本实用新型专利技术公开了一种抛光液温度控制装置，包括储存盒，所述储存盒的两侧分别设置有进液管和出液管，且出液管的表面设置有控制阀门，所述储存盒的上表面设置有设备盒，所述设备盒的内底壁设置有马达，且马达的输出端固定连接有传动杆，所述传动杆的侧面固定连接有搅拌叶，所述传动杆的侧面活动连接有直角杆，所述储存盒的下表面固定连接有底盒，所述底盒的下表面四角均设置支撑块。本实用新型专利技术通过所设的搅拌机构和加热机构，便于在特殊低温的情况下对抛光液进行加温，同时搅拌，使温度均匀传递，防止抛光液在低温的情况出现性能问题，影响抛光液的正常使用，因此，通过该温度控制装置具有对抛光液进行温度控制的效果。置具有对抛光液进行温度控制的效果。置具有对抛光液进行温度控制的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种抛光液温度控制装置
[0001]本技术涉及抛光液
，具体为一种抛光液温度控制装置。
技术介绍
[0002]抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂，抛光液具有良好的去油污，防锈，清洗和增光性能，并能使金属制品显露出真实的金属光泽。性能稳定、无毒，对环境无污染等优点。而半导体制备过程中，在硅片抛光工序中，抛光液的温度与硅片的金属含量、切削量以及形貌等直接相关，因此抛光液的温度能够影响硅片品质。
[0003]为了使抛光液在使用过程中达到更好的抛光效果，因此需要对其进行温度控制，现有的温度控制是在储液罐体中对抛光液进行预热保温，而在管道传输过程中，抛光液的温度会逐渐降低，进而在使用时，抛光液的温度达不到所需的温度，因此降低了物体产品抛光的效果，为了使抛光液的温度在使用过程中达到合适的要求，我们在临近管道出液端设置了一个温度控制装置，减少抛光液的温度流失，使抛光液能够正常使用，因此，我们设计了一种抛光液温度控制装置。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种抛光液温度控制装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种抛光液温度控制装置，包括储存盒，所述储存盒的两侧分别设置有进液管和出液管，且出液管的表面设置有控制阀门，所述储存盒的上表面设置有设备盒，所述设备盒的内底壁设置有马达，且马达的输出端固定连接有传动杆，所述传动杆的侧面固定连接有搅拌叶，所述传动杆的侧面活动连接有直角杆，所述储存盒的下表面固定连接有底盒，所述底盒的下表面四角均设置支撑块，所述储存盒的内底壁嵌设有加热板，且加热板的上表面分别设置有加热环和温度传感器，所述温度传感器的下表面连接有线管。
[0006]在上述技术方案的基础上，本技术还可以做如下改进。
[0007]优选地，所述设备盒的下表面和储存盒的上表面均开设有与传动杆转动的孔，且储存盒的上表面通过密封轴承与传动杆连接，通过设置密封轴承，便于底部液体上涌，同时又不影响传动杆的正常转动。
[0008]优选地，所述设备盒的上表面设置有控制面板，所述设备盒的内部设置有控制器和蓄电池，且控制面板分别与控制器和马达电连接，通过设置马达，便于使马达通过传动杆带动搅拌叶转动，搅拌叶的转动能够使储存盒中的液体温度达到同一水平，便于后续使用。
[0009]优选地，所述直角杆的数量为两个，且两个直角杆呈对称设置在传动杆的两侧，所述直角杆的一端与储存盒的内顶壁固定连接，且传动杆的侧面开设有与直角杆另一端转动的圆环槽，通过设置直角杆，便于对传动杆进行限位，同时通过直角杆对传动杆进行支撑。
[0010]优选地，所述储存盒的内底壁设置有两个加热板，且两个加热板的上表面与储存
盒的上表面在同一平面。
[0011]优选地，所述线管的一端延伸至底盒的内部并贯穿底盒与设备盒内部的控制器连接，且线管的一端分别与加热板中的加热环和温度传感器连接，通过设置线管，便于通过线管连接各个元器件，同时，通过控制面板控制储存盒内部液体的温度，并对液体的温度进行监测。
[0012]优选地，所述储存盒内底壁和加热板的表面均设置有温度传感器，且储存盒内底壁和加热板的表面横向等距离均开设有与温度传感器相适配的槽，通过设置等距离的温度传感器，便于增加对储存盒内部温度监测的准确性，防止温区有所不同影响后续抛光液的正常使用。
[0013]有益效果
[0014]与现有技术相比，本申请的技术方案具有以下有益技术效果：
