一种用于工厂自动化生产线的防误控制方法技术

本发明专利技术提供一种用于工厂自动化生产线的防误控制方法，包括如下计划员进行预排产，排产信息同步至现场，生产根据工单进行备料，按照排产节拍检查加工设备状态，包含工装夹具，辅料状况，设备加工程序；产品入库，同步库存信息，设备进行自检，具备加工条件后，进行上料请求；系统收到上料请求后，从库中选择当前设备可加工的产品。本发明专利技术能够在加工前预排产以及开班检，能够对设备辅料管理以及加工规范检查，对派工路径检查、派工水位管理以及替代搬运功能，进行两次进站批次信息检查，即：预进站和进站，能够进行排产防错、加工防错、派工防错和加工规范检查，达到自动化防误的效果，避免人工操作会带来非技术性的不良，具有很强的实用性。用性。用性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于工厂自动化生产线的防误控制方法


[0001]本专利技术涉及半导体领域，具体为一种用于工厂自动化生产线的防误控制方法。

技术介绍

[0002]半导体制造是当今最复杂的制造过程之一。半导体生产线调度是半导体制造系统实际生产中的重要问题，也是调度理论研究的难点之一。半导体生产线具有工艺流程复杂、多重加工流程、多种类型产品同时加工、混合加工模式等特征。在半导体生产线上可能存在多个订单，要求的产品类型可能不同，这样使得工艺流程更加复杂。晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]而在晶圆制造过程中，人工操作会带来非技术性的不良，为了避免此类不良的产生，除了实现工厂自动化搬运方案外，自动化防误必不可少，相比人为因素产生错误，系统逻辑的不完善影响将会是批量的，因此需要一种实现自动化生产线的防误及控制。

技术实现思路

[0004]本专利技术目的在于提供一种用于工厂自动化生产线的防本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于工厂自动化生产线的防误控制方法，其特征在于：包括如下步骤：S1：计划员进行预排产，排产信息同步至现场，生产根据工单进行备料，按照排产节拍检查加工设备状态，包含工装夹具，辅料状况，设备加工程序；S2：产品入库，同步库存信息，设备进行自检，具备加工条件后，进行上料请求；S3：系统收到上料请求后，从库中选择当前设备可加工的产品，同时，检查该设备在系统中的状态以及辅料信息，由EAP实时同步，以及检查该设备的排产信息，满足条件后，下发搬运指令，并标记当前产品，防止重复派工；S4：下位机收到搬运指令后，校验路径是否正确，如正确则进行指令拆分，进行搬运，如在搬运过程中设备出现异常，则自动进行替代搬运；S5：产品到达设备上料口后，系统下发该料号对应的加工规范至设备，设备进行预进站，系统对当前产品信息以及当前制程设备进行校验，如满足加工，则下发开始加工指令至设备；S6：设备收到加工指令，开始加工，过程中如遇到加工异常，则通过EAP实时上报至系统，在加工结束后，系统对异常品进行扣留，由操作人员进行处理后，进行后续制程站点加工；S7：加工完成，设备进行下料请求，系统校验是否满足下料条件，当期批次状态以及下料目的地是否空余，满足条件后，下发搬运指令；S8：下位机收到下料搬运后，校验路径是否正确，如正确则进行指令拆分，进行搬运，如在搬运过程中设备出现异常，则自动进行替代搬运。2.根据权利要求1所述的一种用于工厂自动化生产线的防误控制方法，其特征在于：在所述S1中，预排产包含的验证与防误措施有：计划员根据交期输入订单产品编码，系统显示出可用单晶库存、槽轮规格，之后计划员负责手动干预、选择单晶棒将订单任务分配给设备；制造/计划共同提供包括产品工艺时间、设备产能参数，系统自动计算出产品整条加工生命周期，要求现场按排产顺序进行加工；换产品规格或辅料寿命到期时，排产控制下一颗需派实验单晶，计划内的槽轮寿命到期，由计划员负责实验单晶排产；如遇首检或生产过程中发生槽轮异常情况，设备内的当前产品加工完后，由首检人员及生产人员设置设备为宕机状态，并通知计划员调整设备新任务；排产时控制当前工单下的理论总片数与当前已排产的片数，超出则报错提示，理论出片数计算公式：(单晶长度
‑
损耗长度)/线切槽距；工单结案后，不允许排产。3.根据权利要求1所述的一种用于工厂自动化生产线的防误控制方法，其特征在于：在所述S3中，设备状态与辅料管理包括：设备模...

【专利技术属性】
技术研发人员：金毅，张晓鹏，赵家丰，
申请(专利权)人：江苏道达智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：