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一种用于真空镀膜的刀具转架制造技术

技术编号:39449998 阅读:16 留言:0更新日期:2023-11-23 14:50
驱动底座、锥齿轮传动组。所述刀具挂架分为上下两层,分别安置在中间换向盘和支撑转动架底部的刀具转架安装槽内;所述刀具挂架的齿轮组包括上部行星轮组和下部行星轮组,分别负责刀具导杆和旋转架的转动;所述刀具挂架底部连接驱动底座,由驱动底座通过刀具挂架中的上部行星轮组带动刀具导杆传动;所述刀具挂架的齿轮架上有多个小齿轮,其上有螺纹孔,与伸缩夹头底部螺纹进行配合;所述刀具转架设置两组锥齿轮传动组,让上下层刀具挂架和相邻刀具导杆旋向相反,避免发生机械干涉,能充分利用空间布置尽量多的刀具挂架,保证膜层的均匀性。保证膜层的均匀性。保证膜层的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜的刀具转架


[0001]本技术涉及真空离子镀膜领域,具体为一种用于真空镀膜的刀具转架。

技术介绍

[0002]现有真空镀膜公司在镀膜前的刀具安装中,正如专利CN205501418U、CN210001927U、CN212199403U中所述,往往需要工人不断调整刀具转架上的拨片,以使刀具转架在转动的时候,其上面的刀具导杆也能同时自传,从而提高薄膜厚度均匀性。但不断调整多个拨片的过程会耗费大量时间;另一方面由于大量刀具放置间距紧密通常相邻刀具挂架间距很小,同一旋向下运动中的相邻齿轮导杆和刀具挂架间可能会发生机械干涉,使刀具转架转动故障频率增高,造成刀具转架转动不充分,从而降低了薄膜厚度均匀性。现有解决机械干涉方法中大多是采用减少齿轮导杆和刀具挂架的数量,扩大相邻间隙的途径来避免这种隐患,但又减少了批次产量,从而增加成本,降低了生产效益。

技术实现思路

[0003]针对上述难题,本技术设计了一种全自动,高性能的真空镀膜用刀具转架,包括:刀具挂架、中间换向盘、支撑转动架、驱动底座、锥齿轮传动组。
[0004]进一步的是,所述刀具挂架的旋转外壳包括上壳体、下壳体、凸台底座。
[0005]进一步的是,所述刀具挂架的齿轮导杆包括紧固螺钉a、与中间齿轮固定配合的棱柱。
[0006]进一步的是,所述刀具挂架的齿轮架上设置有十个有螺纹台分别与十个伸缩夹头底部螺纹连接。
[0007]进一步的是,所述刀具挂架的齿轮组包括上部行星轮组、下部行星轮组。其中上部行星轮组包括上部中间轴齿轮、夹具齿轮、上部外壳体齿轮,下部行星轮组包括下部中间轴齿轮、下部外壳体齿轮。
[0008]进一步的是,所述刀具挂架的伸缩夹头内部安装有气动推杆阀、弹簧、推杆、夹头外壳、夹片、气动推杆阀和推杆通过紧固螺钉b连接。
[0009]进一步的是,所述刀具挂架的旋转架底部设置有安装孔、拨片孔,转动拨片、导杆孔、导杆固定盘。
[0010]进一步的是,所述中间换向盘和支撑转动架内部都设置有锥齿轮传动组。来实现上下层刀具挂架和相邻刀具导杆旋向相反,避免发生机械干涉。
[0011]进一步的是,所述驱动底座设置有上下两组齿轮传动,且相邻小齿轮上下交替分布。上下两大齿轮和分别固定在上部锥齿轮和下部锥齿轮上,来实现旋转时旋向相反。
[0012]进一步的是,所述刀具转架设置有双层刀具挂架,可同时装尽可能多的工件,提高了真空镀膜的工作效率。
附图说明
[0013]0013图1是该真空镀膜的刀具转架的整体结构示意图;附图标记为:刀具挂架(1)、中间换向盘(2)、支撑转动架(3)、驱动底座(4)、锥齿轮传动组(5)。
[0014]图2是刀具挂架的整体剖面图;附图标记为:旋转外壳(101)、齿轮导杆(102)、齿轮架(103)、齿轮组(104)、伸缩夹头(105)、旋转架(106)、刀具导杆(107)、上壳体(1011)、下壳体(1012)、凸台底座(1012a)、紧固螺钉a(1021)、棱柱(1022)。
[0015]图3是刀具挂架的底座剖面图;附图标记为:螺纹台(1031)、齿轮组(104)及上部行星轮组(1041)、下部行星轮组(1042)。上部中间轴齿轮(1041a)、夹具齿轮(1041b)、上部外壳体齿轮(1041c),下部中间轴齿轮(1042a)、下部外壳体齿轮(1042b)。
[0016]图4是伸缩夹头的剖面图;附图标记为:底部螺纹(1051)、气动推杆阀(1052)、弹簧(1054)、推杆(1055)、弹簧垫圈(1056))、夹头外壳(1057)、夹片(1058)、紧固螺钉b(1053)。
[0017]图5是伸缩夹头的三维示意图;附图标记为:夹片(1058)、收缩夹缝(1059)。
[0018]图6是刀具挂架的旋转架示意图,图中标记为:安装孔(1061)、拨片孔(1062),转动拨片(1063)、导杆孔(1064)、导杆固定盘(1065)。
[0019]图7是中间换向盘的三维示意图;附图标记为:刀具转架安装槽(201)、限位杆(201a)。
[0020]图8是中间换向盘的剖面图;附图标记为:锥齿轮组(202)、限位孔(203)。
[0021]图9是支撑转动架的三维示意图;附图标记为:主驱动轴(301)、小齿轮驱动轴(302)、限位块(303)、支撑底盘(304)。
[0022]图10是驱动底座的三维示意图;附图标记为:上齿轮组(401)、下齿轮组(402)。小齿轮组a(401a)、大齿轮a(401b)、小齿轮组b(402a)、大齿轮b(402b)、传动轴(403)。
[0023]图11是锥齿轮传动组的三维示意图;附图标记为:上部锥齿轮(501)、中部锥齿轮(502)、下部锥齿轮(503)及锥齿轮架(504)。
实施方式
[0024]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细说明:
[0025]如图1

