一种钢制托盘的防锈蚀处理设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种钢制托盘的防锈蚀处理设备，包括处理槽、撑托组件以及处理组件；处理槽上方架设有顶架；撑托组件设置于处理槽内，并驱使托盘升降动作；处理组件包含若干清刷机构，且各个清刷机构环绕式安装于顶架的外侧边缘位置，并在顶架上安装用于驱动各个清刷机构同步运作的驱动电机；其技术要点为，设计若干清刷机构，利用单个驱动电机和传动绳体即可驱使各个清刷机构进行同步作业，清刷机构中的毛刷圈可完成对处理槽内待清理钢制托盘表面进行清刷处理，同时毛刷圈的规格可根据需要进行调节，以应对不同规格的各类钢制托盘，从而实现全面的除锈处理。而实现全面的除锈处理。而实现全面的除锈处理。

【技术实现步骤摘要】
一种钢制托盘的防锈蚀处理设备


[0001]本技术涉及光刻机内部部件
，特别涉及一种钢制托盘的防锈蚀处理设备。

技术介绍

[0002]光刻机是半导体生产制造的主要生产设备之一，也是决定整个半导体生产工艺水平高低的核心技术机台；半导体技术发展都是以光刻机的光刻线宽为代表；光刻机通常采用步进式或扫描式等，通过近紫外光、中紫外光、深紫外光、真空紫外光、极短紫外光、X
‑
光等光源对光刻胶进行曝光，使得晶圆内产生电路图案；一台光刻机包含了光学系统、微电子系统、计算机系统、精密机械系统和控制系统等构件，其中还有钢制托盘等结构，长时间使用后表面会存在锈蚀的现象，通常需要借助到除锈或是防锈蚀处理设备。
[0003]传统的防锈蚀处理设备中，通常采用装配酸洗液的水槽结构，将待处理的各个钢制托盘放置于水槽内，而后利用电机驱动刷辊完成对钢制托盘表面进行酸洗+刷洗的同步操作，继而保证钢制托盘表面的锈蚀区域得到去除；然而传统的处理设备在使用时无法对不同规格的钢制托盘进行全面的刷洗处理，器或是只能完成对单个钢制托盘进行处理，整个处理设备的使用灵活性有待提高。

