一种钽丝和电极的连接结构及评价装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于多金硅技术领域中三氯氢硅评价装置，具体涉及一种钽丝和电极的连接结构及评价装置

【技术实现步骤摘要】
一种钽丝和电极的连接结构及评价装置


[0001]本专利技术属于多金硅
中三氯氢硅评价装置，具体涉及一种钽丝和电极的连接结构及评价装置
。

技术介绍

[0002]多晶硅的主生产工艺为改良西门子法，依靠三氯氢硅和氢气在还原炉内发生化学气相沉积反应，生成多晶硅
。
而三氯氢硅的纯度直接决定着多晶硅的纯度
。
三氯氢硅的纯度主要依靠一系列精馏塔进行提纯，通过控制各精馏塔的操作参数，最终得到较纯的三氯氢硅，通过对三氯氢硅内三氯氢硅成分纯度
、C、O、P、B、
金属含量及少子寿命进行分析，调节不同作用精馏塔的操作参数
。
[0003]目前，三氯氢硅的成分纯度分析依靠气相色谱进行，检测精度为百分含量；
C、O、P、B、
金属含量为等离子质谱仪谱
ICP
‑
OES
，检测精度为
10
～
100ppbw。
这种方式不但检测周期长
、
精度低，而且三氯氢硅具有危险性，因此，为了得到电子级三氯氢硅，生产出电子级多晶硅，亟需一种快速
、
安全
、
准确评价三氯氢硅的装置
。
[0004]中国专利：
CN103454377B
公开了一种电子级三氯氢硅纯度评价装置，该装置包括底盘及置于所述底盘上的带有冷却水夹套的钟罩
、
置于所述带有冷却水夹套的钟罩内的钽丝和穿过所述底盘且连有电源的一对电极
。
所述带有冷却水夹套的钟罩的顶部分别设有吊耳
、
钟罩冷却水出水口，其侧壁分别设有钟罩冷却水进水口
、
视镜；所述一对电极通过所述钽丝连接在一起；所述一对电极的外侧分别设有反应气体进气管口
、
反应气体出气管口，该反应气体进气管口和反应气体出气管口穿过所述底盘与所述带有冷却水夹套的钟罩腔体相通
。
本专利技术结构简单
、
成本低廉，可以达到快速
、
准确测纯的目的，并实现了安全操作
。
[0005]该装置中的钽丝在使用后会有多晶硅残留在其上，导致后续评价三氯氢硅纯度时会引入残留的多晶硅，导致评价效果差
。
[0006]有鉴于此，特提出本专利技术
。

技术实现思路

[0007]为了解决现有技术中存在的技术问题，本专利技术提供了一种钽丝和电极的连接结构及评价装置，本专利技术钽丝和电极的连接结构连接方式简单，易于安装和拆卸，在钽丝上残留多晶硅后，可更换钽丝，提高评价效果
。
[0008]本专利技术包括如下技术方案：
[0009]本专利技术第一方面提供了一种钽丝和电极的连接结构，包括钽丝和电极，其特征在于，还包括夹紧结构和压盖，所述夹紧结构将所述钽丝夹紧，所述压盖套设在所述夹紧结构上，将夹紧结构压向所述电极使夹紧结构与电极连接
。
[0010]进一步地，所述夹紧结构为锥形；所述压盖设置有压紧夹紧结构的第一锥形孔
。
[0011]进一步地，所述电极包括锥形台，所述压盖上设置有用于容纳所述锥形台的第二锥形孔；所述第一锥形孔与所述第二锥形孔连通
。
[0012]进一步地，所述第一锥形孔直径较大的一端与所述第二锥形孔直径较小的一点连接
。
[0013]进一步地，所述夹紧结构包括两个夹瓣，所述夹瓣上设置有夹槽
。
[0014]进一步地，两个夹瓣一体成型，两个夹槽形成孔
。
[0015]进一步地，所述孔为锥形孔，且锥形孔直径较小的一端与所述钽丝的外径相适配
。
[0016]进一步地，所述夹紧结构由钼制成
。
[0017]进一步地，所述压盖由氯化铝制成
。
[0018]本专利技术第二方面提供了一种评价装置，包括如上述所述的连接结构
。
[0019]采用上述技术方案，本专利技术包括如下优点：
[0020]1、
本专利技术钽丝和电极的连接结构连接方式简单，易于安装和拆卸，在钽丝上残留多晶硅后，可更换钽丝，提高评价效果
。
[0021]2、
本专利技术的连接结构避免了钽丝与电极之间发生拉弧现象的发生，保证评价装置的正常运行及评价装置对原料的纯度评价的准确性，降低电子级多晶硅生产系统中原料的纯度评价工艺的生产成本
。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0023]图1为本专利技术实施例中一种钽丝和电极的连接结构的结构示意图；
[0024]图2为本专利技术实施例中夹瓣的主视图；
[0025]图3为本专利技术实施例中夹瓣的仰视图；
[0026]图4为本专利技术实施例中压盖的主视图；
[0027]图5为本专利技术实施例中压盖的仰视图；
[0028]图6为现有技术中钽丝和电极的连接结构示意图；
[0029]附图中：
10
‑
钽丝，
20
‑
电极，
21
‑
锥形台，
30
‑
夹紧结构，
31
‑
夹瓣，
311
‑
夹槽，
40
‑
压盖，
41
‑
第一锥形孔，
42
‑
第二锥形孔
。
具体实施方式
[0030]以下的说明提供了许多不同的实施例或是例子，用来实施本专利技术的不同特征
。
以下特定例子所描述的元件和排列方式，仅用来精简的表达本专利技术，其仅作为例子，而并非用以限制本专利技术
。
[0031]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语
"
第一
"、"
第二
"
仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量
。
由此，限定有
"
第一
"、"
第二
"
的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征
。
[0032]为使本专利技术实施例的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地说明，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员
在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种钽丝和电极的连接结构，包括钽丝
(10)
和电极
(20)
，其特征在于，还包括夹紧结构
(30)
和压盖
(40)
，所述夹紧结构
(30)
将所述钽丝
(10)
夹紧，所述压盖
(40)
套设在所述夹紧结构
(30)
上，将夹紧结构
(30)
压向所述电极使夹紧结构
(30)
与电极
(20)
连接
。2.
如权利要求1所述的一种钽丝和电极的连接结构，其特征在于，所述夹紧结构
(30)
为锥形；所述压盖
(40)
设置有压紧夹紧结构
(30)
的第一锥形孔
(41)。3.
如权利要求2所述的一种钽丝和电极的连接结构，其特征在于，所述电极
(20)
包括锥形台
(21)
，所述压盖
(40)
上设置有用于容纳所述锥形台
(21)
的第二锥形孔
(42)
；所述第一锥形孔
(41)
与所述第二锥形孔
(42)
...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦榕，张永良，李有斌，陈叮琳，李宏盼，韩华旺，张文毓，俞朝，曹喜高，马海兵，成进义，贾占杰，杨万苗，
申请(专利权)人：青海芯测科技有限公司青海黄河上游水电开发有限责任公司国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司，
类型：发明
国别省市：