一种尾气处理设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种尾气处理设备，一种尾气处理设备，包括用于净化尾气的过滤桶，过滤桶内部空间被分隔为第一过滤腔和第二过滤腔，过滤桶上设置有连通第一过滤腔的第一进气口和第一出气口以及连通第二过滤腔的第二进气口和第二出气口，第一进气口与第二进气口通过换向阀共同连接有总进气管，第一出气口和第二出气口共同连接有总出气管，过滤桶上设置有风机和集气组件，风机引风使尾气进入总进气管，经过第一过滤腔或第二过滤腔后从总出气管排出。在单个过滤桶内设置第一过滤腔和第二过滤腔，第一过滤腔和第二过滤腔互为备用，保证了设备的可靠性，同时相对于额外设置备用桶大大节约了设备的安装空间，管路也相对较为精简。简。简。

【技术实现步骤摘要】
一种尾气处理设备


[0001]本技术属于尾气处理
，尤其涉及一种尾气处理设备。

技术介绍

[0002]半导体工业尾气中含有大量污染性气体以及固体颗粒物，该尾气需要经过不同步骤的处理后才能够达到排放要求。
[0003]申请号为CN202021515685.0的中国技术专利公开了一种半导体尾气双冷桶处理吸附设备，包括箱体，所述箱体内设置第一冷桶和第二冷桶，所述第一冷桶的上方设有集气桶，所述集气桶和第一冷桶之间通过总进气管连通，所述集气桶的上方可拆卸连接有若干个集气管，所述集气管的上部穿过箱体后与箱体通过法兰盘固定，所述第一冷桶和第二冷桶的下部设有导气口，两个所述导气口相对设置，两个所述导气口之间通过连通管连接，所述第二冷桶的上方设有风机，所述风机和第二冷桶之间通过风机进气管连接，所述风机通过设于其上方的电机进行驱动。
[0004]上述尾气处理设备中，为保证设备的可靠性设置有备用桶，当第一冷桶故障时能切换备用桶进行工作。但备用桶的设置增加了设备整体的体积以及管路的复杂程度。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是针对上述存在的技术问题，提供一种在保证可靠性的同时能够减少设备体积的尾气处理设备。
[0006]本技术的目的是这样实现的：一种尾气处理设备，包括用于净化尾气的过滤桶，过滤桶内部空间被分隔为第一过滤腔和第二过滤腔，过滤桶上设置有连通第一过滤腔的第一进气口和第一出气口以及连通第二过滤腔的第二进气口和第二出气口，第一进气口与第二进气口通过换向阀共同连接有总进气管，第一出气口和第二出气口共同连接有总出气管，过滤桶上设置有风机和集气组件，风机引风使尾气进入总进气管，经过第一过滤腔或第二过滤腔后从总出气管排出。
[0007]本技术中进一步的，过滤桶设置有两个且分别为第一过滤桶和第二过滤桶，第一过滤桶的总出气管与第二过滤桶的桶总进气管连通。
[0008]本技术中进一步的，集气组件连接第一过滤桶的总进气管，风机连接第二过滤桶的总出气管。
[0009]本技术中进一步的，第一过滤桶上的换向阀为第一换向阀，第二过滤桶上的换向阀的第二换向阀，第一换向阀控制来自集气组件的尾气进入第一过滤桶的第一过滤腔或第二过滤腔，第二换向阀控制来自第一过滤桶的飞起进入第二过滤桶的第一过滤腔或第二过滤腔。
[0010]本技术中进一步的，第二过滤桶的总出气管上设置有用于支撑风机的风机支架。
[0011]本技术中进一步的，集气组件包括多个集气管以及连接多个集气管的集气
桶，集气桶连接第一换向阀。
[0012]本技术中进一步的，过滤桶包括竖直设置的隔板，隔板将过滤桶内部空间分隔为第一过滤腔和第二过滤腔。
[0013]本技术中进一步的，第一过滤腔和第二过滤腔内设置有拆卸的筒状支撑架，支撑架上设置有分别置于上部与下部的两片多孔网，两片多孔网之间设置有吸附剂。
[0014]本技术中进一步的，过滤桶上设置有分别与第一过滤腔和第二过滤腔对应的两个开口，开口上设置有覆盖开口的盖板。
[0015]本技术中进一步的，开口上设置有与开口形状一致的环形槽，筒状支撑架上设置有与开口抵接的限位盘，限位盘上设有嵌入环形槽的限位环，盖板覆盖开口时与限位盘抵触。
[0016]本技术的有益效果是：在单个过滤桶内设置有第一过滤腔和第二过滤腔，第一过滤腔和第二过滤腔互为备用，保证了设备的可靠性，同时相对于额外设置备用桶节约了设备的安装空间，管路也相对较为简单。
附图说明
[0017]图1是本技术的结构示意图；
[0018]图2是本技术的俯视图；
[0019]图3是第一过滤桶的结构示意图；
[0020]图4是第二过滤桶的结构示意图；
[0021]图5是过滤桶内部的结构示意图；
[0022]图6是图5中A处的结构示意图；
