光扫描装置制造方法及图纸

光扫描装置(10)具备固定于基板(15)的立起板部(13b)，立起板部(13b)在VCSEL(17)和MEMS光偏转器(20)上方的位置上具有倾斜槽(30)和贯通孔(31)。板状反射镜(23)和旋转型反射镜(25)的在Y轴方向的一端部分别受倾斜槽(30)和贯通孔(31)支承。贯通孔具有以Y轴方向的轴线为中心线的旋转体的形状。的轴线为中心线的旋转体的形状。的轴线为中心线的旋转体的形状。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光扫描装置


[0001]本专利技术涉及在一个基板上配备有激光光源和MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)光偏转器的光扫描装置。

技术介绍

[0002]在光扫描装置中，为了实现小型化，优选将激光光源和MEMS光偏转器安装在同一基板上。但是，来自激光光源的光的射出方向以及MEMS光偏转器的转动反射镜均相对于基板以垂直方向朝上，因而难以让来自激光元件的光入射到MEMS光偏转器的转动反射镜。
[0003]因此，在现有的光扫描装置中，激光光源和MEMS光偏转器安装在以对置方式配置的不同的基板上，或者利用光纤将激光光源的射出光引导向MEMS光偏转器(例：专利文献1)。
[0004]另一方面，专利文献2中公开了在相机的取景器上显示文字信息的光扫描装置。在该光扫描装置中，将VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)和微镜配置在同一基板上，并且在VCSEL和微镜的正上方分别设置使行进方向的朝向偏转90
°
的反射镜，使从VCSEL相对于基板以垂直方向朝上射出的光在反射镜反射而入射到同一基板上的微镜。需要说明的是，微镜正上方的反射镜是半反镜(half
‑
mirror)，来自微镜的射出光不会被半反镜反射而直行，并向外部射出。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2009
‑
244869号公报
[0008]专利文献2：日本特开2010
‑
175677号公报
[0009]MEMS光偏转器的转动反射镜的直径较小。因此，在比如专利文献2的光扫描装置中，为了使从激光光源射出的光准确地入射到MEMS光偏转器的转动反射镜，需要在制造时准确地调整配设在基板上的反射镜的朝向。然而，在专利文献2中并没有提及这样的结构。

