电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备制造方法及图纸

本申请提供一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备，包括：获取基准方向上的扫描图像；根据所述扫描图像，确定所述扫描图像中的干扰信号的基准信号模型；基于所述干扰信号的基准信号模型，确定目标补偿模型；基于所述目标补偿模型，对扫描方向上的干扰信号进行补偿。本申请的一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备解决了电子束扫描成像过程中由于振动或噪声等信号干扰导致图像质量下降的问题，提升了图像分辨率，降低了图像定位偏差。降低了图像定位偏差。降低了图像定位偏差。

【技术实现步骤摘要】
电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备


[0001]本申请涉及电子束扫描成像
，尤其涉及一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备。

技术介绍

[0002]电子束扫描成像设备(主要包括扫描电子显微镜、电子束缺陷检测设备、关键尺寸量测设备等)中的干扰信号(如振动或噪声)会影响图像质量，导致分辨率降低、图像毛刺、存在位置偏差等问题。
[0003]行业内主要采用的方法为通过隔振装置、屏蔽装置或者滤波装置降低干扰的影响。现有的补偿技术主要包括两大类。
[0004]第一类补偿技术，主要包括：通过隔振器将电子束扫描成像系统主体与周围环境进行隔离、屏蔽噪声信号或对噪声信号进行滤波等方式隔离或者抑制干扰，从而减弱干扰的影响。第二类补偿技术为图像补偿处理技术，其基本原理是从电子束图像中提取干扰特征信息，并针对图像的位置偏差进行对应修正。
[0005]第一类补偿技术对于干扰信号源位于设备内部、或干扰超出隔振装置、屏蔽装置或者滤波装置补偿能力的情况缺乏有效手段。第二类图像振动补偿技术的主要问题在于需要对图像进行后处理，同时需要消耗至少数百毫秒或数秒的图像处理时间，对于需要实时高速成像(如集成电路电子束检测量测设备)的情形并不适用；且需要设置额外的图像扫描区间，产生额外的数据处理需求，降低整体速率。

