本发明专利技术公开了一种抛光垫修整装置，包括中心键轴、驱动机构，所述驱动机构包括从上到下依次连接套设在中心键轴外壁上的法兰轴和支撑环以及套设在法兰轴外壁的直驱电机主体，法兰轴与中心键轴键连接，支撑环与法兰轴外壁之间从上到下依次设置有第一环状空腔和第二环状空腔，中心键轴上开设有第一气路，第一气路的一端用于与压力控制机构连通，另外一端与第一环状空腔连通，第二环状空腔内设置有弹簧；本发明专利技术通过驱动机构与中心键轴连接，并通过驱动机构中的法兰轴和支撑环与中心键轴的外壁形成用于驱动修整机构的气路，达到使得整个修整装置结构紧凑，减轻了整个修整装置的重量，同时缩短了驱动机构对中心键轴的控制行程，提高了控制效率。高了控制效率。高了控制效率。
【技术实现步骤摘要】
一种抛光垫修整装置
[0001]本专利技术涉及抛光垫修整
，特别是涉及一种抛光垫修整装置。
技术介绍
[0002]抛光垫是化学机械抛光(CMP)系统中的主要耗材之一，抛光垫的结构和表面粗糙度对CMP过程中的硅片材料去除率和表面粗糙度有很大影响。但是抛光垫经过一段时间的抛光后，表面变得光滑，甚至形成釉面，恶化的抛光垫表面会降低抛光过程的材料去除率，同时增大片内非均匀性。因此需要使用金刚石修整器对抛光垫进行修整，使抛光垫达到所需要的粗糙度，恢复其使用性能。目前主流的修整头分为上下两部分，上部分主要是动力承接结构，下半部分是主要是气动伸缩和旋转结构，整体实现上下运动，压力控制和研磨功能。
[0003]目前现有的抛光垫修整装置中的修整头重量重，导致在长期使用后导致摆臂形变，进一步加剧修整盘磨损的不均匀性；此外，装置中用于驱动修整盘上下移动的驱动电机往往设置在悬臂上，处于远离修整头的位置，这就导致了驱动电机的传动效率过低，修整头的修整效率也随之降低的问题。
[0004]如公开号为CN207058329U的一种研磨垫整理器包括：研磨盘，研磨盘的一面接触所述研磨垫；基座，设置于所述研磨盘未接触所述研磨垫的一面上；压力发生装置，设置于所述基座的上方并与所述基座之间柔性连接；压力传感器，设置于所述压力发生装置与所述基座的接触面上；也就是说该技术方案中用于驱动轴杆转动的驱动装置设置在远离研磨垫整理器的位置，其必然存在着驱动电机的传动效率过低，修整头的修整效率的问题。
[0005]为了解决上述问题，本专利技术提供一种抛光垫修整装置，来解决以往的抛光垫修整装置自重过大，传动效率不高的问题。
技术实现思路
[0006]本专利技术的目的是提供一种抛光垫修整装置，达到在不提高抛光垫修整装置自重的前提下，提高中心键轴传动效率进而提高对抛光垫抛光修整效率的目的。
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：
[0008]一种抛光垫修整装置，包括中心键轴、设置在所述中心键轴一端的修整机构以及用于驱动所述中心键轴转动的驱动机构，所述驱动机构包括从上到下依次连接套设在所述中心键轴外壁上的法兰轴和支撑环以及套设在所述法兰轴外壁的直驱电机主体，所述法兰轴与所述中心键轴键连接，所述支撑环与所述法兰轴外壁之间从上到下依次设置有第一环状空腔和第二环状空腔，所述第一环状空腔和所述第二环状空腔通过隔离件隔开，所述中心键轴上开设有第一气路，所述第一气路的一端用于与压力控制机构连通，另外一端与所述第一环状空腔连通，所述第二环状空腔内设置有弹簧。
[0009]优选地，所述支撑环外侧套设有用于连接摆动壁的环状接头以及设置在所述环状接头下方的端盖，所述环状接头的上端与所述直驱电机主体连接，所述端盖靠近所述支撑
环且所述端盖与所述支撑环之间的间隔形成出气通道，所述支撑环与所述环状接头之间形成第二气路，所述第二气路的进气口与充气机构连通，出气口与所述出气通道连通。
[0010]优选地，所述出气通道垂直于所述修整机构。
[0011]优选地，所述进气口上设置有气管接头。
[0012]优选地，所述直驱电机主体上设置有用于检测中心键轴位置的传感器。
[0013]优选地，所述修整机构包括设置在所述中心键轴下端的柔性连接器以及与所述柔性连接器连接的修整盘。
[0014]优选地，所述隔离件包括设置在所述中心键轴的外壁且位于所述第二环状空腔内的环状凸起以及密封圈，所述环状凸起与所述支撑环不接触，所述支撑环的内壁上开设有用于卡接密封圈一端的凹槽，所述密封圈的另一端搭接在所述环状凸起上并通过压盖固定。
[0015]优选地，所述直驱电机主体为环形电机。
[0016]优选地，所述中心键轴上设置有旋转气管接头并用于与压力控制机构连接。