11所示,一种新型的真空镀膜刀具转架,包括:刀具挂架(1)、中间换向盘(2)、支撑转动架(3)、驱动底座(4)、锥齿轮传动组(5)。
[0026]所述旋转外壳(1)包括上壳体(101)、下壳体(102)、凸台底座(102a)。
[0027]所述凸台底座(1012a),用来与旋转架(106)固定连接,实现同步旋转。同时上壳体(1011)和下壳体(1012)内部分别设置一个上外壳体齿轮(401c)和下外壳体齿轮(402b),且与壳体固定。
[0028]所述齿轮导杆(102)包括紧固螺钉a(1021)、与中间齿轮固定配合的棱柱(1022)。棱柱(1022)作为传动轴驱动行星轮组转动。
[0029]所述齿轮架(103)中设置有多个螺纹台(1031),每个螺纹台(1031)可分别与伸缩夹头(105)底部进行螺纹连接。
[0030]所述齿轮组(104)有上部行星轮组(1041)、下部行星轮组(1042)。其中上部行星轮组(1041)包括上部中间轴齿轮(1041a)、夹具齿轮(1041b)、上部外壳体齿轮(1041c),下部行星轮组(1042)包括下部中间轴齿轮(1042a)、下部外壳体齿轮(1042b)。
[0031]优选地,上部行星轮组(1041)主要用于旋刀具导杆(107)转动,下部行星轮组(1042)主要用于旋转架(106)转动。
[0032]所述伸缩夹头(105)底部设置有底部螺纹(1051),内部安装有气动推杆阀(1052)、弹簧(1054)、推杆(1055)、夹头外壳(1057)、夹片(1058)、气动推杆阀(1052)和推杆(1055)通过紧固螺钉b(1053)连接。
[0033]所述伸缩夹头(105)顶端设置有6个夹片(1058),夹片(1058)固定在夹片外壳(1057)内,它们的顶端汇聚形成收缩夹缝(1059)用于夹住刀具导杆(107)。
[0034]所述旋转架(106)底部设置有本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜的刀具转架,包括:刀具挂架(1)、中间换向盘(2)、支撑转动架(3)、驱动底座(4)、锥齿轮传动组(5);所述刀具挂架(1)包括旋转外壳(101)、齿轮导杆(102)、齿轮架(103)、齿轮组(104)、伸缩夹头(105)、旋转架(106)、刀具导杆(107);其中旋转外壳(101)包括上壳体(1011)、下壳体(1012)、凸台底座(1012a);齿轮导杆(102)包括紧固螺钉a(1021)、与中间齿轮固定配合的棱柱(1022);其中齿轮架(103)中有螺纹台(1031);其中齿轮组(104)有上部行星轮组(1041)、下部行星轮组(1042);其上部行星轮组(1041)包括上部中间轴齿轮(1041a)、夹具齿轮(1041b)、上部外壳体齿轮(1041c),下部行星轮组(1042)包括下部中间轴齿轮(1042a)、下部外壳体齿轮(1042b);其中伸缩夹头(105)底部设置有底部螺纹(1051),内部安装有气动推杆阀(1052)、弹簧(1054)、推杆(1055)、弹簧垫圈(1056))、夹头外壳(1057)、夹片(1058)、气动推杆阀(1052)和推杆(1055)通过紧固螺钉b(1053)连接;所述多个夹片(1058)的顶端汇聚,形成收缩夹缝(1059);其中旋转架(106)底部设置有安装孔(1061)、拨片孔(1062),转动拨片(1063)、导杆孔(1064);导杆固定盘(1065);所述中间换向盘(2)包括:刀具转架安装槽(201),其中设置有限位杆(201a)、锥齿轮组(202)、限位孔(203);所述支撑转动架(3)包括主驱动轴(301)、小齿轮驱动轴(302)、限位块(303)、支撑底盘(304);所述驱动底座(4)包括上齿轮组(401)、下齿轮组(402);其中上齿轮组(401)包括小齿轮组a(401a)、大齿轮a(401b);下齿轮组(402)包括小齿轮组b(402a)、大齿轮b(402b)、传动轴(403);所述锥齿轮传动组(5)包括上部锥齿轮(501)、中部锥齿轮(502)、下部锥齿轮(503)及锥齿轮架(504)。2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的刀具转架,其特征在于:所述刀具挂架(1)的旋转外壳(101)的上壳体...

【专利技术属性】
技术研发人员:李宾宾鄢强陈刚宋慧瑾
申请(专利权)人:成都大学
类型:新型
国别省市:

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