[0015]本技术通过所设的搅拌机构和加热机构，便于在特殊低温的情况下对抛光液进行加温，同时搅拌，使温度均匀传递，防止抛光液在低温的情况出现性能问题，影响抛光液的正常使用，因此，通过该温度控制装置具有对抛光液进行温度控制的效果。
附图说明
[0016]图1为本技术正剖结构示意图；
[0017]图2为本技术俯剖结构示意图。
[0018]图中：1、储存盒；2、进液管；3、出液管；4、控制阀门；5、设备盒；6、马达；7、传动杆；8、搅拌叶；9、直角杆；10、底盒；11、支撑块；12、加热板；13、加热环；14、温度传感器；15、线管。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
‑
2，本技术提供一种技术方案：一种抛光液温度控制装置，包括储存盒1，所述储存盒1的两侧分别设置有进液管2和出液管3，且出液管3的表面设置有控制阀门4，所述储存盒1的上表面设置有设备盒5，所述设备盒5的上表面设置有控制面板。
[0021]进一步的，储存盒1的一侧设置有透明板，通过透明板能够显示或观察盒体内部液体的液位及情况，便于后续调整进出液的流速及使用情况。
[0022]所述设备盒5的内底壁设置有马达6，所述设备盒5的内部设置有控制器和蓄电池，且控制面板分别与控制器和马达6电连接，且马达6的输出端固定连接有传动杆7，所述设备盒5的下表面和储存盒1的上表面均开设有与传动杆7转动的孔，且储存盒1的上表面通过密封轴承与传动杆7连接，所述传动杆7的侧面固定连接有搅拌叶8。
[0023]进一步的，通过马达6、传动杆7和搅拌叶8组成的动力搅拌机构，便于对抛光液进行搅拌，使液体温度均匀，防止局部温度过高影响液体使用的性能。
[0024]进一步的，通过设置动力搅拌机构对储存盒1的内部进行搅拌，便于使储存盒1内
部液体的温度达到平衡，便于后续对储存盒1中抛光液温度进行控制。
[0025]所述传动杆7的侧面活动连接有直角杆9，所述直角杆9的数量为两个，且两个直角杆9呈对称设置在传动杆7的两侧，所述直角杆9的一端与储存盒1的内顶壁固定连接，且传动杆7的侧面开设有与直角杆9另一端转动的圆环槽。
[0026]本实施例中，通过在储存抛光液的储存盒1中增加动力搅拌，便于使液体温度平衡，同时加快温度传导，增加温度控制的效果。
[0027]所述储存盒1的下表面固定连接有底盒10，所述底盒10的下表面四角均设置支撑块11，所述储存盒1的内底壁嵌设有加热板12，所述储存盒1的内底壁设置有两个加热板12，且两个加热板12的上表面与储存盒1的上表面在同一平面，且加热板12的上表面分别设置有加热环13和温度传感器14，所述储存盒1内底壁和加热板12的表面均设置有温度传感器14，且储存盒1内底壁和加热板12的表面横向等距离均开设有与温度传感器14相适配的槽。
[0028]进一步的，通过加热板12、加热环13和温度传感器14组成的加热机构，便于在特殊的环境下对抛光液进行短暂的加温，防止温度过低影响抛光液的正常使用。<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种抛光液温度控制装置，其特征在于：包括储存盒(1)，所述储存盒(1)的两侧分别设置有进液管(2)和出液管(3)，且出液管(3)的表面设置有控制阀门(4)，所述储存盒(1)的上表面设置有设备盒(5)，所述设备盒(5)的内底壁设置有马达(6)，且马达(6)的输出端固定连接有传动杆(7)，所述传动杆(7)的侧面固定连接有搅拌叶(8)，所述传动杆(7)的侧面活动连接有直角杆(9)，所述储存盒(1)的下表面固定连接有底盒(10)，所述底盒(10)的下表面四角均设置支撑块(11)，所述储存盒(1)的内底壁嵌设有加热板(12)，且加热板(12)的上表面分别设置有加热环(13)和温度传感器(14)，所述温度传感器(14)的下表面连接有线管(15)。2.根据权利要求1所述的一种抛光液温度控制装置，其特征在于：所述设备盒(5)的下表面和储存盒(1)的上表面均开设有与传动杆(7)转动的孔，且储存盒(1)的上表面通过密封轴承与传动杆(7)连接。3.根据权利要求1所述的一种抛光液温度控制装置，其特征在于：所述设备盒(5)的上表面设置有控制面板，所述设备盒(5)的内部设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄维，刘子龙，肖桂林，
申请(专利权)人：武汉鼎泽新材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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