玻璃基板烘烤炉无泄漏排废系统技术方案

本实用新型专利技术的玻璃基板烘烤炉无泄漏排废系统，包括设置有烘烤腔的加热炉体，所述加热炉体上活动安装有门扇组件；所述门扇组件包括若干相互平行设置的门扇单元，每一门扇单元均通过对应的门扇启闭机构活动支承于加热炉体上；在每一门扇单元内侧的烘烤腔位置均设置有一门腔吸气管；在加热炉体上还安装有门顶吸风罩，该门顶吸风罩位于门扇组件的顶部。若干所述门腔吸气管经气管阀连向门腔汇集吸气管，所述气管阀为气动截止阀。所述门顶吸风罩的吸风罩体呈管状结构，在该吸风罩体上设置有若干罩体吸风孔。该排废系统能够有效控制炉门打开时炉腔内热气流的外泄散发，避免有机挥发物的外泄污染和热能损耗。泄污染和热能损耗。泄污染和热能损耗。

【技术实现步骤摘要】
玻璃基板烘烤炉无泄漏排废系统


[0001]本技术涉及平板显示器所用的玻璃基板制作设备，尤其涉及一种玻璃基板烘烤炉烘烤废气的收集排放系统。

技术介绍

[0002]玻璃基板是一种表面极其平整、厚度超薄的玻璃，是平板显示器产业的关键基础材料之一。平板显示器玻璃基板的制造要求极为严格，不仅与表面平整度、杂质颗粒度等指标密切相关，而且与制作工艺参数如玻璃基板的烘烤温度控制直接关联。
[0003]玻璃基板烘烤炉在烘烤过程中，玻璃基板表面的光阻剂挥发大量的有机废物，这些挥发性溶剂会导致炉腔污染而附着颗粒物，进而造成热风循环不畅而加剧基板污染，为了保证烘烤腔室的洁净程度，必须频繁地对烘烤腔中的热风进行排吸再鼓入补充新鲜外部空气。本申请人于2022.04.24申请并获得授权技术专利“显示器基板烘烤炉零泄漏自动门”,专利号：202220954785.6，该结构是在每一门扇外的启闭侧上方设置门楣吸管，由于门楣吸管处于门扇外侧位置，该门楣吸管只有在门扇打开时才能对从打开的门缝中泄出的废气进行吸入收集，既会吸入已至门窗口部位置的废气，也会吸入门外空气，不可避免地会产生部分带有有机物的废气散发至外空间，不仅造成热气体热量回用率低而增加热损，增加烘烤炉能耗，而且会造成有机挥发物的外泄污染。另一方面这种吸管的实际吸入效果并不理想，由于门楣吸管与门内废气吸入位置存在一定距离，门楣吸管的有用吸入力已经衰减，并不能准确地控制热风气流吸入量和吸入速度，难以稳定和控制烘烤腔内温度，而且这种吸管结构也不能实现无“死角”地吸走腔内废气，形成部分废气及有机颗粒在烘烤腔内的滞留污染。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是提供一种玻璃基板烘烤炉无泄漏排废系统，能够有效控制炉门打开时炉腔内热气流的外泄散发，避免有机挥发物的外泄污染和热能损耗。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术的玻璃基板烘烤炉无泄漏排废系统，包括设置有烘烤腔的加热炉体，所述加热炉体上活动安装有门扇组件；所述门扇组件包括若干相互平行设置的门扇单元，每一门扇单元均通过对应的门扇启闭机构活动支承于加热炉体上；在每一门扇单元内侧的烘烤腔位置均设置有一门腔吸气管；在加热炉体上还安装有门顶吸风罩，该门顶吸风罩位于门扇组件的顶部。
[0006]在上述结构中，每一门扇单元内侧对应地设置一门腔吸气管，使得门腔吸气管位于门扇单元内侧的烘烤腔中，这样在门扇单元打开时对应的门腔吸气管启动而进入负压工作状态，门扇单元的打开和门腔吸气管的启动可以同步进行，一方面门腔吸气管可以在门扇窗口部形成“吸风幕”而阻止烘烤腔内热气流的外泄散发，有效地避免带有有机溶剂的废气散发至炉外空间，避免有机挥发物外泄所造成的环境污染；另一方面又可以避免门腔吸
气管吸入烘烤腔外冷气流而造成循环回用热能损耗，有利于提高能源利用率；该结构既能避免有机挥发物的外泄污染，又能提高热气流吸入回用率，降低热能损耗。门腔吸气管位于门扇单元内侧的烘烤腔中，还能增强门腔吸气管的有用吸力，能够准确地控制热风气流的吸入量和吸入速度，并且能够形成均匀的吸入面，不会形成废气吸入“死角”而形成的废气滞留和有机颗粒物累积污染。又由于在门扇组件顶部设置有门顶吸风罩，位于门扇组件顶部的门顶吸风罩又保证可能泄漏的残余外泄有机废气也被完全收集。门腔吸气管与门顶吸风罩的结构组合形成了可靠的零泄漏结构。
[0007]本技术的进一步实施方式，若干所述门腔吸气管经气管阀连向门腔汇集吸气管，所述气管阀为气动截止阀。所述门腔吸气管由固定相连的吸气管前折板和吸气管后折板围成，在吸气管前折板和吸气管后折板之间形成窄条状的吸气通道，该吸气通道通过吸气孔道通向门腔吸气管的吸气管腔。该结构能够准确控制门腔吸气管的打开的关闭，并且能保证吸力均匀。
