【技术实现步骤摘要】
一种石英制品的焊接装置及焊接方法
[0001]本专利技术属于石英制品
,尤其涉及一种石英制品的焊接装置及焊接方法
。
技术介绍
[0002]石英制品属于半导体工艺中的关键耗材
。
用于半导体的石英玻璃制品具有高纯度
、
无污染
、
耐高温等优良特性,其应用贯穿半导体产业链的各个环节
。
石英制品的制造过程非常复杂,以石英砂为原料,先经过气炼熔融制作为石英锭,然后经热改型和冷加工,制成石英筒
、
石英管
、
石英板等材料和制品
。
按照工艺或加工技术来划分:石英制品的制造可分为火加工和机加工两大类型
。
火加工是以氢氧气为燃料,需石英技师手工进行操作,对产品进行吹制
、
焊接或依靠可转动的玻璃车床进行二次整型
、
成型
、
抛光等操作
。
[0003]公开号为
CN212357020U
的技术专利,公开了一种石英玻璃制品焊接装置,包括机体,机体设有水平向的平台,平台上设有竖向的保温筒,保温筒的上下两端开口,保温筒的上方设有上移动台座,保温筒的下方设有下移动台座,上移动台座和下移动台座通过竖向的升降导轨与机体滑动连接;上移动台座设有竖向的上旋转轴,上旋转轴的下端连接有上卡盘,下移动台座设有竖向的下旋转轴,下旋转轴的上端连接有下卡盘,上卡盘和下卡盘为相对设置,上卡盘和下卡盘的盘径与保温筒的内径适应,且上卡 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种石英制品的焊接装置,其特征在于,包括:支撑板
(1)
,其上设有用于对石英制品进行焊接的焊接组件
(6)
;支撑座
(2)
,设置于所述支撑板
(1)
顶部;第一支架
(3)
,共有两个,分别设置于所述支撑座
(2)
左右两侧;工作台
(4)
,设置于两个所述第一支架
(3)
上部之间;夹紧组件
(5)
,设置于所述支撑板
(1)
上,用于对所述工作台
(4)
上的石英制品进行自动夹紧;其中,所述夹紧组件
(5)
包括:第二支架
(51)
,设置于所述支撑座
(2)
左右两侧及前后两侧;导向杆
(52)
,设置于同侧的两个所述第二支架
(51)
之间;机架
(53)
,设置于所述支撑座
(2)
上;第一电机
(54)
,设置于所述机架
(53)
上;转盘
(55)
,设置于所述第一电机
(54)
输出轴上,位于所述工作台
(4)
底部;拨动杆
(56)
,共有两个,分别设置于所述转盘
(55)
两侧的偏心位置上;夹块
(57)
,共有两个,分别滑动式设置于两个所述导向杆
(52)
前后两侧之间;导向槽
(58)
,开设于所述夹块
(57)
上,所述拨动杆
(56)
延伸至所述导向槽
(58)
内,并与所述导向槽
(58)
活动式连接
。2.
根据权利要求1所述的一种石英制品的焊接装置,其特征在于,所述焊接组件
(6)
包括:导向架
(61)
,设置于所述导向杆
(52)
前后两端;支撑杆
(62)
,滑动式设置于所述导向架
(61)
上;固定杆
(63)
,设置于所述支撑杆
(62)
上端;焊枪
(64)
,设置于两个所述固定杆
(63)
之间
。3.
根据权利要求2所述的一种石英制品的焊接装置,其特征在于,所述焊枪
(64)
通过控制电路
(7)
控制运行状态,所述控制电路
(7)
包括:存储部
(71)
,存储所述焊枪
(64)
与焊接对象物的距离值
、
和对应所述焊枪
(64)
的每单位时间的供给长度和每单位时间的供给重要和设定电流中的至少之一的多个焊接条件;电源部
(72)
,向所述焊枪
(64)
供给电力;显示部
(73)
,显示存储部
(71)
储存的距离值和焊枪
(64)
每单位时间的供给长度和供给时间;选择部
(74)
,基于设定选择存储于所述存储部
(71)
内的多个焊接条件中的一个;控制部
(75)
,基于所述选择部
(74)
选择的焊接条件控制所述电源部
(72)
,所述控制部
(75)
与所述选择部
(74)
电连接
。4.
根据权利要求2所述的一种石英制品的焊接装置,其特征在于,所述支撑杆
(62)
与所述第二电机
(8)
输出轴连接,用于调节所述焊枪
(64)
焊接的角度
。5.
根据权利要求4所述的一种石英制品的焊接装置,其特征在于,所述第二支架
(51)
上设有安装...
【专利技术属性】
技术研发人员:周阳,祝精明,杨军,郑明山,
申请(专利权)人:浙江富乐德石英科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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