一种芯片热处理设备及热处理方法技术

本发明专利技术属于芯片技术领域，尤其公开了一种芯片热处理设备及热处理方法，该芯片热处理设备包括真空炉本体，所述真空炉本体的一侧设置有防护壳，所述防护壳的一侧内壁设置有主驱动装置，所述防护壳的另一侧内壁设置有从驱动装置，所述防护壳的顶部设置有驱动调节装置，所述真空炉本体的顶部靠近一侧边缘处设置有门板件，所述防护壳与门板件之间设置有驱动件，所述真空炉本体的内部底面开设有滑槽。本发明专利技术可以手动控制进给的同时向控制活动门的气缸供应压力，便于活动门打开。便于活动门打开。便于活动门打开。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片热处理设备及热处理方法


[0001]本专利技术涉及真空炉
，尤其涉及一种芯片热处理设备及热处理方法。

技术介绍

[0002]真空炉，即在炉腔这一特定空间内利用真空系统(由真空泵、真空测量装置、真空阀门等元件经过精心组装而成)将炉腔内部分物质排出，使炉腔内压强小于一个标准大气压，炉腔内空间从而实现真空状态，这就是真空炉，目前真空炉在工作时，由于内部分为预热腔、恒温腔、还原腔和冷却腔，每两个腔体之间通过活动门进行封闭和开关控制，在对芯片输送时不方便控制芯片的进给量，以及活动门的通断，导致在真空炉内部输送时边缘处很容易产生干涉，和真空度泄漏。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种芯片热处理设备，可以手动控制进给的同时向控制活动门的气缸供应压力，便于活动门打开。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种芯片热处理设备，包括真空炉本体，所述真空炉本体的一侧设置有防护壳，所述防护壳的一侧内壁设置有主驱动装置，所述防护壳的另一侧内壁设置有从驱动装置，所述防护壳的顶部设置有驱动调节装置，所述真空炉本体的顶部靠近一侧边缘处设置有门板件，所述防护壳与门板件之间设置有驱动件；
[0005]所述真空炉本体的内部底面开设有滑槽，所述滑槽的两侧内壁之间转动连接有螺杆，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块螺纹连接在螺杆的外表面上，所述真空炉本体的顶部等距设置有多个气缸，所述真空炉本体的内部设置有多个活动门，多个所述气缸的底部均对应固定在活动门的顶部。
[0006]优选的，所述主驱动装置包括主动轴，所述主动轴的外表面滑动连接有主动摩擦盘，所述主动轴的外表面开设有多个导向槽，所述主动摩擦盘的内壁卡合在导向槽的内部。
[0007]优选的，所述主动摩擦盘的一侧固定有多个卡柱，所述主动摩擦盘的另一侧转动连接有第二弹簧，所述第二弹簧的一端固定在防护壳的一侧内壁上。
[0008]优选的，所述从驱动装置包括从动轴，所述从动轴的一端固定有从动盘，所述从动盘的一侧延圆周方向等距开设有多个腰型槽，多个所述卡柱均对应卡合在腰型槽的内部，所述从动轴的另一端与螺杆相互连接。
[0009]优选的，所述驱动调节装置包括调节轴，所述调节轴的一端延伸至防护壳的外侧，所述调节轴底部靠近两侧边缘处均开设有凹口，所述防护壳的两侧内壁均固定有扭矩转轴，两个所述扭矩转轴的外表面均固定有摆杆，所述调节轴的另一端固定有调节旋钮。
[0010]优选的，两个所述摆杆的一端均转动连接有滚轮，两个所述滚轮的外表面均对应与主动摩擦盘的一侧相贴合，两个所述摆杆的底部均对应延伸至凹口的一侧，且摆杆的外表面与调节轴的外表面相互贴合。
[0011]优选的，所述防护壳的一侧固定有螺纹套，所述螺纹套的内部螺纹连接有螺纹柱，所述螺纹柱的一端固定有伸缩杆，所述伸缩杆的一端固定在调节轴的一端，所述螺纹柱的内部开设有内腔，所述内腔的内壁延圆周方向开设有多个贯穿至螺纹柱外侧的侧口，所述螺纹套的两侧均连通有侧管。
[0012]优选的，所述门板件包括顶板，所述顶板滑动连接在真空炉本体的顶部，所述真空炉本体的顶部和顶板的顶部均固定有固定板，两个相对的所述固定板之间设置有导向杆，两个相对的所述固定板之间设置有第一弹簧，所述顶板的一侧固定有摩擦条。
[0013]优选的，所述驱动件包括连杆，所述连杆转动连接在防护壳的顶部，所述连杆的底部延伸至防护壳的内部，所述连杆的顶部和底部均固定有摩擦套，位于底部的所述摩擦套与主动摩擦盘的一侧外表面相互贴合，位于顶部的所述摩擦套与摩擦条相互贴合。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0015]1、在使用本装置时，将防护壳上的主驱动装置与外部动力传递设备连接，可以为整个装置提供动力，然后将从驱动装置与螺杆连接，可以带动滑块在真空炉本体内部滑动，便于将芯片在预热腔、恒温腔、还原腔和冷却腔之间移动，同时在防护壳上设置驱动件，用于控制门板件的开合，在防护壳的内部通过驱动调节装置控制主驱动装置与从驱动装置和驱动件之间的动力传递，同时在使用驱动调节装置时，可以控制侧管的通断，从而控制气缸的伸缩，便于驱动活动门的开合；
[0016]2、在使用驱动调节装置将主驱动装置与从驱动装置对接时，首先向一侧转动调节旋钮，使摆杆的底部滑移至调节轴上的凹口内部，同时在扭矩转轴的扭矩作用下带动摆杆回摆，配合第二弹簧的弹性力将主动摩擦盘向从动盘一侧推动，在卡柱卡合在腰型槽内部时，即可将主动摩擦盘的动力传递至从动盘上，从而驱动螺杆转动，带动滑块滑移；