[0017]优选地，所述压力控制机构为气缸。
[0018]本专利技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
[0019]1.本专利技术中通过驱动机构与中心键轴连接，并通过驱动机构中的法兰轴和支撑环与中心键轴的外壁形成用于驱动修整机构的气路，达到使得整个修整装置结构紧凑，减轻了整个修整装置的重量，同时缩短了驱动机构对中心键轴的控制行程，提高了控制效率，达到在不提高抛光垫修整装置自重的前提下，提高中心键轴传动效率进而提高对抛光垫抛光修整效率的目的。
[0020]2.本专利技术中支撑环外侧套设有用于连接摆动壁的环状接头以及设置在环状接头下方的端盖，环状接头的上端与所述直驱电机主体连接，端盖靠近支撑环且端盖与所述支撑环之间的间隔形成出气通道，支撑环与所述环状接头之间形成第二气路，第二气路的进气口与充气机构连通，出气口与出气通道连通；第二进气口与充气机构连接，通过充气机构对第二气路进行充气，使得第二气路的出气口对修整盘以及工作台上工件的冲洗。
[0021]3.本专利技术中直驱电机主体上设置有用于检测法兰轴位置的传感器，通过设置传感器可以有效的监控中心键轴的位置，避免中心键轴位置下端的修整盘位置不准确，造成抛光效率过低的问题。
[0022]4.本专利技术中中心键轴的外壁且位于第一环状空腔内的区域上设置有环状凸起，环状凸起与支撑环不接触，支撑环的内壁上开设有用于卡接密封圈一端的凹槽，密封圈的另一端搭接在环状凸起上并通过压盖固定；保证密封圈安装的稳定性，同时压盖为可拆卸设置，方便密封圈的安装和拆卸。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本专利技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]附图1为本专利技术的剖面图；
[0025]其中，1、法兰轴；2、直驱电机主体；3、压盖；4、环状接头；5、端盖；6、密封圈；7、支撑环；8、弹簧；9、柔性连接器；10、修整盘；11、气管接头；12、传感器；13、中心键轴；14、第一环状空腔；15、第二环状空腔；16、第一气路；17、第二气路；18、环状凸起。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]本专利技术的目的是提供一种抛光垫修整装置，达到在不提高抛光垫修整装置自重的前提下，提高中心键轴传动效率进而提高对抛光垫抛光修整效率的目的。
[0028]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。
[0029]参考图1，一种抛光垫修整装置，包括中心键轴13、设置在所述中心键轴13一端的修整机构以及用于驱动所述中心键轴13转动的驱动机构，所述驱动机构包括从上到下依次连接套设在所述中心键轴13外本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种抛光垫修整装置，其特征在于，包括中心键轴、设置在所述中心键轴一端的修整机构以及用于驱动所述中心键轴转动的驱动机构，所述驱动机构包括从上到下依次连接套设在所述中心键轴外壁上的法兰轴和支撑环以及套设在所述法兰轴外壁的直驱电机主体，所述法兰轴与所述中心键轴键连接，所述支撑环与所述法兰轴外壁之间从上到下依次设置有第一环状空腔和第二环状空腔，所述第一环状空腔和所述第二环状空腔通过隔离件隔开，所述中心键轴上开设有第一气路，所述第一气路的一端用于与压力控制机构连通，另外一端与所述第一环状空腔连通，所述第二环状空腔内设置有弹簧。2.根据权利要求1所述的一种抛光垫修整装置，其特征在于，所述支撑环外侧套设有用于连接摆动壁的环状接头以及设置在所述环状接头下方的端盖，所述环状接头的上端与所述直驱电机主体连接，所述端盖靠近所述支撑环且所述端盖与所述支撑环之间的间隔形成出气通道，所述支撑环与所述环状接头之间形成第二气路，所述第二气路的进气口与充气机构连通，出气口与所述出气通道连通。3.根据权利要求2所述的一种抛光垫修整装置，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙中臣，
申请(专利权)人：天津锦通昌科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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