技术实现思路

[0006]本申请提供一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备，用以解决电子束扫描成像过程中由于干扰信号导致的图像质量下降的问题。
[0007]根据本申请的第一方面，提供一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法，包括：获取基准方向上的扫描图像；根据所述扫描图像，确定所述扫描图像中的干扰信号的基准信号模型；基于所述干扰信号的基准信号模型，确定目标补偿模型；基于所述目标补偿模型，对扫描方向上的干扰信号进行补偿。
[0008]在一些实施方式中，所述根据所述扫描图像，确定所述扫描图像中的干扰信号的基准信号模型，包括：对所述扫描图像进行数据分析，提取所述干扰信号的空间方向和基本参数；基于所述基本参数，确定所述干扰信号的基准信号模型。
[0009]在一些实施方式中，所述基于所述干扰信号的基准信号模型，确定目标补偿模型，包括：对所述基准信号模型进行处理，得到目标信号模型；基于所述目标信号模型，确定目标补偿模型。
[0010]在一些实施方式中，所述干扰信号为振动信号，所述对所述基准信号模型进行处理，得到目标信号模型干扰信号，包括：基于扫描方向与基准方向的关系，对所述基准信号模型进行处理，确定振动信号的目标信号模型；或者所述干扰信号为噪声信号，所述对所述
基准信号模型进行处理，得到目标信号模型，包括：对所述基准信号模型中的基本参数进行放大，得到噪声信号的目标信号模型。
[0011]在一些实施方式中，所述基准方向包括正交的第一方向和第二方向，所述获取基准方向上的扫描图像，包括：获取第一方向上的第一扫描图像；获取第二方向上的第二扫描图像。
[0012]在一些实施方式中，所述基于扫描方向与基准方向的关系，对所述基准信号模型进行处理，确定振动信号的目标信号模型，包括：判断所述扫描方向与所述基准方向是否一致；在所述扫描方向与所述基准方向一致的情况下，所述基准信号模型即为所述目标信号模型；在所述扫描方向与所述基准方向不一致的情况下，对所述基准信号模型进行修正，得到所述目标信号模型。
[0013]在一些实施方式中，所述在所述扫描方向与所述基准方向不一致的情况下，对所述基准信号模型进行修正，得到所述目标信号模型，包括：基于所述扫描方向与所述基准方向之间的夹角对所述基准振动模型进行修正，得到所述目标振动模型。
[0014]在一些实施方式中，所述基于所述目标信号模型，确定目标补偿模型，包括：基于所述目标信号模型，确定初始补偿模型；基于实际干扰信号与扫描图像中的干扰信号的时间差，确定相位偏差；根据所述相位偏差，对初始补偿模型进行修正，得到目标补偿模型。
[0015]根据本申请的第二方面提供一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿装置，包括：获取模块，用于获取基准方向上的扫描图像；基准信号模型确定模块，用于根据所述扫描图像，确定所述扫描图像中的干扰信号的基准信号模型；目标补偿模型确定模块，用于基于所述干扰信号的基准信号模型，确定目标补偿模型；波形发生模块，用于基于所述目标补偿模型，对扫描方向上的干扰信号进行补偿。
[0016]根据本申请的第三方面提供一种电子设备，包括：处理器，存储器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的程序或指令，所述程序或指令被所述处理器执行时实现上述的一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法的步骤。
[0017]综上所述，本申请提供的电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备至少具有以下有益效果：
[0018]在本申请的电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法中，基于从基准方向上得到的扫描图像中提取出来的干扰信号的特征，得到干扰信号的基准信号模型，再通过对基准信号模型进行处理，得到目标补偿模型，然后基于目标补偿模型对沿扫描方向进行扫描成像过程中的干扰信号进行补偿，这种对干扰信号的补偿方式不受信号源位置的影响，且能够在电子束扫描成像过程中进行干扰信号的实时补偿处理，减少了干扰信号对扫描图像质量的影响，提升了扫描图像质量，节省了图像补偿处理的时间，提升了电子束扫描成像的效率。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域的技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本申请实施例提供的一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法的流程图；
[0021]图2为本申请实施例提供的一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法的一实施例的流程图；
[0022]图3为本申请实施例提供的一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法中的振动干扰采集样品的结构示意图；
[0023]图4为本申请实施例提供的一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法中的振动干扰采集样品从第一方向扫描完成的图像；
[0024]图5为本申请实施例提供的一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法中的振动干扰采集样品从第二方向扫描完成的图像；
[0025]图6为本申请实施例提供的一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法中的噪声干扰采集样品的结构示意图；
[0026]图7为本申请实施例提供的一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法中的噪声干扰采集样品扫描完成的图像；
[0027]图8为本申请实施例提供的一种基于电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法的实际振动方向与基准振动方向对比示意图；
[0028]图9为本申请实施例提供的一种基于电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法的信号补偿前图像示意本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法，其特征在于，包括：获取基准方向上的扫描图像；根据所述扫描图像，确定所述扫描图像中的干扰信号的基准信号模型；基于所述干扰信号的基准信号模型，确定目标补偿模型；基于所述目标补偿模型，对扫描方向上的干扰信号进行补偿。2.根据权利要求1所述的电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法，其特征在于，所述根据所述扫描图像，确定所述扫描图像中的干扰信号的基准信号模型，包括：对所述扫描图像进行数据分析，提取所述干扰信号的空间方向和基本参数；基于所述基本参数，确定所述干扰信号的基准信号模型。3.根据权利要求1所述的电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法，其特征在于，所述基于所述干扰信号的基准信号模型，确定目标补偿模型，包括：对所述基准信号模型进行处理，得到目标信号模型；基于所述目标信号模型，确定目标补偿模型。4.根据权利要求3所述的电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法，其特征在于，所述干扰信号为振动信号，所述对所述基准信号模型进行处理，得到目标信号模型干扰信号，包括：基于扫描方向与基准方向的关系，对所述基准信号模型进行处理，确定振动信号的目标信号模型；或者所述干扰信号为噪声信号，所述对所述基准信号模型进行处理，得到目标信号模型，包括：对所述基准信号模型中的基本参数进行放大，得到噪声信号的目标信号模型。5.根据权利要求4所述的电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法，其特征在于，所述基准方向包括正交的第一方向和第二方向，所述获取基准方向上的扫描图像，包括：获取第一方向上的第一扫描图像；获取第二方向上的第二扫描图像。6.根据权利要求5所述的电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法，其特征在于，所述基于扫描方向与基准方向的关...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙伟强，蒋俊海，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：