【技术实现步骤摘要】
一种聚焦离子束扫描电子显微镜低温样品台
[0001]本技术涉及显微镜
,具体为一种聚焦离子束扫描电子显微镜低温样品台。
技术介绍
[0002]显微镜是由一个透镜或几个透镜的组合构成的一种光学仪器,随着科学的不断发展,显微镜的类型也在不断改进,其中就包括聚焦离子束扫描电子显微镜,它是一种用于材料科学、化学、物理学、航空、航天科学
的分析仪器。
[0003]现有的聚焦离子束扫描电子显微镜在使用时不具有对样品进行低温保持的功能,使得样品在检测时容易发生损坏,所以亟需一种聚焦离子束扫描电子显微镜低温样品台来解决上述提出的问题。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足,本技术提供了一种聚焦离子束扫描电子显微镜低温样品台,具备便于制冷的功能,解决了上述
技术介绍
中的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种聚焦离子束扫描电子显微镜低温样品台,包括支撑座,所述支撑座的顶部分别固定连接有显示模块、控 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种聚焦离子束扫描电子显微镜低温样品台,包括支撑座(1),其特征在于:所述支撑座(1)的顶部分别固定连接有显示模块(2)、控制模块(3)和显微镜本体(4),所述支撑座(1)的顶部活动连接有活动杆(5),所述活动杆(5)的顶部固定连接有支撑台(6),所述支撑台(6)的内壁开设有容纳槽(7),所述容纳槽(7)的内壁固定连接有制冷模块(8),所述支撑台(6)的外壁开设有放置槽(9),所述放置槽(9)的底部开设有连接孔(10)。2.根据权利要求1所述的一种聚焦离子束扫描电子显微镜低温样品台,其特征在于:所述显示模块(2)与控制模块(3)之间设置有电缆,且显示模块(2)与控制模块(3)之间通过电缆电性连接。3.根据权利要求1所述的一种聚焦离子束扫描电子显微镜低温样...
【专利技术属性】
技术研发人员:潘梦伟,仲宇飞,辛欣,
申请(专利权)人:四川沃禧科技发展有限公司,
类型:新型
国别省市:
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