【技术实现步骤摘要】
偏折型共面波导及背照式光电探测器
[0001]本申请涉及光电探测
，尤其涉及一种偏折型共面波导及背照式光电探测器。
技术介绍
[0002]光电探测器是一种将光信号转换为电信号的器件，当光照射到光电转换元件上时，会产生光生载流子，这些载流子被电场收集形成电信号输出，光电探测器广泛应用于光通信、光学测量、成像、光谱分析、生物医学、安全监测等领域。
[0003]背照式光电探测器是一种常用于高灵敏度光检测的光电探测器，与传统的正面照射式光电探测器不同，背照式光电探测器在反面进行照射，这使得光子能够更容易地穿过探测器的材料层，到达光电转换元件并产生电子
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空穴对，从而提高了光电转换效率，相比于正面接收光信号的光电探测器，背照式光电探测器具有更高的响应度、更低的暗电流和噪声，适用于一些对信噪比和探测灵敏度要求较高的应用场景，例如天文观测、红外成像、高速通信等。
[0004]常见的背照式光电探测器的结构包括入射光纤、光电转换芯片、传统共面波导和射频输出端口，光电转换芯片贴合在传统共面波导上，传统共面...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种偏折型共面波导，应用于背照式光电探测器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底上设有导带，所述导带用于传输电信号，所述导带从所述衬底的第一面延伸至与该第一面相邻的所述衬底的第二面，以使所述电信号从所述第一面传输至所述第二面。2.根据权利要求1所述的偏折型共面波导，其特征在于，所述第一面和所述第二面的夹角小于或等于90
°
。3.根据权利要求2所述的偏折型共面波导，其特征在于，所述第二面远离所述第一面的边缘与所述第一面之间的距离为a，所述第一面的长度为b，所述夹角大于arctan(a/b)。4.根据权利要求1所述的偏折型共面波导，其特征在于，所述导带包括依次间隔设置的第一地线、信号线和第二地线。5.一种背照式光电探测器，其特征在于，包括：壳体；入射光纤，贯穿所述壳体的侧壁，用于将所述壳体外部的光线导入内部；承载台，设置在所述壳体内，与所述入射光纤相对设置，所述承载台靠近所述入射光纤的侧壁设有如权利要求1
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4中任意一项所述的偏折型共面波导，所述偏折型共面波导靠近所述入射光纤的一侧设有光电转换芯片，所述入射光纤垂直于所述光电转换芯片，且所述光电转换芯片的光敏层朝向所述入射光纤设置，以使所述光线垂直照射在所述光电转换芯片上并转换为电信号；所述偏折型共面波导包括衬底，所述衬底靠近所述光电转换芯片的侧面设有导带，所述导带与所述光电转换芯片...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋海艳，马博伟，马飞，王静文，杨展予，
申请(专利权)人：弥尔达半导体北京有限公司，
类型：发明
国别省市：
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