本实用新型专利技术提供了一种尾气处理装置和洗涤塔尾气处理系统，所述尾气处理装置包括冷却组件和加热件；所述冷却组件包括冷却腔体和冷却件，所述冷却腔体的进口端连通洗涤塔的排气端，所述冷却件设置于所述冷却腔体内，且所述冷却件内通入冷却水以对流经所述冷却腔体的尾气降温；所述加热件设置于所述冷却腔体的进口端以对进入所述冷却腔体的尾气加热。本实用新型专利技术使尾气通过所述加热件加热升温后，再经过所述冷却件降温，以此造成巨大温差，从而能使将尾气中的含酸性气体更容易冷凝液化，大大提升了冷却效率，能使酸性气体更少的从所述冷却腔体的排气口排出，减少了对排气管道的腐蚀，从而大大增强了尾气处理装置的处理效率。从而大大增强了尾气处理装置的处理效率。从而大大增强了尾气处理装置的处理效率。
【技术实现步骤摘要】
尾气处理装置和洗涤塔尾气处理系统
[0001]本技术涉及尾气处理
，尤其涉及一种尾气处理装置和洗涤塔尾气处理系统。
技术介绍
[0002]目前半导体行业会使用大量的特气，当前环保要求越来越严格，对尾气的排放标准要求也越来越高，为达成排放标准，需要在现场设置尾气处理装置(local scrubber)。尾气处理装置分为多种，其共同的作用为分解有害气体。现有技术中的尾气处理装置的处理效率无法达到百分之百，使得残余的特气经过洗涤塔后还会有残余的酸性水蒸气排出，酸性蒸汽会有一定的腐蚀性，会腐蚀排气管道，增加厂务端的处理负担，而且管道容易腐蚀而破损，易发生安全事故。
[0003]公开号为CN216114080U的中国专利公开了一种应用于废气处理
的尾气处理装置，所述的尾气处理装置包括燃烧室、喷淋室，燃烧室包括反应腔和冷却腔，反应腔上设置进气口，PCW进口通过管路分别连通冷却腔进口和喷淋室进口，反应腔下端连通喷淋室下部，喷淋室通过排气口连通排风管道，冷却腔出口连通PCW出口，喷淋室出口连通PCW出口。即该专利在排气口设置冷凝外腔，所述冷凝外腔内连接工艺冷却水系统(Process Cooling Water，PCW)以通入冷却水对排气口内的尾气冷却。但该专利存在冷却效率低，且在废气处理过程中降温效果较差的问题。
[0004]因此，有必要提供一种新型的尾气处理装置和洗涤塔尾气处理系统以解决现有技术中存在的上述问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种新型的尾气处理装置和洗涤塔尾气处理系统，以解决现有技术中尾气会对排气管道腐蚀，冷却效率低的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术的所述尾气处理装置包括冷却组件和加热件；所述冷却组件包括冷却腔体和冷却件，所述冷却腔体的进口端连通洗涤塔的排气端，所述冷却件设置于所述冷却腔体内，且所述冷却件内通入冷却水以对流经所述冷却腔体的尾气降温；所述加热件设置于所述冷却腔体的进口端以对进入所述冷却腔体的尾气加热。
[0007]本技术的所述尾气处理装置的有益效果在于：通过所述冷却件设置于所述冷却腔体内，且所述冷却件内通入冷却水，使得所述冷却腔体内的温度一直处于较低温度，从而对流经所述冷却腔体的尾气持续冷却，以使酸性蒸汽能遇冷凝结成液体，再通过加热件设置于所述冷却腔体的进口端以对进入所述冷却腔体的尾气加热，即使尾气通过所述加热件加热升温后，再经过所述冷却件降温，以此造成巨大温差，从而能使将尾气中的含酸性气体更容易冷凝液化，大大提升了冷却效率，能使酸性气体更少的从所述冷却腔体的排气口排出，减少了对排气管道的腐蚀。
[0008]优选的，所述尾气处理装置还包括气体吹扫组件，所述气体吹扫组件包括通气管
路，所述通气管路与所述冷却腔体连通，且所述通气管路通入吹扫气体以吹扫所述冷却腔体内的冷凝液体及尾气。其有益效果在于：所述通气管路通入的气流能有效的将所述冷却腔体内的尾气吹扫到所述冷却件的表面进行冷凝结成液体，大大提升了冷却效率，使酸性气体更少的从所述冷却腔体的排气口排出，减少了对排气管道的腐蚀。
[0009]优选的，所述冷却组件还包括回流管路，所述回流管路的回水端与所述冷却腔体连接，所述回流管路的出水端与水箱连接，且所述通气管路的出气端与所述回流管路的回水端相对设置。其有益效果在于：所述回流管路收集酸性液体，且酸性液体通过所述回流管路流回洗涤塔的水箱排走，可以有效减少对排气管道的腐蚀；所述通气管路的出气端与所述回流管路的回水端相对设置，有利于使所述通气管路通入的吹扫气体将所述冷却腔体内的冷凝液体吹向所述回流管路的回水端，从而提高回流效率，减少对所述冷却组件的腐蚀。
[0010]优选的，所述冷却组件还包括液体收集件，所述液体收集件包括液体进口端和液体出口端，所述液体进口端连接于所述冷却腔体，所述液体出口端连接于所述回流管路，且所述液体进口端的横截面积大于所述液体出口端的横截面积。其有益效果在于：即连接于所述冷却腔体的所述液体进口端面积相对较大，使得所述冷却腔体内的液体更容易汇集流入所述液体收集件，有利于收集冷凝液体，从而能及时的将所述冷却腔体内的酸性液体通过所述回流管路流回水箱，大大减少了对所述冷却组件的腐蚀。
