MEMS环行器载具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种MEMS环行器载具，包括底座、磁性件、限位板和密封盖，底座顶部开设有容纳腔；磁性件设于所述容纳腔内；限位板设于所述容纳腔内，并位于所述磁性件的上方，所述限位板上开设有多个用于容置MEMS环行器的限位槽；密封盖罩设于所述底座上，用于封盖所述容纳腔。本实用新型专利技术提供的MEMS环行器载具，旨在解决现有技术中MEMS环行器的载具通用性差，导致成本增加的问题。导致成本增加的问题。导致成本增加的问题。

【技术实现步骤摘要】
MEMS环行器载具


[0001]本技术属于环行器承载用具
，更具体地说，是涉及一种MEMS环行器载具。

技术介绍

[0002]MEMS环行器是一种新型结构的微带铁氧体环行器，以硅/陶瓷为介质基板，通过MEMS三维互联集成工艺实现硅基/陶瓷基腔体结构并保证微带电路连续，采用嵌套(填埋)旋磁铁氧体基片实现器件功能。MEMS环行器具有低损耗、高功率、带外抑制等优点，可解决微带宽带环行器/隔离器功率下低频损耗增加问题。由于MEMS环行器的体积较小，且具有永磁体，给生产过程中的周转、包装和输送带来很多不便。
[0003]现有技术中通常采用周转盒对MEMS环行器进行收纳固定。周转盒通常具有两种结构，第一种是具有容纳室的防静电托盘，将多个MEMS环行器同时放入容纳室内，容纳室对环行器无固定作用，故在周转过程中MEMS环行器会在盒内发生位移，MEMS环行器的底面与盒体表面摩擦，造成产品底面划伤，甚至在位移速度过大时，环行器会与托盘边缘相碰撞造成环行器边角缺损；第二种是根据产品尺寸在托盘上开设多个等尺寸的腔室，每个MEMS环行器设于一个腔室内，且上方增加压板固定，防止MEMS环行器在周转过程中发生位移及掉落，但该托盘兼容度差。因产品尺寸多样化，单边尺寸相差0.5mm以上即需重新制作新尺寸托盘，造成成本增加，存储资源浪费严重。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种MEMS环行器载具，旨在解决现有技术中MEMS环行器的载具通用性差，导致成本增加的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：提供一种MEMS环行器载具，包括：
[0006]底座，顶部开设有容纳腔；
[0007]磁性件，设于所述容纳腔内；
[0008]限位板，设于所述容纳腔内，并位于所述磁性件的上方，所述限位板上开设有多个用于容置MEMS环行器的限位槽；以及
[0009]密封盖，罩设于所述底座上，用于封盖所述容纳腔。
[0010]在一种可能的实现方式中，所述容纳腔包括多个相互独立的腔室，所述磁性件和所述限位板分别设有多个，每个所述磁性件设于其中一个所述腔室内，所述限位板与所述磁性件一一对应设置。
[0011]在一种可能的实现方式中，所述限位槽为上下贯通的槽体。
[0012]在一种可能的实现方式中，所述MEMS环行器载具还包括设于所述限位板上方的盖板，所述盖板设于所述容纳腔内，并搭设于所述限位板上。
[0013]在一种可能的实现方式中，所述盖板上开设有让位槽，所述让位槽与所述容纳腔
连通。
[0014]在一种可能的实现方式中，所述底座上还设有导向柱，所述磁性件上开设有与所述导向柱相适配的第一导向孔，所述限位板上开设有与所述导向柱相适配的第二导向孔，所述导向柱分别插设于所述第一导向孔和所述第二导向孔内。
[0015]在一种可能的实现方式中，所述限位板上还开设有取物槽，所述取物槽位于所述限位槽的外侧，并与所述限位槽连通。
[0016]在一种可能的实现方式中，所述底座相对两侧的外缘分别设有凸台，所述密封盖上开设有与所述凸台卡接的卡接部。
[0017]在一种可能的实现方式中，所述密封盖包括设于所述底座顶部的板体和连接于所述板体底部的连接件，所述连接件包括与所述板体底部连接的连接条和与所述连接条垂直设置的卡块，所述连接条位于所述凸台的外侧，所述卡块向所述连接条的内侧延伸，所述卡块形成所述卡接部。
[0018]在一种可能的实现方式中，所述密封盖上开设有多个防滑槽。
