【技术实现步骤摘要】
真空馈入装置
[0001]本专利技术属于精密设备
,尤其涉及一种真空馈入装置
。
技术介绍
[0002]在科技日益发展的今天,微观尺度的探索需求日益迫切,目前一般采用各种超快
、
超短的射线脉冲光束来对物质的结构进行微观解析,其中为了防止射线信号在抵达探测器之前受到空气的干扰或衰减,导致实验结果的精确度下降,需要使用真空腔体的方法来减少杂乱信号的产生
。
在实验过程中方便对射线的照射角度与位置进行调节,使射线可以偏离轴向进行切割运动在实验设备上一般都要设置有真空馈入装置
。
但是现有的真空馈入装置在使用时大多存在着密封性差的技术问题
。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种真空馈入装置,旨在解决现有技术中真空馈入装置使用时存在着密封性差的技术问题
。
[0004]本专利技术是这样实现的,一种真空馈入装置,包括:
[0005]入射管,用于供入射信号通过;
[0006]偏转连接管,所述偏转连接管的第一端与所述入射管的出射端密封连接,所述偏转连接管相对于所述入射管具有绕第一轴线旋转的自由度,所述偏转连接管的轴线与所述第一轴线呈夹角设置,所述第一轴线为所述入射管的轴线;以及
[0007]密封件,盖设在所述偏转连接管的第二端处,且与所述偏转连接管的第二端密封连接,所述密封件上还设置有出光口,所述密封件相对于所述偏转连接管具有绕第二轴线旋转的自由度,所述第二轴线与所述第一轴线相交且呈夹角 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.
一种真空馈入装置,其特征在于,包括:入射管,用于供入射信号通过;偏转连接管,所述偏转连接管的第一端与所述入射管的出射端密封连接,所述偏转连接管相对于所述入射管具有绕第一轴线旋转的自由度,所述偏转连接管的轴线与所述第一轴线呈夹角设置,所述第一轴线为所述入射管的轴线;以及密封件,盖设在所述偏转连接管的第二端,且与所述偏转连接管的第二端密封连接,所述密封件上还设置有出光口,所述密封件相对于所述偏转连接管具有绕第二轴线旋转的自由度,所述第二轴线与所述第一轴线相交且呈夹角设置
。2.
如权利要求1所述的真空馈入装置,其特征在于,所述偏转连接管的第一端与所述入射管之间设置有第一差动法兰,所述偏转连接管的第一端部通过所述第一差动法兰与所述入射管密封且转动连接,所述偏转连接管的第二端部与所述密封件之间设置有第二差动法兰,所述偏转连接管的第二端部通过所述第二差动法兰与所述密封件密封且转动连接
。3.
如权利要求2所述的真空馈入装置,其特征在于,所述第一差动法兰包括第一法兰件
、
第二法兰件以及驱动机构,所述第一法兰件上设置有环形密封槽和连接通道,所述连接通道的第一端与所述环形密封槽连通,所述连接通道的另一端用于与外部负压装置连通,所述第二法兰件与所述第一法兰件转动连接,且所述第二法兰件与所述第一法兰件同轴设置,所述第二法兰件上设置有环形密封部,所述环形密封部插设于所述环形密封槽内,所述环形密封部通过密封结构与所述环形密封槽转动密封,所述环形密封部的底面与所述环形密封槽的底面之间间隔设置
、
且两者之间形成密封腔,所述密封腔与所述连接通道的第一端连通,所述驱动机构的驱动端与所述第一法兰件和
/
或所述第二法兰件相连,用于驱动所述第一法兰件与所述第二法兰件之间相对转动
。4.
如权利要求3所述的真空馈入装置,其特征在于,所述密封结构包括两个密封圈组,两个所述密封圈组分别设于所述环形密封部以及所述环形密封槽的侧壁之间的间隙处,且每个所述密封圈组中均包括至少一个密封圈
。5.
如权利要求4所述的真空馈入装置,其特征在于,所述驱动机构包括驱动涡轮
技术研发人员:朱庆浩,蔡建栋,仲银鹏,
申请(专利权)人:深圳综合粒子设施研究院,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。