一种真空吸附式石英腔体焊接辅助装置，本发明专利技术涉及半导体加工技术领域，外推板分别利用横向导杆活动设置于框体的四个外侧面外侧；真空吸盘设置在外推板的外侧壁上；滑槽板背板固定在横向导杆的内端上；滑槽板固定在滑槽板背板的内侧面上；十字推板上下活动设置于框体的内部，且十字推板的四个端板上均连接有滑槽杆，滑槽杆上下滑动设置在开设于滑槽板中的弧形滑槽中；直线伺服电机固定在框体的底部，且直线伺服电机的输出端上连接推杆，推杆与十字推板利用铰链连接。通过真空吸附要焊接的石英板，固定垂直度好，不需要假接，可以实现各种尺寸的板焊接，可以实现多接口同步焊接。可以实现多接口同步焊接。可以实现多接口同步焊接。
【技术实现步骤摘要】
一种真空吸附式石英腔体焊接辅助装置
[0001]本专利技术涉及半导体加工
，具体涉及一种真空吸附式石英腔体焊接辅助装置。
技术介绍
[0002]半导体加工材料包含硅、陶瓷、石英、碳化硅等非金属材料，具有高硬度、高纯度、热膨胀系数低、电绝缘和化学稳定性等一系列特性，属于半导体设备中的重要组成产品，需求与日俱增。
[0003]手工半导体材料的焊接过程，主要是用环保的氢氧作为燃料，融化高纯度半导体材料焊丝，半导体材料焊接设备是将两种相同材质的半导体材料，通过加热的方式将需要连接的地方熔化变软，焊接石英腔体时，首先分割成不同的石英板，通过石墨块限位，将石英板摆成一定的焊接角度，因为焊接会变形，所以需要对石英板进行假接，假接后再进行整体焊接，当焊接完成后，去除假接的部位，操作比较繁琐。同时，通过石墨块限位，将石英板摆成一定的焊接角度，焊接完成后，石墨块限位会变形，还需要多次调整，比较浪费工时。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供了一种真空吸附式石英腔体焊接辅助装置，通过真空吸附要焊接的石英板，固定垂直度好，不需要假接，可以实现各种尺寸的板焊接，可以实现多接口同步焊接。
[0005]为达到上述目的，本专利技术采用了下列技术方案：它包含框体和支腿；框体的底部四角固定有支腿；它还包含：外推板，所述外推板为四个，分别利用横向导杆活动设置于框体的四个外侧面外侧；外推板的底部固定有石英托板；真空吸盘，所述真空吸盘为数个，两两为一组，设置在外推板的外侧壁上；滑槽板背板，所述滑槽板背板为四个，分别与每一个外推板内外对应设置，且固定在横向导杆的内端上；滑槽板，所述滑槽板为数个，两两为一组，固定在滑槽板背板的内侧面上；十字推板，所述十字推板上下活动设置于框体的内部，且十字推板的四个端板上均连接有滑槽杆，滑槽杆上下滑动设置在开设于滑槽板中的弧形滑槽中；直线伺服电机，所述直线伺服电机固定在框体的底部，且直线伺服电机的输出端上连接推杆，推杆与十字推板利用铰链连接。
[0006]优选地，所述十字推板的四个端板中均活动穿设有纵向导杆，纵向导杆的底端固定在框体的内底壁上。
[0007]优选地，所述滑槽杆与滑槽板构成凸轮机构。
[0008]优选地，四个外推板相互垂直。
[0009]优选地，所述真空吸盘均为单独控制。
[0010]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、精度高，外推板垂直度好，焊接保持效果好。
[0011]2、操作便捷，不需要用石墨块摆造型。
[0012]3、适用性广，适用于各种规格的石英腔体焊接。
附图说明
[0013]图1是本专利技术与需要焊接的石英板之间位置示意图。
[0014]图2是本专利技术本专利技术的结构示意图。
[0015]图3是本专利技术的内部结构示意图。
[0016]图4是本专利技术的俯视图。
[0017]图5是本专利技术的主视图。
[0018]附图标记说明：框体1、支腿2、外推板3、真空吸盘4、石英托板5、滑槽板背板6、十字推板7、滑槽板8、弧形滑槽8
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1、滑槽杆9、横向导杆10、直线伺服电机11、推杆12、纵向导杆13、石英板14、打坡口的石英板15。
具体实施方式