技术实现思路

[0010]专利技术要解决的课题
[0011]本专利技术的目的在于提供一种通过具备下述结构来实现的小型的光扫描装置，该结构为：在同一基板上安装激光光源和MEMS偏转器，能够利用设置在比基板靠上方的位置上的反射镜进行调整而将来自激光光源的射出光准确地入射到MEMS偏转器的反射镜。
[0012]用于解决课题的手段
[0013]本专利技术的光扫描装置具备：
[0014]基板；
[0015]面发光激光元件，其使射出方向相对于所述基板朝上地安装于所述基板上；
[0016]MEMS光偏转器，其使转动反射镜以相对于所述基板朝上的方式安装于所述基板上；
[0017]板状支承构件，其固定于所述基板；
[0018]第一反射镜，其沿相对于第一轴方向垂直且相对于所述基板平行的第二轴方向延伸，并以将来自所述面发光激光元件的射出光向所述第一轴方向反射的方式支承于所述板状支承构件的第一支承部，其中，所述第一轴方向是作为所述基板上的所述面发光激光元件与所述MEMS光偏转器的排列方向；以及，
[0019]第二反射镜，其沿所述第二轴方向延伸，以将来自所述第一反射镜的光朝向所述MEMS光偏转器的所述转动反射镜反射的方式支承于所述板状支承构件的第二支承部，
[0020]所述第一支承部和所述第二支承部中的至少一方的支承部包括转动机构和固定部件，其中，所述转动机构将该一方的支承部所支承的所述第一反射镜和所述第二反射镜的一方的反射镜支承为可旋转；所述固定构件固定所述转动机构中的所述一方的反射镜的转动位置。
[0021]专利技术的效果
[0022]根据本专利技术，能够提供以下一种小型的的光扫描装置：根据设置于基板上方的第一反射镜及第二反射镜中一方的反射镜，能够通过利用该反射镜调整来自设置于基板的面发光激光元件的射出光的射出方向，从而准确地使射出光照射至MEMS光偏转器的转动反射镜。
附图说明
[0023]图1A是光扫描装置的平面图。
[0024]图1B是图1A的1B向视图。
[0025]图1C是图1A的1C向视图。
[0026]图1D是图1A的1D向视图。
[0027]图2是支承框体的侧视图。
[0028]图3A是使用用于角度调整的夹具对板状反射镜进行位置调整时的侧视图。
[0029]图3B是以在图3A中透视夹具的方式进行示出的图。
[0030]图3C是示出在图3A中从上方观察光扫描装置时的状态的图。
[0031]图3D是以在图3C中透视夹具的方式进行示出的图。
[0032]图4A是使用夹具进行旋转型反射镜的位置调整时的侧视图。
[0033]图4B是以在图4A中透视夹具的方式进行示出的图。
[0034]图5是表示在透明部的内表面侧安装了修正棱镜的结构的图。
[0035]图6是示出了作为光扫描装置的应用例的眼镜型影像显示装置的图。
[0036]图7A是另一光扫描装置的侧视图。
[0037]图7B是图7A的光扫描装置的立体图。
具体实施方式
[0038]参照附图，详细说明本专利技术的优选的多个实施方式。本专利技术当然不限于以下的实施方式。本专利技术除了以下的实施方式以外，在本专利技术的技术思想的范围内包含各种构成形态。
[0039](构成)
[0040]图1A是光扫描装置10的平面图，图1B是图1A的1B向视图，图1C是图1A的1C向视图，图1D是图1A的1D向视图。需要说明的是，在图1A
‑
图1D中，在卸下罩33(图1B的单点划线)的状态下示出光扫描装置10。
[0041]光扫描装置10具备支承框体12。支承框体12具有L字型的横截面轮廓，具有垂直结合的底板部13a和立起板部13b。基板15为矩形，载置于底板部13a的上表面，并固定在底板部13a上。
[0042]为了便于说明，定义3轴的正交坐标系。X轴以及Y轴分别定义成是与基板15的长边方向(与长边平行的方向)以及短边方向(与短边平行的方向)分别平行的方向的轴。Z轴定义成是从基板15立起的与立起板部13b的立起方向平行的轴。
[0043]在光扫描装置10中，扫描光从图1B的左侧、即在光扫描装置10的X轴方向上的负侧一端射出，因此，适当地将X轴上的负侧及正侧分别称为光扫描装置10的前方及后方。另外，在基板15上，Z轴方向的正侧及负侧分别成为上表面及下表面，因此，适当地将Z轴方向的正侧及负侧分别定义成光扫描装置10的上方及下方。
[0044]VCSEL17以及MEMS光偏转器20以X轴方向为排列方向而安装于基板15的上表面。在VCSEL17的上表面具有射出部18，从射出部18朝向与Z轴方向平行向上的方向射出激光。MEMS光偏转器20使转动反射镜21的反射镜面朝向Z轴方向的上方。
[0045]需要说明的是，MEMS光偏转器20在本实施方式中是二维扫描型的MEMS光偏转器，但也可以是一维扫描型的MEMS光偏转器。作为MEMS光偏转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光扫描装置，其特征在于，具备：基板；面发光激光元件，其使射出方向相对于所述基板朝上地安装于所述基板上；MEMS光偏转器，其使转动反射镜以相对于所述基板朝上的方式安装于所述基板上；板状支承构件，其固定于所述基板；第一反射镜，其沿相对于第一轴方向垂直且相对于所述基板平行的第二轴方向延伸，并以将来自所述面发光激光元件的射出光向所述第一轴方向反射的方式支承于所述板状支承构件的第一支承部，其中，所述第一轴方向是作为所述基板上的所述面发光激光元件与所述MEMS光偏转器的排列方向；以及，第二反射镜，其沿所述第二轴方向延伸，以将来自所述第一反射镜的光朝向所述MEMS光偏转器的所述转动反射镜反射的方式支承于所述板状支承构件的第二支承部，所述第一支承部和所述第二支承部中的至少一方的支承部包括转动机构和固定部件，其中，所述转动机构将该一方的支承部所支承的所述第一反射镜和所述第二反射镜的一方的反射镜支承为可旋转；所述固定构件固定所述转动机构中的所述一方的反射镜的转动位置。2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：樱井诚，高尾义史，中泽克纪，松丸直也，山本笃，N，
申请(专利权)人：斯坦雷电气株式会社，
类型：发明
国别省市：