一种基于扫描电镜观察冷喷涂表层沉积颗粒背面形貌的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基于扫描电镜观察冷喷涂表层沉积颗粒背面形貌的装置及方法。该装置配有可伸缩底座样品台和滑轨模块，可以满足不同大小试样的测试要求和取样位置的实时更换。在进行取样时，将固体导电胶贴于样品表面，摇动该装置一侧的手摇轮使橡胶滚轮来回滚动，使导电胶与样品表面贴合。待取样结束后，将导电胶揭下翻转并放置在扫描电镜专用载物台上，然后打开电子束观察样品形貌，同时进行EDS能谱分析。最后，通过数据处理，分析表层沉积颗粒的变形程度、结合状态以及颗粒间的结合方式。这种装置和方法可有效观察冷喷涂表层沉积颗粒背面形貌和成分，为相关研究和应用提供有力支持。持。持。

【技术实现步骤摘要】
一种基于扫描电镜观察冷喷涂表层沉积颗粒背面形貌的装置及方法


[0001]本专利技术涉及采用扫描电镜观察冷喷涂沉积颗粒背面形貌的试样预处理装置及使用方法。

技术介绍

[0002]冷喷涂技术是最近几十年新兴的技术，目前针对于冷喷涂涂层的颗粒结合机理一直是研究人员关注的重要方向。冷喷涂过程中喷涂颗粒以极高的速度撞击到基体表面发生塑性变形，并沉积形成涂层或沉积体。颗粒与基体以及颗粒之间的结合是决定涂层或沉积体质量的关键。已有研究将基体或已沉积颗粒表面的颗粒剥落，通过观察颗粒背面形貌来研究颗粒与底部基体或沉积体的结合状态。通过沉积颗粒背面形貌及成分的分析，掌握颗粒结合的第一手信息，从而分析颗粒在冷喷涂沉积过程中的结合机理。
[0003]已有研究通过拉伸法和气蚀法将基体或已沉积颗粒表面的颗粒剥落，这两种方法存在以下缺点：(1)通过拉伸法剥落表层颗粒的实验装置跟测试涂层结合强度和拉伸强度的实验装置相同，因此在测试过程中很难保证在表层颗粒和底部结合颗粒之间发生断裂。因此，断裂位置的随机性较大，从而导致很难捕捉到完整的表层颗粒背面形貌；(2)气蚀法是采用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于扫描电镜观察冷喷涂表层沉积颗粒背面形貌的待观察样品制备的装置有一个可伸缩调节大小的底座样品台(零件1)，样品台由可旋转螺杆(零件2)和样品夹(零件5)组成，可旋转螺杆由手摇旋杆(零件3)和顶头(零件4)组成，且样品台四角配有四个可固定螺孔；在四个可固定螺孔上固定装四个支柱(零件6)，支柱顶端口具有螺孔；在支柱低端装备四个固定螺母(零件7)，在螺母上装一个软弹簧(零件8)，在软弹簧上装配可滑动固定轨道(零件13)，在滑轨上装备硬弹簧(零件9)，四个支柱杆顶部使用四角十字架封顶(零件10)，与支柱杆上螺孔通过螺栓固定；在十字架顶端配有砝码(零件11)；由两根支柱固定可上下滑动的滑轨模块(零件13)；每个滑轨模块上装配一个可滑动轨道(零件16)和固定轨道片(零件12)；两个滑轨模块(零件13)间有一个固定轴(零件14)且轴中心处固定一橡胶滚轮(零件18)，在长轴两端分别固定一个滚动轴承(零件14)和轴承顶头(零件15)，且其中一端由一个手摇轮(零件17)固定，与固定轴连接，摇动手摇轮使固定轴与滚轮做同心运动。2.根据权利要求1所述基于扫描电镜观察冷喷涂表层沉积颗粒背面形貌的待观察样品制备的装置，其特征在于可以分成两级装置，分级装置1组件由零件(1
‑
5)组成，...

【专利技术属性】
技术研发人员：周红霞，李文权，蒋圣威，
申请(专利权)人：青海大学，
类型：发明
国别省市：