技术实现思路

[0004]解决的技术问题：
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种钢制托盘的防锈蚀处理设备，设计若干清刷机构，利用单个驱动电机和传动绳体即可驱使各个清刷机构进行同步作业，清刷机构中的毛刷圈可完成对处理槽内待清理钢制托盘表面进行清刷处理，同时毛刷圈的规格可根据需要进行调节，解决了
技术介绍
中提及的技术问题。
[0006]技术方案：
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
[0008]一种钢制托盘的防锈蚀处理设备，包括处理槽、撑托组件以及处理组件；
[0009]处理槽上方架设有顶架，该处的顶架起到支撑作用；
[0010]撑托组件设置于处理槽内，并驱使托盘升降动作；
[0011]处理组件包含若干清刷机构，且各个清刷机构环绕式安装于顶架的外侧边缘位置，并在顶架上安装用于驱动各个清刷机构同步运作的驱动电机。
[0012]在一种可能的实现方式中，所述处理槽内腔用于填充酸洗液，待处理的托盘浸没于酸洗液内，该处酸洗液的量和种类可根据需要进行添加。
[0013]在一种可能的实现方式中，所述撑托组件包含网板和升降气缸；其中，所述网板位于处理槽内，该处的网板在上抬后可对钢制托盘进行沥干处理；
[0014]所述升降气缸安装于处理槽的底侧位置，且升降气缸配套的活塞杆延伸到处理槽内，并与所述网板固定连接；所述网板的外表面电镀有磁吸层，且网板的边沿与处理槽内壁
之间存在间隙，该处的间隙可以保证网板能够顺畅的进行上下移动操作。
[0015]在一种可能的实现方式中，所述清刷机构包含固定板和转杆；
[0016]其中，所述固定板与顶架之间通过设置螺丝固定连接；
[0017]所述转杆与固定板之间通过设置轴承座连接，且转杆的顶端固定连接有卷筒件，所述转杆的底端可拆卸式连接刷件，该处的刷件起到对钢制托盘表面的刷洗操作。
[0018]在一种可能的实现方式中，所述驱动电机的输出端与各个卷筒件之间通过设置单根传动绳体依次传动连接。
[0019]在一种可能的实现方式中，所述刷件包含螺纹杆和盘体；
[0020]其中，所述螺纹杆与转杆自由端之间螺旋式连接；
[0021]所述盘体与螺纹杆底端焊接，且盘体的外侧套设有毛刷圈，所述毛刷圈与盘体之间通过设置囊圈连接；
[0022]所述转杆底端预设的螺纹槽内装填有伸缩囊，所述螺纹杆与螺纹槽连接状态下，所述伸缩囊与囊圈之间相互连通。
[0023]有益效果：
[0024]本方案中，通过设计若干清刷机构，利用单个驱动电机和传动绳体即可驱使各个清刷机构进行同步作业，清刷机构中的毛刷圈可完成对处理槽内待清理钢制托盘表面进行清刷处理，同时毛刷圈的规格可根据需要进行调节，以应对不同规格的各类钢制托盘，从而实现全面的除锈处理，防止钢制托盘进一步被腐蚀，体现了整个设备的实用性。
附图说明
[0025]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
[0026]图1为本技术的整体结构示意图；
[0027]图2为本技术的清刷机构示意图；
[0028]图3为本技术中转杆与螺纹杆连接状态下的示意图；
[0029]图4为本技术中撑托组件结构示意图。
[0030]图例说明：1、处理槽；2、顶架；3、网板；4、驱动电机；5、固定板；6、传动绳体；7、卷筒件；8、转杆；9、螺纹杆；10、伸缩囊；11、盘体；12、毛刷圈；13、囊圈；14、升降气缸。
具体实施方式
[0031]本申请实施例通过提供一种钢制托盘的防锈蚀处理设备，设计若干清刷机构，利用单个驱动电机和传动绳体即可驱使各个清刷机构进行同步作业，清刷机构中的毛刷圈可完成对处理槽内待清理钢制托盘表面进行清刷处理，同时毛刷圈的规格可根据需要进行调节，解决了
技术介绍
中提及的技术问题。
[0032]本申请实施例中的技术方案为解决上述
技术介绍
的问题，总体思路如下：
[0033]实施例1：
[0034]本实施例介绍了一种钢制托盘的防锈蚀处理设备的具体结构，如图1
‑
图4所示，包括：处理槽1、撑托组件以及处理组件；
[0035]处理槽1上方架设有顶架2，该处的顶架2起到支撑作用；
[0036]撑托组件设置于处理槽1内，并驱使托盘升降动作；
[0037]处理组件包含若干清刷机构，且各个清刷机构环绕式安装于顶架2的外侧边缘位置，并在顶架2上安装用于驱动各个清刷机构同步运作的驱动电机4，该处的驱动电机4带动单根传动绳体6进行传动，从而带动各个清刷机构中的卷筒件7进行同步转动，实现对钢制托盘表面的清刷处理。
[0038]在一些示例中，处理槽1内腔用于填充酸洗液，待处理的托盘浸没于酸洗液内，该处的酸洗液可对处理槽1内的钢制托盘表面进行酸洗处理。
[0039]在一些示例中，撑托组件包含网板3和升降气缸14；
[0040]其中，网板3位于处理槽1内，网板3的外表面电镀有磁吸层，且网板3的边沿与处理槽1内壁之间存在间隙，确保网板3能够在升降气缸14的带动下进行升降处理即可；
[0041]升降气缸14安装于处理槽1的底侧位置，且升降气缸14配套的活塞杆延伸到处理槽1内，并与网板3固定连接。
[0042]在一些示例中，清刷机构包含固定板5和转杆8；
[0043]其中，固定板5与顶架2之间通过设置螺丝固定连接；
[0044]转杆8与固定板5之间通过设置轴承座连接，且转杆8的顶端固定连接有卷筒件7，转杆8的底端可拆卸式连接刷件。
[0045]在一些示例中，驱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种钢制托盘的防锈蚀处理设备，其特征在于，包括：处理槽(1)，其上方架设有顶架(2)；撑托组件，其设置于处理槽(1)内，并驱使托盘升降动作；以及处理组件，其包含若干清刷机构，且各个清刷机构环绕式安装于顶架(2)的外侧边缘位置，并在顶架(2)上安装用于驱动各个清刷机构同步运作的驱动电机(4)。2.如权利要求1所述的一种钢制托盘的防锈蚀处理设备，其特征在于：所述处理槽(1)内腔用于填充酸洗液，待处理的托盘浸没于酸洗液内。3.如权利要求1所述的一种钢制托盘的防锈蚀处理设备，其特征在于：所述撑托组件包含网板(3)和升降气缸(14)；其中，所述网板(3)位于处理槽(1)内；所述升降气缸(14)安装于处理槽(1)的底侧位置，且升降气缸(14)配套的活塞杆延伸到处理槽(1)内，并与所述网板(3)固定连接。4.如权利要求3所述的一种钢制托盘的防锈蚀处理设备，其特征在于：所述网板(3)的外表面电镀有磁吸层，且网板(3)的边沿与处理槽(1)内壁之间存在间隙。5.如权利要求1所述的一种钢制托盘的防锈蚀处理设备，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈龙飞，沈雨顺，
申请(专利权)人：江苏弘远机械制造有限公司，
类型：新型
国别省市：