一种硅片收料装置、收料设备及分选机制造方法及图纸

技术编号:39443289 阅读:13 留言:0更新日期:2023-11-23 14:47
本实用新型专利技术提供了一种硅片收料装置,包括气缸、固定板、滑动板、同步带、同步带联动机构、料盒安装部及料盒,其中:滑动板滑动连接在固定板上,气缸用于驱动滑动板滑动;滑动板上设置有第一带轮和第二带轮;同步带套设在第一带轮和第二带轮上;料盒安装部滑动连接在滑动板上并与同步带的第一侧带体固定连接,料盒安装在料盒安装部上,料盒被配置在收片工位收取硅片,在取片工位取出硅片;同步带联动机构至少部分固定安装在固定板上,气缸驱动滑动板沿第一方向运动第一距离,同步带联动机构带动料盒安装部沿第一方向运动第二距离。相比于单纯地采用气缸直接推送料盒,本实用新型专利技术的硅片收料装置的结构更加紧凑,能够缩减硅片分选机出料区的尺寸。区的尺寸。区的尺寸。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片收料装置、收料设备及分选机


[0001]本技术涉及硅片分选领域,具体地说是一种硅片收料装置、收料设备及分选机。

技术介绍

[0002]硅片经过分选机分选检测后,要根据分选后的等级对硅片进行分类收片,将硅片收至不同的料盒中。为了便于将料盒中的硅片取出,完成收片后,需要将料盒从收片工位处向外推出一定的距离,然后再将料盒中的硅片取出来。现有的料盒自动推出是采用气缸直接推出料盒,但是,气缸的行程有限,无法满足所需推出距离。