[0019]本技术提供的MEMS环行器载具的有益效果在于：与现有技术相比，本技术MEMS环行器载具将MEMS环行器放置于限位槽内，MEMS环行器上的磁铁与磁性件吸附，从而将MEMS环行器固定于限位槽内。每个MEMS环行器位于其中一个限位槽内，使相邻的两个MEMS环行器间隔设置。密封盖罩设在底座上，从而将容纳腔封闭。在运输或转运过程中，即使发生倾斜等问题，磁性件也可以将MEMS环行器固定，避免MEMS环行器与限位板发生碰撞，同时也避免了相邻的两个MEMS环行器相互摩擦。另外，即便由于外漏作用导致MEMS环行器在限位槽内发生移动，由于密封盖的封盖和限位槽的限位作用，也避免了相邻的MEMS环行器相互接触。本技术中的方案可以有效避免MEMS环行器在运输过程中发生移动而导致损坏，而且采用磁性件与MEMS环行器上的磁铁吸附，无需使限位槽与MEMS环行器外形适配，扩大了适用范围，使本载体具有通用性，降低了生产成本。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术实施例提供的MEMS环行器载具的爆炸图；
[0022]图2为本技术实施例提供的MEMS环行器载具的仰视图；
[0023]图3为图2中A部的局部放大图；
[0024]图4为本技术实施例提供的MEMS环行器载具的内部结构示意图；
[0025]图5为图4中B的局部放大图；
[0026]图6为本技术实施例采用的底座的仰视图；
[0027]图7为图6中C的局部放大图。
[0028]图中：
[0029]1、密封盖；101、板体；102、连接件；1021、连接条；1022、卡块；103、防滑槽；
[0030]2、底座；201、凸台；202、腔室；
[0031]3、限位板；301、限位槽；302、取物槽；303、第二导向孔；
[0032]4、磁性件；401、第一导向孔；
[0033]5、导向柱；
[0034]6、盖板；601、让位槽。
具体实施方式
[0035]为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0036]请一并参阅图1至图7，现对本技术提供的MEMS环行器载具进行说明。MEMS环行器载具，包括底座2、磁性件4、限位板3和密封盖1，底座2顶部开设有容纳腔；磁性件4设于容纳腔内；限位板3设于容纳腔内，并位于磁性件4的上方，限位板3上开设有多个用于容置MEMS环行器的限位槽301；密封盖1罩设于底座2上，用于封盖容纳腔。
[0037]本技术提供的MEMS环行器载具，与现有技术相比，本技术MEMS环行器载具将MEMS环行器放置于限位槽301内，MEMS环行器上的磁铁与磁性件4吸附，从而将MEMS环行器固定于限位槽301内。每个MEMS环行器位于其中一个限位槽301内，使相邻的两个MEMS环行器间隔设置。密封盖1罩设在底座2上，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.MEMS环行器载具，其特征在于，包括：底座，顶部开设有容纳腔；磁性件，设于所述容纳腔内；限位板，设于所述容纳腔内，并位于所述磁性件的上方，所述限位板上开设有多个用于容置MEMS环行器的限位槽；以及密封盖，罩设于所述底座上，用于封盖所述容纳腔。2.如权利要求1所述的MEMS环行器载具，其特征在于，所述容纳腔包括多个相互独立的腔室，所述磁性件和所述限位板分别设有多个，每个所述磁性件设于其中一个所述腔室内，所述限位板与所述磁性件一一对应设置。3.如权利要求1所述的MEMS环行器载具，其特征在于，所述限位槽为上下贯通的槽体。4.如权利要求1所述的MEMS环行器载具，其特征在于，所述MEMS环行器载具还包括设于所述限位板上方的盖板，所述盖板设于所述容纳腔内，并搭设于所述限位板上。5.如权利要求4所述的MEMS环行器载具，其特征在于，所述盖板上开设有让位槽，所述让位槽与所述容纳腔连通。6.如权利要求1所述的MEMS环行器载具，...

【专利技术属性】
技术研发人员：许鹏，梁晓伟，谢姝静，卢倩，段强，
申请(专利权)人：河北美泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：