[0008]本技术的进一步实施方式，所述门顶吸风罩的吸风罩体呈管状结构，在该吸风罩体上设置有若干罩体吸风孔。所述门顶吸风罩通向门顶吸风罩排气管道。能够保证残余外泄有机废气的完全收集。
[0009]本技术的进一步实施方式，所述门扇启闭机构包括两相互平行且等长设置的门扇摆杆，所述门扇摆杆上铰连有门扇驱动气缸。所述门扇摆杆的一端铰连于门扇的端部，门扇摆杆的另一端铰支于加热炉体上；所述门扇驱动气缸的活塞杆端与门扇摆杆相铰链，所述门扇驱动气缸的缸体铰支于加热炉体上。该门扇启闭机构是一由气缸驱动的平行四边形连杆机构，使得开启门扇能够以平移方式贴近或离开门窗口，避免门扇开启缝隙的形成，有效防止烘烤腔内热气流的泄漏。
附图说明
[0010]下面结合附图和具体实施方式对本技术玻璃基板烘烤炉无泄漏排废系统作进一步说明
[0011]图1是本技术玻璃基板烘烤炉无泄漏排废系统一种具体实施方式的立体结构示意图；
[0012]图2是图1所示实施方式中门扇组件及门扇启闭机构；
[0013]图3是图1所示实施方式中门腔吸气管的安装结构示意图；
[0014]图4是图1所示实施方式中门腔吸气管和门腔汇集吸气管的连通结构示意图；
[0015]图5是图4中门腔吸气管的A
‑
A截面结构示意图；
[0016]图6是图1所示实施方式中门顶吸风罩和门顶吸风罩排气管道的连通结构示意图；
[0017]图7是图6中门顶吸风罩的立体结构示意图。
[0018]图中，1—加热炉体，2—炉体基座，3—门顶吸风罩排气管道，4—门腔汇集吸气管，5—门扇启闭机构，6—门腔吸气管，7—门扇组件，8—门顶吸风罩，9—炉顶起吊架，10—鼓风机，11—加热器，12—预热补风管，13—炉体框架，14—门扇单元，15—门扇座，16—门扇连接杆，17—门扇摆杆，18—摆杆支座，19—门扇驱动气缸，20—气缸座，21—吸气管前折板，22—吸气通道，23—吸气管后折板，24—吸气孔道，25—吸气管腔，26—吸风罩体，27—罩体吸风孔。
具体实施方式
[0019]如图1所示的玻璃基板烘烤炉无泄漏排废系统，包括加热炉体1，该加热炉体1外形为立体箱柜式结构，加热炉体1固定安装于炉体基座2上，炉体基座2的座腔内设置安装有换热装置、冷凝设备、挥发剂收集器、风机及电器控制柜等装置。在加热炉体1的前侧面安装有门扇组件7(图中拆除了下部的两门扇单元)。加热炉体1的一侧面上安装有5组加热器11和鼓风机10；在该侧面还安装有预热补风管12和检修维护门。在加热炉体1的炉顶上安装有若干炉顶起吊架9，炉顶起吊架9用于炉内设备的安装和维护修理。
[0020]门扇组件7包括有可以开启的12扇门扇单元14，门扇单元14的两端分别通过对应的门扇启闭机构5可启闭地安装于加热炉体1上，在每一门扇单元14内侧的烘烤腔中安装有一门腔吸气管6，每一门腔吸气管6均通过对应的气管阀连向门腔汇集吸气管4，气管阀为常用的气动截止阀，以便启闭对应的门腔吸气管6。各门腔吸气管6并接于门腔汇集吸气管4上，气管阀位于门腔吸气管6和门腔汇集吸气管4并接处。在加热炉体1的顶部位置还安装有门顶吸风罩8，门本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板烘烤炉无泄漏排废系统，包括设置有烘烤腔的加热炉体(1)，所述加热炉体(1)上活动安装有门扇组件(7)；所述门扇组件(7)包括若干相互平行设置的门扇单元(14)，每一门扇单元(14)均通过对应的门扇启闭机构(5)活动支承于加热炉体(1)上；其特征在于：在每一门扇单元(14)内侧的烘烤腔位置均设置有一门腔吸气管(6)；在加热炉体(1)上还安装有门顶吸风罩(8)，该门顶吸风罩(8)位于门扇组件(7)的顶部。2.根据权利要求1所述的玻璃基板烘烤炉无泄漏排废系统，其特征在于：若干所述门腔吸气管(6)经气管阀连向门腔汇集吸气管(4)，所述气管阀为气动截止阀。3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板烘烤炉无泄漏排废系统，其特征在于：所述门腔吸气管(6)由固定相连的吸气管前折板(21)和吸气管后折板(23)围成，在吸气管前折板(21)和吸气管后折板(23)之间形成窄条状的吸气通道(22)，该吸气通道(22)通过吸...

【专利技术属性】
技术研发人员：万堃鋆，林殷圣，闵京赵，
申请(专利权)人：江苏美客鼎嵘智能装备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：