技术实现思路

[0003]为了解决上述技术问题,本技术提供了一种硅片收料装置,其采用如下技术方案:
[0004]一种硅片收料装置,包括气缸、固定板、滑动板、同步带、同步带联动机构、料盒安装部及料盒,其中:
[0005]滑动板滑动连接在固定板上,气缸的驱动端与滑动板连接,气缸用于驱动滑动板滑动;
[0006]滑动板上沿滑动板的滑动方向设置有第一带轮和第二带轮;
[0007]同步带套设在第一带轮和第二带轮上;
[0008]料盒安装部滑动连接在滑动板上并与同步带的第一侧带体固定连接,料盒安装在料盒安装部上,料盒被配置在收片工位收取硅片,在取片工位取出硅片;
[0009]同步带联动机构至少部分固定安装在固定板上,气缸驱动滑动板沿第一方向运动第一距离,同步带联动机构带动与第一侧带体固定连接的料盒安装部沿第一方向运动第二距离。
[0010]相比于单纯地采用气缸直接推送料盒,本技术的硅片收片装置还设置有同步带及同步带联动机构,通过同步带及同步带联动机构,在气缸的推动下,使料盒沿第一方向的运动距离为第一距离和第二距离的总和(即气缸的双倍行程),从而使得硅片收料装置的结构更加紧凑,能够缩减硅片分选机出料区的尺寸。
[0011]在一些实施例中,同步带联动机构包括第一夹紧块,第一夹紧块安装在固定板上,第一夹紧块的夹紧端夹紧在同步带与第一侧带体相对的第二侧带体上;气缸驱动滑动板沿第一方向运动第一距离的同时,第一夹紧块牵拉同步带,从而带动料盒安装部沿第一方向运动第二距离。
[0012]提供了一种结构简单的同步带联动机构,其通过安装在固定板上的第一夹紧块夹紧同步带的第二侧带体,如此,当气缸驱动滑动板沿第一方向运动第一距离的同时,第一夹紧块可实现对同步带的反向牵拉,从而带动料盒安装部相对于滑动板沿第一方向运动第二距离,从而实现气缸对料盒的双倍行程推送。
[0013]在一些实施例中,固定板和滑动板均竖直设置,第一侧带体为上侧带体,第二侧带体为下侧带体;或者,第一侧带体为下侧带体,第二侧带体为上侧带体。
[0014]固定板和滑动板竖直设置,可减小硅片收料装置在水平面上的占用空间,从而能够更加方便地将硅片收料装置集成安装至硅片分选设置的安装支架上。
[0015]在一些实施例中,硅片收料装置还包括缓冲组件,缓冲组件包括限位部和缓冲部,限位部和缓冲部中的一个固定设置在滑动板的端部,另一个沿滑动板的滑动方向设置。
[0016]通过在限位部和缓冲部的相互配合,对滑动板滑动到位时进行缓冲,避免在到位时发生刚性冲击,损坏料盒内的硅片。
[0017]在一些实施例中,同步带联动机构包括齿条、转轴及齿轮,其中:齿条沿滑动板的滑动方向安装在固定板上;转轴可旋转地安装在滑动板上,第一带轮和齿轮均固定安装在转轴上,齿轮与齿条啮合;气缸驱动滑动板沿第一方向运动第一距离的同时,齿轮在齿条的带动下旋转,经第一带轮驱动同步带转动,从而带动料盒安装部沿第一方向运动第二距离。
[0018]提供了另一种结构的同步带联动机构,其通过齿条和齿轮与第一带轮传动连接,当气缸驱动滑动板沿第一方向运动第一距离的同时,同步带联动机构驱动同步带转动,从而带动料盒安装部相对于滑动板沿第一方向运动第二距离,从而实现了气缸对料盒的双倍行程推送。
[0019]在一些实施例中,料盒安装部包括安装板和第二夹紧块,其中:安装板滑动连接在滑动板上,料盒安装在安装板上;第二夹紧块固定连接在安装板上,第二夹紧块的夹紧端夹紧在同步带的第一侧带体上。
[0020]通过对料盒安装部进行设置,使得料盒安装部能够夹紧在同步带的第一侧带体上,且为料盒提供了充足的安装空间。
[0021]在一些实施例中,料盒安装部还包括料盒安装块,料盒通过料盒安装块安装在安装板上,料盒安装块上设置有若干倾斜排布的安装孔,料盒经安装孔倾斜安装在料盒安装块上。
[0022]通过设置料盒安装块,进一步方便了对料盒的安装。而通过在料盒安装块上设置倾斜排布的安装孔,则实现了对料盒安装角度的调节,使得料盒呈倾斜装置。从而使得收料至料盒中的硅片能够朝向料盒的一侧侧壁滑动,并最终抵靠在料盒的一侧侧壁上,提高硅片收料的整齐度。
[0023]在一些实施例中,收片工位和取片工位位于同一水平面上。
[0024]收片工位和取片工位处于同一水平面,只需驱动料盒沿第一水平方向移动,即可将料盒从收片工位调节至取片工位处。
[0025]在一些实施例中,收片工位处于第一高度处,取片工位处于第二高度处;硅片收料装置还包括升降调节部,料盒设置在升降调节部的活动部件上,升降调节部用于驱动料盒在第一高度处与第二高度处之间升降;其中,升降调节部包括升降气缸及升降导杆,升降导杆沿竖直方向设置在料盒安装部上,料盒滑动安装在升降导杆上并与升降气缸的驱动端对接。
[0026]收片工位和取片工位处于不同高度处,通过在料盒安装部上设置升降调节部,可实施对料盒的高度调节,如此,可保证料盒能够被从收片工位调节至取片工位处。
[0027]本技术还提供了一种硅片收料设备,其包括安装架、第一硅片收料装置和第
二硅片收料装置,第一硅片收料装置和第二硅片收料装置上下依次设置在安装架上,第二硅片收料装置的料盒被配置为可沿竖向方向升降,以使在需要收取硅片时,第二硅片收料装置的料盒与第一硅片收料装置的料盒位于同一水平面;在需要取出硅片时,第二硅片收料装置的料盒与第一硅片收料装置的料盒不在同一水平面。
[0028]通过设置两组硅片收料装置,可实现同一出料支线上的两张硅片的同步收片,可以有效提升收片效率;此外,当一个硅片收料装置中的料盒收满时,可以使用另一个硅片收料装置中的料盒进行收片,无需等待料盒内硅片取出的时间,也可以有效提升收片效率。
[0029]本技术还提供了一种硅片分选机,其包括良片收料区和不良片收料区,良片收料区和不良片收料区中至少有一个采用上述实施例提供的硅片收料设备。
[0030]通过采用本技术的硅片收料设备实施对合格片和/或不合格片的收料,缩减了硅片分选机出料区的尺寸,提升了硅片分选机的分选效率。
附图说明
[0031]图1为本技术第一个实施例中的硅片收料装置在一个视角下的结构示意图;
[0032]图2为本技术第一个实施例中的硅片收料装置在另一个视角下的结构示意图;
[0033]图3为本技术第二个实施例中的硅片收料装置的结构本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片收料装置,其特征在于,所述硅片收料装置包括气缸、固定板、滑动板、同步带、同步带联动机构、料盒安装部及料盒,其中:所述滑动板滑动连接在所述固定板上,所述气缸的驱动端与所述滑动板连接,所述气缸用于驱动所述滑动板滑动;所述滑动板上沿所述滑动板的滑动方向设置有第一带轮和第二带轮;所述同步带套设在所述第一带轮和所述第二带轮上;所述料盒安装部滑动连接在所述滑动板上并与所述同步带的第一侧带体固定连接,所述料盒安装在所述料盒安装部上,所述料盒被配置在收片工位收取硅片,在取片工位取出硅片;所述同步带联动机构至少部分固定安装在所述固定板上,所述气缸驱动所述滑动板沿第一方向运动第一距离,所述同步带联动机构带动与所述第一侧带体固定连接的所述料盒安装部沿所述第一方向运动第二距离。2.如权利要求1所述的硅片收料装置,其特征在于,所述同步带联动机构包括第一夹紧块,所述第一夹紧块安装在所述固定板上,所述第一夹紧块的夹紧端夹紧在所述同步带与所述第一侧带体相对的第二侧带体上;所述气缸驱动所述滑动板沿第一方向运动第一距离的同时,所述第一夹紧块牵拉所述同步带,从而带动所述料盒安装部沿所述第一方向运动第二距离。3.如权利要求2所述的硅片收料装置,其特征在于,所述固定板和所述滑动板均竖直设置,所述第一侧带体为上侧带体,所述第二侧带体为下侧带体;或者,所述第一侧带体为下侧带体,所述第二侧带体为上侧带体。4.如权利要求1所述的硅片收料装置,其特征在于,所述硅片收料装置还包括缓冲组件,所述缓冲组件包括限位部和缓冲部,所述限位部和所述缓冲部中的一个固定设置在所述滑动板的端部,另一个沿所述滑动板的滑动方向设置。5.如权利要求1所述的硅片收料装置,其特征在于,所述同步带联动机构包括齿条、转轴及齿轮,其中:所述齿条沿所述滑动板的滑动方向安装在所述固定板上;所述转轴可旋转地安装在所述滑动板上,所述第一带轮和所述齿轮均固定安装在所述转轴上,所述齿轮与所述齿条啮合;所述气缸驱动所述滑动板沿第一方向运动第一距离的同时,所述齿轮在所述齿条的带动下旋转,经所述第一带轮驱动所述同步带转动,从而带动所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:卞海峰李昶刘世挺薛冬冬顾晓奕
申请(专利权)人:无锡奥特维科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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