透明导电性薄膜的制造方法技术

透明导电性薄膜(3)的制造方法具备：第1工序，准备长条的基材(1)；第2工序，在真空气氛下在基材(1)的厚度方向一个面形成透明导电层(3)；和第3工序，在真空气氛下对透明导电层(2)进行加热。在第2工序中不卷取前述基材，而连续实施第3工序。实施第3工序。实施第3工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】透明导电性薄膜的制造方法


[0001]本专利技术涉及透明导电性薄膜的制造方法。

技术介绍

[0002]以往，已知通过卷对卷方式，在基材薄膜上层叠透明导电层来制造导电性薄膜的方法。
[0003]作为这样的方法，例如提出了以下方法：通过卷对卷方式，边输送长条的透明薄膜基材，边在真空气氛下并且在氩气的存在下，通过溅射形成非晶质的透明导电层，将透明薄膜基材卷取，其后，通过另一工序在真空气氛下对形成有非晶质的透明导电层的透明薄膜基材进行加热，从而使透明导电层结晶化，制造透明导电性薄膜(例如，参照专利文献1。)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2016
‑
056423号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的问题
[0008]但是，对透明导电性薄膜的制造方法要求进一步更高的生产率。
[0009]本专利技术提供生产率优异的能够形成透明导电层的透明导电性薄膜的制造方法。
[0010]用于解决问题的方案
[0011]本专利技术[1]为一种透明导电性薄膜的制造方法，其具备：第1工序，准备长条的基材；第2工序，在真空气氛下在前述基材的厚度方向一个面形成透明导电层；和第3工序，在真空气氛下对前述透明导电层进行加热，在前述第2工序中不卷取前述基材，而连续实施前述第3工序。
[0012]本专利技术[2]包含上述[1]所述的透明导电性薄膜的制造方法，其中，前述第1工序、前述第2工序及前述第3工序通过卷对卷方式来实施。
[0013]本专利技术[3]包含上述[1]所述的透明导电性薄膜的制造方法，其中，前述第2工序在包含氪气的稀有气体的存在下实施。
[0014]专利技术的效果
[0015]本专利技术的透明导电性薄膜的制造方法中，在第2工序中，在真空气氛下性形成透明导电层，并且在第3工序中，在真空气氛下对透明导电层进行加热，使透明导电层结晶化。另外，在第2工序中不卷取长条的基材而连续实施第3工序。由此，能够以进一步更高的生产率形成透明导电层。另外，通过在第2工序中不卷取长条的基材而连续实施第3工序，从而能够抑制第3工序中的透明导电层的裂纹。
附图说明
[0016]图1示出本专利技术的透明导电性薄膜的制造方法的一实施方式中使用的薄膜制造装
置的一实施方式的概略图。
具体实施方式
[0017]本专利技术的透明导电性薄膜的制造方法的一实施方式中，边在长度方向输送长条的基材1，边在长条的基材1的厚度方向一个面形成透明导电层2。
[0018]以下，参照图1对该方法中使用的薄膜制造装置的一实施方式进行说明。
[0019]<薄膜制造装置>
[0020]图1中，纸面左右方向为输送方向。纸面右侧为输送方向下游侧。纸面左侧为输送方向上游侧。需要说明的是，输送方向为相邻的单元间的输送方向，不是各单元内的输送方向。纸厚方向为宽度方向。纸面近观察者侧为宽度方向一侧。纸面远离观察者侧为宽度方向另一侧。纸面上下方向为上下方向。纸面上侧为上侧。纸面下侧为下侧。
[0021]薄膜制造装置10为用于制造长条的透明导电性薄膜3的装置。薄膜制造装置10如图1所示，具备：送出单元5、第1溅射单元6、第2溅射单元7、退火单元8、和卷取单元9。
[0022][送出单元][0023]送出单元5具备送出辊11、第1导辊12和送出腔室13。
