一种超声波拉拔丝装置及拉拔钨丝的方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种超声波拉拔丝装置及拉拔钨丝的方法，该装置包括模架；所述模架为中空管状结构；由进丝端至出丝端依次分为预激励区、拉拔区和出丝区；模架的预激励区和拉拔区的外壁设有超声传导杆；模架的拉拔区的内壁设有拉丝模；模架的拉拔区和出丝区之间，以及出丝区的外侧均设有缓震层。该装置应用于拉拔钨丝，可以有效增加超声波对钨丝的激励作用时间，从而改善现有超声波激励只能在较低速度下作用的缺点，同时降低钨丝拉拔过程中的断线率，缩短工艺流程。缩短工艺流程。缩短工艺流程。

【技术实现步骤摘要】
一种超声波拉拔丝装置及拉拔钨丝的方法


[0001]本专利技术涉及了一种拉拔丝装置及拉拔钨丝的方法，特别涉及了一种超声波拉拔钨丝工艺及配合超声波用拉丝模具装置，属于金属丝拉拔


技术介绍

[0002]作为单晶硅片和化物半导体晶片的主要切割工具，金刚石线锯的制造原材料主要包括母线、金刚石微粉颗粒和镍镀层等。目前金刚线制造采用的母线基本上是高碳钢丝。
[0003]但基于半导体晶片趋于薄片化和大尺寸化，高碳钢丝金刚石线的线径及强度已逼近物理极限，在35μm以下线径，钨丝是高碳钢丝的良好替代材料。如专利CN113275659、CN210256788U和CN109591210等都提出了基于钨丝制备金刚石线锯的方法。但钨的硬度为350HB，抗拉强度为110kg/mm2，是自然界最硬的金属材料之一，虽然我国钨产业已久居世界前列，但鉴于钨丝加工难度大，钨丝生产过程中断线率仍居高不下，同时，钨丝生产过程存在生产流程较长、能耗高，拉丝模昂贵等问题。
[0004]因此，减少钨丝生产过程断线率，缩短钨丝生产流程，减少拉丝模损耗对于超细钨丝金刚石线本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超声波拉拔丝装置，其特征在于：包括模架；所述模架为中空管状结构；所述模架由进丝端至出丝端依次分为预激励区、拉拔区和出丝区；所述模架的预激励区和拉拔区的外壁设有超声传导杆；所述模架的拉拔区的内壁设有拉丝模；所述模架的拉拔区和出丝区之间，以及出丝区的外侧均设有缓震层。2.根据权利要求1所述的一种超声波拉拔丝装置，其特征在于：所述模架的预激励区和拉拔区为整体结构，拉拔区和出丝区之间通过榫卯结构相连。3.根据权利要求1或2所述的一种超声波拉拔丝装置，其特征在于：所述模架的预激励区的长度为拉拔区长度的1～1.5倍。4.根据权利要求1所述的一种超声波拉拔丝装置，其特征在于：所述缓震层由多孔毡构成；所述多孔毡为聚酯纤维毡、聚丙烯纤维毡、氧化铝纤维毡、硅酸铝针刺毡或石棉毡中至少一种。5.根据权利要求1所述的一种超声波拉拔丝装置，其特征在于：所述拉丝模的压缩区角度为12～14度。6.一种超声波拉拔钨丝的方法，其特征在于：将钨杆进行旋锻开坯和熔融碱洗后，通过权利要求1～5任一项所述超声波拉拔丝装置进行拉拔丝。7.根据权利要求6所述的一种超声波拉拔钨丝的方法，其特征在于：所述拉拔丝过程中超声振动频率为13～40kH...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖寄乔，李姚平，
申请(专利权)人：湖南金博高新科技产业集团有限公司，
类型：发明
国别省市：