【技术实现步骤摘要】
照明装置及半导体检测设备
[0001]本申请属于半导体器件检测设备
,尤其是涉及一种照明装置及半导体检测设备。
技术介绍
[0002]近年来,随着半导体行业的高速发展,晶圆制造工艺中的缺陷检测设备需求也越来越广泛。现有晶圆检测设备都是采用电子束检测,为保证电子束检测成像的清晰,需要在被检测的位置提供光照。
[0003]需要说明的是,晶圆在被检测时处于真空环境,现有采用的照明方案为在大气侧设置照明装置以为位于真空侧的晶圆提供光照。应理解地,在真空侧设置照明装置以为位于真空侧的晶圆提供光照,具备更好照明效果以便于识别晶圆上的微观尺寸特征。然而,现有使用的照明装置并不能适配于真空环境中应用。
技术实现思路
[0004]本申请提供了一种照明装置及半导体器检测设备,以解决现有照明装置无法应用于真空环境中的技术问题。
[0005]根据本申请的一个方面,提供了一种照明装置,用于半导体检测设备中,包括发光机构和第一光路模组;发光机构的至少部分设置于半导体设备的腔室中,以为腔室提供光照;第一光路模组设置于腔室中、且至少部分位于发光机构的下游侧,以用于改变发光机构发出的光的方向。
[0006]在本申请可选的方案中,发光机构包括光输入部件和光输出部件,光输出部件位于腔室中,光输入部件连接于光输出部件并位于腔室外;第一光路模组连接于光输出部件且至少部分位于光输出部件的下游侧。
[0007]在本申请可选的方案中,发光机构还包括连接部件,光输入部件与光输出部件通过连接部件相连,连接部件能够将 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种照明装置,用于半导体检测设备中,其特征在于,包括发光机构和第一光路模组;所述发光机构的至少部分设置于所述半导体设备的腔室中,以为所述腔室提供光照;所述第一光路模组设置于所述腔室中、且至少部分位于所述发光机构的下游侧,以用于改变所述发光机构发出的光的方向。2.根据权利要求1所述的照明装置,其特征在于,所述发光机构包括光输入部件和光输出部件,所述光输出部件位于所述腔室中,所述光输入部件连接于所述光输出部件并位于所述腔室外;所述第一光路模组连接于所述光输出部件且至少部分位于所述光输出部件的下游侧。3.根据权利要求2所述的照明装置,其特征在于,所述发光机构还包括连接部件,所述光输入部件与所述光输出部件通过所述连接部件相连,所述连接部件能够将经由所述光输入部件引入的光传递至所述光输出部件。4.根据权利要求2所述的照明装置,其特征在于,所述第一光路模组包括镜筒组件以及第一镜组模块,所述光输出部件设置于所述镜筒组件中,所述第一镜组模块设置于所述镜筒组件中并位于所述光输出部件的下游侧。5.根据权利要求4所述的照明装置,其特征在于,所述照明装置还包括调节机构,所述调节机构的至少部分设置于所述腔室外,且所述调节机构连接于所述镜筒组件并设置为用于调节所述镜筒组件的位置。6.根据权利要求5所述的照明装置,其特征在于,所述调节机构包括密封组件、镜筒调节架以及第一调节结构;所述密封组件设有过孔,所述镜筒调节架活动连接于所述密封组件并位于所述过孔的轴向一侧,所述镜筒组件连接于所述镜筒调节架;所述第一调节结构设置于所述密封组件且至少部分位于所述腔室外,且所述第一调节结构穿过所述过孔并连接于所述镜筒调节架,所述第一调节结构设置为能够驱动所述镜筒调节架在所述过孔的轴向移动。7.根据权利要求6所述的照明装置,其特征在于,所述调节机构还包括第二调节结构,所述第二调节结构设置于所述密封组件且至少部分位于所述腔室外,所述第二调节结构连接于所述第一调节结构并设置为能够驱动所述第一调节结构在所述过孔的径向移动。8.根据权利要求6所述的照明装置,其特征在于,所述密封组件包括第一安装座以及活动套管,所述活动套管的轴向两端分别连接于所述第一安装座以及所述镜筒调节架,所述第一安装座设置于所述腔室的外侧并与所述腔室的侧壁连接。9.根据权利要求6所述的照明装置,其特征在于,所述第一调节结构包括活动柱以及压块;所述压块位于所述腔室外并连接于所述密封组件;所述活动柱的部分位于所述腔室外且轴向一端穿过所述过孔并连接于所述镜筒调节架,所述活动柱设置为能够带动所述镜筒调节架沿所述过孔的轴向移动。10.根据权利要求9所述的照明装置,其特征在于,所述活动柱为螺柱,所述活动柱的轴向一端设有第一外螺纹并与所述镜筒调节架螺纹连接,所述活动柱的轴向另一端转动连接
于所述压块。11.根据权利要求10所述的照明装置,其特征在于,所述活动柱远离所述第一外螺纹的轴向一端设有第二外螺纹并与所述压块螺纹连接;所述第二外螺纹的螺距与所述第一外螺纹的螺距不等。12.根据权利要求7所述的照明装置,其特征在于,所述第二...
【专利技术属性】
技术研发人员:张立杰,郝琪,
申请(专利权)人:东方晶源微电子科技北京股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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