[0011]优选的，所述气体吹扫组件还包括气体吹扫件，所述气体吹扫件包括气体进口端和气体出口端，所述气体进口端连接于所述通气管路，所述气体出口端连接于所述冷却腔体，且所述气体进口端的横截面积小于所述气体出口端的横截面积。其有益效果在于：即连接于所述冷却腔体的所述气体出口端的面积相对较大，使得扩大了朝向所述冷却腔体的吹扫面积，有利于将所述冷却腔体内的冷凝液体更加有效的吹向所述回流管路，从而提高回流效率，减少对所述冷却组件的腐蚀，且有利于将所述冷却腔体内的尾气吹扫到所述冷却件的表面进行冷凝结成液体，大大提升了冷却效率。
[0012]优选的，所述液体收集件和所述气体吹扫件均为漏斗形结构。其有益效果在于：所述液体收集件为漏斗形结构有利于收集冷凝液体，减少了对所述冷却组件的腐蚀，所述气体吹扫件为漏斗形结构，有利于将所述冷却腔体内的冷凝液体更加有效的吹向所述回流管路，从而提高回流效率，减少对所述冷却组件的腐蚀，且有利于将所述冷却腔体内的尾气吹扫到所述冷却件的表面进行冷凝结成液体，大大提升了冷却效率。
[0013]优选的，所述气体吹扫件设有至少2个，所述气体吹扫件的轴向中心线与所述冷却腔体的轴向中心线呈夹角设置，所述气体吹扫件的出气端均朝向所述回流管路的回水端设置。其有益效果在于：可将所述冷却腔体内的冷凝液体更加有效的吹向所述回流管路，从而提高回流效率，减少对所述冷却组件的腐蚀，且有利于将所述冷却腔体内的尾气吹扫到所述冷却件的表面进行冷凝结成液体，大大提升了冷却效率。
[0014]优选的，所述尾气处理装置还包括流量传感器、以及分别与所述流量传感器连接的液体流量控制组件和气体流量控制组件，所述流量传感器设置于所述冷却腔体以用于检测所述冷却腔体内的尾气流量，所述液体流量控制组件设置于所述冷却件以用于根据所述尾气流量控制所述冷却件内所述冷却水的流入量，所述气体流量控制组件设置于所述通气管路以用于根据所述尾气流量控制所述冷却腔体内所述吹扫气体的流入量。其有益效果在于：通过感知述冷却腔体内的尾气流量，以调节所述冷却水的流入量和所述吹扫气体的流
入量，使得能有效节省冷却成本。
[0015]优选的，所述冷却件包括冷却管道、以及设置于所述冷却管道两端的进水部和出水部，所述冷却管道设置于所述冷却腔体内，所述进水部靠近所述加热件的一端设置，所述出水部远离所述加热件的一端设置。其有益效果在于：使得通过所述加热件加热的尾气能先经过未升温的冷却水，以此造成巨大温差，从而能使将尾气中的含酸性气体更容易冷凝液化，大大提升了冷却效率。
[0016]优选的，所述进水部和所述出水部采用螺纹方式或快插方式与PCW水管连接，所述冷却管道为弯曲形结构。其有益效果在于：螺纹方式或快插方式连接简单方便，便于拆卸、更换和本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括：冷却组件，包括冷却腔体和冷却件，所述冷却腔体的进口端连通洗涤塔的排气端，所述冷却件设置于所述冷却腔体内，且所述冷却件内通入冷却水以对流经所述冷却腔体的尾气降温；加热件，设置于所述冷却腔体的进口端以对进入所述冷却腔体的尾气加热。2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括气体吹扫组件，所述气体吹扫组件包括通气管路，所述通气管路与所述冷却腔体连通，且所述通气管路通入吹扫气体以吹扫所述冷却腔体内的冷凝液体及尾气。3.根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述冷却组件还包括回流管路，所述回流管路的回水端与所述冷却腔体连接，所述回流管路的出水端与水箱连接，且所述通气管路的出气端与所述回流管路的回水端相对设置。4.根据权利要求3所述的尾气处理装置，其特征在于，所述冷却组件还包括液体收集件，所述液体收集件包括液体进口端和液体出口端，所述液体进口端连接于所述冷却腔体，所述液体出口端连接于所述回流管路，且所述液体进口端的横截面积大于所述液体出口端的横截面积。5.根据权利要求4所述的尾气处理装置，其特征在于，所述气体吹扫组件还包括气体吹扫件，所述气体吹扫件包括气体进口端和气体出口端，所述气体进口端连接于所述通气管路，所述气体出口端连接于所述冷却腔体，且所述气体进口端的横截面积小于所述气体出口端的横截面积。6.根据权利要求5所述的尾气处理装置，其特征在于，所述液体收集件和所述气体吹扫件均为漏斗形结构。7.根据权利要求5所述的尾气处理装置，其特征在于，所述气体吹扫件设有至少2个，所述气体吹扫件的轴向中心线与所述冷却腔体的轴向中心线呈夹角设置，所述气体吹扫件的出气端均朝向所述回流管路的回水端设置。8.根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括流量传感器、以及分别与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张高伟，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：
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