[0019]下面将结合附图，对本专利技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，以描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0020]如图1
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图5所示，本具体实施方式采用如下技术方案：它包含框体1和支腿2；框体1的底部四角固定有支腿2；它还包含：外推板3，所述外推板3为四个，四个外推板3相互垂直；分别利用横向导杆10活动设置于框体1的四个外侧面外侧；外推板3的底部固定有石英托板5；真空吸盘4，所述真空吸盘4为数个，两两为一组，设置在外推板3的外侧壁上；真空吸盘4均为单独控制；滑槽板背板6，所述滑槽板背板6为四个，分别与每一个外推板3内外对应设置，且固定在横向导杆10的内端上；滑槽板8，所述滑槽板8为数个，两两为一组，固定在滑槽板背板6的内侧面上；十字推板7，所述十字推板7上下活动设置于框体1的内部，且十字推板7的四个端板上均连接有滑槽杆9，滑槽杆9上下滑动设置在开设于滑槽板8中的弧形滑槽8
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1中，滑槽杆9与滑槽板8构成凸轮机构；所述十字推板7的四个端板中均活动穿设有纵向导杆13，纵向导杆13的底端固定在框体1的内底壁上；直线伺服电机11，所述直线伺服电机11固定在框体1的底部，且直线伺服电机11的输出端上连接推杆12，推杆12与十字推板7利用铰链连接。
[0021]在使用本专利技术时，根据焊接尺寸需要，启动直线伺服电机11，带动推杆12上升或者下降，从而带动十字推板7上升或者下降，十字推板7在上升或者下降的时候，带动滑槽杆9上升或者下降，滑槽杆9在弧形滑槽8
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1内上升或者下降，依靠凸轮原理，带动滑槽板8向内或者向外平移，当达到所需焊接尺寸位置时，停止直线伺服电机11；接着将需要焊接的石英
板14、打坡口的石英板15相邻放置在石英托板5上，接着启动真空吸盘4，将石英板14和打坡口的石英板15吸住，即可实现焊接。
[0022]与现有技术相比，本具体实施方式的有益效果是：1、外推板之间相互垂直，且利用横向导杆实现平移的导向，纵向导杆和凸轮机构实现十字推板的上下导向，使得精度高，外推板垂直度好，焊接保持效果好。
[0023]2、利用外推板结合石英托板，操作便捷，不需要用石墨块摆造型。
[0024]3、外推板利用横向导杆可调节设置，并且横向导杆可以根据需要更换不同的长度，使得其适用于各种规格的石英腔体焊接，适用性广。
[0025]对于本领域的技术人员来说，其可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改、部分技术特征的等同替换,凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空吸附式石英腔体焊接辅助装置，其特征在于：它包含框体（1）和支腿（2）；框体（1）的底部四角固定有支腿（2）；它还包含：外推板（3），所述外推板（3）为四个，分别利用横向导杆（10）活动设置于框体（1）的四个外侧面外侧；外推板（3）的底部固定有石英托板（5）；真空吸盘（4），所述真空吸盘（4）为数个，两两为一组，设置在外推板（3）的外侧壁上；滑槽板背板（6），所述滑槽板背板（6）为四个，分别与每一个外推板（3）内外对应设置，且固定在横向导杆（10）的内端上；滑槽板（8），所述滑槽板（8）为数个，两两为一组，固定在滑槽板背板（6）的内侧面上；十字推板（7），所述十字推板（7）上下活动设置于框体（1）的内部，且十字推板（7）的四个端板上均连接有滑槽杆（9），滑槽杆（9）上下滑动设置在开设于滑槽板（8）中的弧...
【专利技术属性】
技术研发人员：张月清，陈海源，杨军，
申请(专利权)人：江苏富乐德石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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