
习知的该膜片为一体的结构，具有一圆周部
、
一中央部与一弹性部构成，该弹性部的剖面形状类似r/>Ω
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种微型机构的缓冲阀，是一种双向阀，该缓冲阀装设在一气动膜片阀上，该气动膜片阀包含有一气压缸
、
一膜片
、
一阀座，该气压缸由一活塞分隔成一气压室与一弹簧室，该弹簧室装设一弹簧，该弹簧室与该气压室分别设有一呼吸孔，该气压室的呼吸孔包含有一内容室，该内容室安装有该缓冲阀且该缓冲阀装设有一气体接头用来充填高压气体，该缓冲阀用来调节该呼吸孔的流量，该缓冲阀用来调节该气压室的高压气体的释放且不影响其高压气体对该气压室的填充速度，具有一工具部位于该缓冲阀外侧用来安装或拆卸并能安装该气体接头；该膜片为一体的结构，具有一圆周部
、
一中央部与一弹性部，该弹性部的剖面形状类似
Ω
形状的弧形曲线；其特征在于：在常闭式阀由开阀状态到闭阀状态过程与在常开式阀由闭阀状态到开阀状态过程，在高压气体释放时，该缓冲阀能够在一定时间内减缓高压气体的释放所产生的压力震波，同时，该弹簧室受压缩的该弹簧在伸展时受到限制而缓慢释放其弹力；在常闭式阀的该膜片的该中央部对该阀座的接近速度降低而减少冲击，并降低该阀座在闭合时产生激烈的喷流；在常开式阀的该膜片的中央部离开该阀座的瞬间的移开速度减少，能够减缓局部负压的产生与减少激烈涡流激烈紊流的产生；该缓冲阀的一内部流道包含有一内微气孔
、
一内腔室
、
一外气孔
、
一浮动球；该内部流道连通到内部的该气压室，也连通到外部的高压气源的该气体接头；该内腔室具有一轴心线
、
一内环面
、
一内侧端与一外侧端，该内侧端通过该内微气孔连通该气压室，该内微气孔设置于偏离该内腔室的该轴心线而靠近该内环面的位置，该内腔室的该外侧端通过该外气孔连通该气体接头，且该外气孔设置于该内腔室的该轴心线位置，该浮动球安置于该内腔室内且会随高压气流浮动，且该浮动球的外径
d1
小于该内腔室的内径
D2
，
d1<D2
；该缓冲阀在操作时具备以下功能，包含有一高填充动作
、
一遮蔽动作
、
一解除动作
、
一遮蔽时间
Δ
t
与一调整机制，其中，该解除动作包含有一解除机制；该高填充动作，是指该气压室充填高压气体时，高压气体会由高压管路经过该外气孔进入该内腔室，并推动该浮动球移往该内微气孔且不会产生遮蔽，维持高压气体进入该气压室具有高填充动作；该遮蔽动作，当该气压室释放高压气体时，高压气体经过该内微气孔进入该内腔室，并带动该浮动球移往该外气孔并遮蔽该外气孔来减缓高压气体的释放；该遮蔽动作是由该浮动球与该外气孔的内径
d3
开口会形成一圆形接触线
C
，该圆形接触线
C
无法达到气密的效果而只是会降低气体泄漏的速度；该遮蔽动作是来自气体的压力与管路压力的一压差
Δ
遮产生一迫紧力
Fp
施加在该浮动球上所致，该迫紧力
Fp
等于该压差
Δ
于乘以该圆形接触线
C
的圆面积；该解除动作，是指在该遮蔽动作下持续释放高压气体下，稍后气体压力降低后，该遮蔽动作会由该解除机制对该迫紧力
Fp
解除，让该浮动球产生位移而不再遮蔽，而让残留的高压气体迅速排出；该解除机制，是指运用该浮动球重量
W、
一弹力
Fs、
一磁力
Fm
的一种或一种以上方法，对该迫紧力
Fp
加以抵抗并移动该浮动球，使该解除动作完成的机制；该遮蔽时间
Δ
t
，是指在该遮蔽动作产生直到该解除动作完成的期间称为该遮蔽时间
Δ
t
；该调整机制，是指对该遮蔽时间
Δ
t
的长短是经由该解除动作的解除机制进行调整
。2.
如权利要求1所述的微型机构的缓冲阀，其特征在于，由该浮动球的圆心连结到该圆形接触线
C
成一圆锥角2θ
。3.
如权利要求1所述的微型机构的缓冲阀，其特征在于，该圆形接触线
C
是宽度狭小的环形带状结构
。4.
如权利要求1所述的微型机构的缓冲阀，其特征在于，该浮动球的外径
d1
小于该外气孔内径
d3
时，
d1<d3
，该圆形接触线
C
的面积等于该浮动球的外径截面积，且外径
d1
与内径
d3
间的间隙的环型面积不大于该内微气孔截面积的
50
％以下以达到缓慢泄气
。5.
如权利要求1所述的微型机构的缓冲阀，其特征在于，该遮蔽动作的该遮蔽时间
Δ
t
长短与该迫紧力
Fp
成正比；该遮蔽动作的该遮蔽时间
Δ
t
长短与该圆锥角2θ
大小成正比
。6.