[0023]其中附图标记为：过滤桶100；第一过滤腔101；第二过滤腔102；隔板103；筒状支撑架104；开口105；多孔网106；限位盘107；限位环108；第一过滤桶110；第二过滤桶120；进气口130；第一进气口131；第二进气口132；总进气管133；出气口140；第一出气口141；第二出气口142；总出气管143；盖板150；环形槽160；集气桶200；集气管210；风机300；电机310；风机支架320；第一换向阀400；第二换向阀500。
具体实施方式
[0024]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0025]参阅图1至图6，一种尾气处理设备，包括用于净化尾气的过滤桶100，过滤桶100包括第一过滤桶110和第二过滤桶120。单个过滤桶100内部的空间通过隔板103分隔为第一过滤腔101和第二过滤腔102。
[0026]过滤桶100上设置有进气口130和出气口140，进气口130被分为用于供尾气流入第一过滤腔101的第一进气口131和用于供尾气流入第二过滤腔102的第二进气口132，第一进气口131与第二进气口132通过换向阀连接有总进气管133，换向阀控制尾气通过第一进气口131或第二进气口132，使尾气进入第一过滤腔101或第二过滤腔102内进行吸附。出气口140被分为供尾气流出第一过滤腔101的第一出气口141和供尾气流出第二过滤腔102的第
二出气口142，第一出气口141和第二出气口142通过连接有总出气管143。
[0027]第一过滤桶110的总出气管143和第二过滤桶120的总进气管133连通使第一过滤桶110与第二过滤桶120连通，尾气在经过第一过滤桶110吸附后再进入第二过滤桶120进行吸附，加强了净化效果。
[0028]在第一过滤桶110的总进气管133上连接有集气组件，集气组件由连接第第一过滤桶110的总进气管133的集气桶200和设置在集气桶200上等距排列的多个集气管210构成，尾气从集气组件进入第一过滤桶110内。在第二过滤桶120的总出气管143上连接有风机支架320，风机支架320上安装有连接第二过滤桶120的总出气管143的风机300，风机300通过电机310驱动，风机300通过转动产生的吸力使尾气流动，使尾气自进气组件进入第一过滤桶110后再进入第二过滤桶120，最后流动至第二过滤桶120的总出气管143处。
[0029]第一过滤桶110上的换向阀为第一换向阀400，第二过滤桶120上的换向阀的第二换向阀500，第一换向阀400控制来自集气组件的尾气进入第一过滤桶110的第一过滤腔101或第二过滤腔102，第二换向阀500控制来自第一过滤桶110的飞起进入第二过滤桶120的第一过滤腔101或第二过滤腔102。使用时第一过滤桶110和第二过滤桶120均本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种尾气处理设备，其特征在于，包括用于净化尾气的过滤桶（100），所述过滤桶（100）的内部空间被分隔为第一过滤腔（101）和第二过滤腔（102），过滤桶（100）上设置有连通第一过滤腔（101）的第一进气口（131）和第一出气口（141）以及连通第二过滤腔（102）的第二进气口（132）和第二出气口（142），所述第一进气口（131）与第二进气口（132）通过换向阀共同连接有总进气管（133），所述第一出气口（141）与第二出气口（142）共同连接有总出气管（143），所述过滤桶（100）上设置有风机（300）和集气组件，风机（300）引风使尾气进入总进气管（133），经过第一过滤腔（101）或第二过滤腔（102）后流动至总出气管（143）。2.根据权利要求1所述的一种尾气处理设备，其特征在于，所述过滤桶（100）设置有两个且分别为第一过滤桶（110）和第二过滤桶（120），第一过滤桶（110）的总出气管（143）与第二过滤桶（120）的桶总进气管（133）连通。3.根据权利要求2所述的一种尾气处理设备，其特征在于，所述集气组件连接第一过滤桶（110）的总进气管（133），所述风机（300）连接第二过滤桶（120）的总出气管（143）。4.根据权利要求3所述的一种尾气处理设备，其特征在于，所述第一过滤桶（110）上的换向阀为第一换向阀（400），所述第二过滤桶（120）上的换向阀的第二换向阀（500），第一换向阀（400）控制来自集气组件的尾气进入第一过滤桶（110）的第一过滤腔（101）或第二过滤腔（102），第二换向阀（500）控制来自第一过滤桶（110）的尾气进入第二过滤桶（...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，崔汉宽，
申请(专利权)人：绍兴市高笙半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：