[0024]送出辊11为用于将长条的基材1送出的具有旋转轴的圆柱构件。送出辊11配置在薄膜制造装置10的输送方向最上游。在送出辊11上连接有用于使送出辊11旋转的发动机(未图示)。
[0025]第1导辊12为将从送出辊11送出的长条的基材1导引至第1溅射单元6的旋转构件。第1导辊12配置在送出辊11的输送方向下游侧且第2导辊14(后述)的输送方向上游侧。
[0026]送出腔室13为收纳送出辊11及第1导辊12的外壳。在送出腔室13设置有可使内部为真空的真空单元。
[0027][第1溅射单元][0028]第1溅射单元6通过溅射法在从送出单元5输送的长条的基材1上层叠(形成)透明导电层2。第1溅射单元6以与送出单元5和第2溅射单元7邻接的方式配置于送出单元5的输送方向下游侧且第2溅射单元7的输送方向上游侧。第1溅射单元6具备：第2导辊14、第3导辊15、第1成膜辊16、第1靶17、第4导辊18和第1腔室19。
[0029]第2导辊14为将从送出单元5(第1导辊12)输送的长条的基材1导引至第3导辊15的旋转构件。第2导辊14配置在第1导辊12的输送方向下游侧且第3导辊15的输送方向上游侧。
[0030]第3导辊15为将从第2导辊14输送的长条的基材1导引至第1成膜辊16的旋转构件。第3导辊15配置在第2导辊14的输送方向下游侧且第1成膜辊16的输送方向上游侧。
[0031]第1成膜辊16为用于在长条的基材1的上层叠(形成)透明导电层2的具有旋转轴的圆柱构件。第1成膜辊16将长条的基材1沿着第1成膜辊16的周面输送。第1成膜辊16配置在第3导辊15的输送方向下游侧且第4导辊18的输送方向上游侧。
[0032]第1靶17由包含构成透明导电层2的原子的材料形成，优选由透明导电层2的材料形成。第1靶17配置在第1成膜辊16的附近。具体而言，第1靶17与第1成膜辊16隔开间隔地对向配置于第1成膜辊16的下侧。
[0033]第4导辊18为将从第1成膜辊16输送的长条的基材1(层叠(形成)有透明导电层2的长条的基材1)导引至第2溅射单元7的旋转构件。第4导辊18配置在第1成膜辊16的输送方向
下游侧且第5导辊20(后述)的输送方向上游侧。
[0034]第1腔室19为收纳第2导辊14、第3导辊15、第1成膜辊16、第1靶17、及第4导辊18的外壳。在第1腔室19设置有可使内部为真空的真空单元。
[0035][第2溅射单元][0036]第2溅射单元7通过溅射法在从第1溅射单元6输送的长条的基材1(层叠(形成)有透明导电层2的长条的基材1)上层叠(形成)透明导电层2。第2溅射单元7以与第1溅射单元6和退火单元8邻接的方式配置于第1溅射单元6的输送方向下游侧且退火单元8的输送方向上游侧。第2溅射单元7具备：第5导辊20、第6导辊21、第2成膜辊22、第2靶50、第7导辊23和第2腔室24。
[0037]第5导辊20为将从第1溅射单元6(第4导辊18)输送的长条的基材1(层叠(形成)有透明导电层2的长条的基材1)导引至第6导辊21的旋转构件。第5导辊20配置在第4导辊18的输送方向下游侧且第6导辊21的输送方向上游侧。
[0038]第6导辊21为将从第5导辊20输送的长条的基材1导引至第2成膜辊22的旋转构件。第6导辊21配置在第5导辊20的输送方向下游侧且第2成膜辊22的输送方向上游侧。
[0039]第2成膜辊22为用于在长条的基材1上层叠(形成)透明导电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种透明导电性薄膜的制造方法，其具备：第1工序，准备长条的基材；第2工序，在真空气氛下在所述基材的厚度方向一个面形成透明导电层；和第3工序，在真空气氛下对所述透明导电层进行加热，在所述第2工序中不卷取所述基材，而连续实施所述第3工序...

【专利技术属性】
技术研发人员：鸦田泰介，藤野望，鹰尾宽行，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：