如权利要求1所述的微型机构的缓冲阀，其特征在于，该解除机制是运用机械的重量
W
时，该遮蔽动作是该浮动球的重量
W
无法抵抗该迫紧力
Fp
而使该浮动球被固定于该外气孔，该解除机制是该压差
Δ
P
产生的该迫紧力
Fp
无法抵抗该浮动球本身的重量
W
，让该浮动球产生位移到内腔室而不再遮蔽该外气孔
。7.
如权利要求1所述的微型机构的缓冲阀，其特征在于，该解除机制是运用机械的该弹力
Fs
时，该遮蔽动作是该浮动球承受的该弹力
Fs
无法抵抗该迫紧力
Fp
而使该浮动球被固定于该外气孔，该解除机制是该压差
Δ
P
产生的该迫紧力
Fp
无法抵抗该浮动球承受的该弹力
Fs
，让该浮动球产生位移到内腔室而不再遮蔽该外气孔
。8.
如权利要求1所述的微型机构的缓冲阀，其特征在于，该解除机制是运用该磁力
Fm
时，该遮蔽动作是该浮动球承受的该磁力
Fm
无法抵抗该迫紧力
Fp
而使该浮动球被固定于该外气孔，该解除机制是该压差
Δ
P
产生的该迫紧力
Fp
无法抵抗该浮动球承受的该磁力
Fm
，让该浮动球产生位移到内腔室而不再遮蔽该外气孔
。9.
如权利要求1所述的微型机构的缓冲阀，其特征在于，该缓冲阀的结构包含有：一微阀体
、
该呼吸孔与该浮动球；该微阀体的外形为圆柱状，包含有该内腔室
、
一外腔室
、
一隔离部与该外气孔；该呼吸孔包含有一内容室
、
该内微气孔，该呼吸孔装设于该气压室的外环壁上，该内微气孔设置于该内容室偏离该内腔室的该轴心线而靠近该内环面的位置；该微阀体的外环面能与该呼吸孔的该内容室耦合密封；该外腔室能用来安装该气体接头；该隔离部位于该微阀体的中间并分隔位于二端的该内腔室与该外腔室，且该隔离部设有该外气孔连通该外腔室与该内腔室，该外气孔位于该轴心在线
。10.
如权利要求1所述的微型机构的缓冲阀，其特征在于，该缓冲阀的结构包含有：一微阀体
、
一呼吸盖与该浮动球；该微阀体的外形为圆柱状，包含有该内腔室
、
一外腔室
、
一隔离部与该外气孔；该呼吸盖用来连接该呼吸孔，包含有一内容室
、
该内微气孔
、
一外螺牙等；该呼吸盖的外螺牙能与该呼吸孔相耦合密封；该内微气孔位于该呼吸盖上且偏离该内腔室的该轴心线而靠近该内环面的位置能与该呼吸孔相通；该微阀体的外环面与该呼吸盖的该内容室相耦合密封；
该外腔室能用来安装该气体接头；该隔离部位于该微阀体的中间并分隔位于二端的该内腔室与该外腔室，且该隔离部设有该外气孔连通该外腔室与该内腔室，该外气孔位于该轴心在线
。11.
如权利要求9或
10
所述的微型机构的缓冲阀，其特征在于，该遮蔽动作是该浮动球的重量
W
无法抵抗该压差
Δ
P
产生的该迫紧力
Fp
而使该浮动球被固定于该外气孔
。12.
如权利要求9或
10
所述的微型机构的缓冲阀，其特征在于，该解除机制是该浮动球本身的重量
W
超过该压差
Δ
P
产生的该迫紧力
Fp
，使该浮动球产生位移到内腔室而不再遮蔽该外气孔
。13.
如权利要求9或
10
所述的微型机构的缓冲阀，其特征在于，该解除机制能确实完成是来自该浮动球的外径
d1
与该内腔室的内径
D2
的比例，
d1/D2≦0.6。14.
如权利要求9或
10
所述的微型机构的缓冲阀，其特征在于，该浮动球的外径
d1
大于该外气孔内径
d3
，且该圆锥角2θ
满足
10
°
≦
θ
≦60
°
。15.
如权利要求9或
10
所述的微型机构的缓冲阀，其特征在于，该调整机制为调整该浮动球的重量
W、
外径
d1
与该圆锥角2θ
参数进行调整
。16.
如权利要求1所述的微型机构的缓冲阀，其特征在于，该缓冲阀的结构包含有：一微阀体
、
该呼吸孔
、
该浮动球
、
一解除机制
、
一固定环与一转接头；该微阀体的外形为圆柱状，包含有该内腔室
、
一连结室
、
一隔离部与该外气孔；该呼吸孔包含有该内容室
、
该内微气孔，该呼吸孔装设于该气压室的外环壁上；该微阀体的外环面能与该呼吸孔的该内容室耦合密封；该内微气孔设置于该内容室偏离该内腔室的该轴心线而靠近该内环面的位置；该隔离部装设于该内腔室与该连结室之间，且该隔离部设有该外气孔连通于该连结室与该内腔室，该外气孔位于该轴心在线；该连结室的内径大于该内腔室，能够气密固定该固定环与该转接头；该转接头装设在该连结室内的开口端且位于该固定环的外侧，该转接头用来连接气体接头与高压管路并连通到该气压室；圆柱形的该固定环包含有一轴孔与一个或一个以上的通气孔，该固定环可以被装设固定在该连结室底部并迫紧于该隔离部，该轴孔的内径小于该外气孔内径且该通气孔能与...

【专利技术属性】
技术研发人员：简焕然，陈柏文，
申请(专利权)人：和正丰科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：