[0017]3、在转动调节轴的同时螺纹柱在螺纹套的内部螺纹滑动，当侧口部位滑移至侧管部位时，即可将两侧的侧管导通，向另一侧转动调节旋钮时，可以带动主动摩擦盘向远离从动盘一侧运动，使主动摩擦盘与摩擦套接触，从而带动连杆转动，连杆在转动时顶部的摩擦套与摩擦条相互接触，可以驱动摩擦条伸缩，带动顶板在真空炉本体的顶部滑动，在复位时通过第一弹簧的弹性力进行复位，同时在滑动过程中通过导向杆进行导向，使得滑动更加平稳。
附图说明
[0018]图1为本专利技术一种芯片热处理设备的主视立体图；
[0019]图2为本专利技术一种芯片热处理设备的剖视立体图；
[0020]图3为本专利技术一种芯片热处理设备中防护壳的主视立体图；
[0021]图4为本专利技术一种芯片热处理设备中防护壳的剖视立体图；
[0022]图5为本专利技术一种芯片热处理设备中防护壳的内部结构立体图；
[0023]图6为本专利技术一种芯片热处理设备中防护壳的内部结构剖视立体图；
[0024]图7为本专利技术图4中A处的放大视图。
[0025]图中：1、真空炉本体；2、防护壳；3、螺纹套；4、主动轴；5、侧管；6、顶板；7、固定板；8、导向杆；9、第一弹簧；10、摩擦条；11、连杆；12、摩擦套；13、气缸；14、滑块；15、螺杆；16、活动门；17、滑槽；18、调节旋钮；19、调节轴；20、伸缩杆；21、螺纹柱；22、内腔；23、侧口；24、从
动轴；25、主动摩擦盘；26、从动盘；27、第二弹簧；28、卡柱；29、腰型槽；30、导向槽；31、扭矩转轴；32、摆杆；33、滚轮；34、凹口。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施条例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]请参阅图1
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7，本专利技术提供一种技术方案：一种芯片热处理设备，包括真空炉本体1，真空炉本体1的一侧设置有防护壳2，防护壳2的一侧内壁设置有主驱动装置，防护壳2的另一侧内壁设置有从驱动装置，防护壳2的顶部设置有驱动调节装置，真空炉本体1的顶部靠近一侧边缘处设置有门板件，防护壳2与门板件之间设置有驱动件；
[002本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片热处理设备，其特征在于，包括真空炉本体(1)，所述真空炉本体(1)的一侧设置有防护壳(2)，所述防护壳(2)的一侧内壁设置有主驱动装置，所述防护壳(2)的另一侧内壁设置有从驱动装置，所述防护壳(2)的顶部设置有驱动调节装置，所述真空炉本体(1)的顶部靠近一侧边缘处设置有门板件，所述防护壳(2)与门板件之间设置有驱动件；所述真空炉本体(1)的内部底面开设有滑槽(17)，所述滑槽(17)的两侧内壁之间转动连接有螺杆(15)，所述滑槽(17)的内部滑动连接有滑块(14)，所述滑块(14)螺纹连接在螺杆(15)的外表面上，所述真空炉本体(1)的顶部等距设置有多个气缸(13)，所述真空炉本体(1)的内部设置有多个活动门(16)，多个所述气缸(13)的底部均对应固定在活动门(16)的顶部。2.根据权利要求1所述的一种芯片热处理设备，其特征在于：所述主驱动装置包括主动轴(4)，所述主动轴(4)的外表面滑动连接有主动摩擦盘(25)，所述主动轴(4)的外表面开设有多个导向槽(30)，所述主动摩擦盘(25)的内壁卡合在导向槽(30)的内部。3.根据权利要求2所述的一种芯片热处理设备，其特征在于：所述主动摩擦盘(25)的一侧固定有多个卡柱(28)，所述主动摩擦盘(25)的另一侧转动连接有第二弹簧(27)，所述第二弹簧(27)的一端固定在防护壳(2)的一侧内壁上。4.根据权利要求3所述的一种芯片热处理设备，其特征在于：所述从驱动装置包括从动轴(24)，所述从动轴(24)的一端固定有从动盘(26)，所述从动盘(26)的一侧延圆周方向等距开设有多个腰型槽(29)，多个所述卡柱(28)均对应卡合在腰型槽(29)的内部，所述从动轴(24)的另一端与螺杆(15)相互连接。5.根据权利要求4所述的一种芯片热处理设备，其特征在于：所述驱动调节装置包括调节轴(19)，所述调节轴(19)的一端延伸至防护壳(2)的外侧，所述调节轴(19)底部靠近两侧边缘处均开设有凹口(34)，所述防护壳(2)的两侧内壁均固定有扭矩转轴(31)，两个所述扭矩转轴(31)的外表面均固定有摆杆(32)，所述调节轴(19)的另一端固定有调节旋钮(18)。6.根据权利要求5所述的一种芯片热处理设备，其特征在于：两个所述摆杆(32)的一端均转动连接有滚轮(33)，两个所述滚轮(33)的外表面均对应与主动摩擦盘(25)的一侧相贴合，两个所述摆杆(32)的底部均对应延伸至凹口(34)的一侧，且摆杆(32)的外表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊春花，詹天翔，赵小华，
申请(专利权)人：云南亦算科技有限公司，
类型：发明
国别省市：