显示装置的制造方法制造方法及图纸

涉及显示装置的制造方法。根据一实施方式，显示装置的制造方法中形成第1子像素的第1下电极、第2子像素的第2下电极及第3子像素的第3下电极，形成含第1发光层的第1薄膜，形成露出第2子像素及第3子像素的第1薄膜并覆盖第1子像素的第1薄膜的负型的第1抗蚀剂，第1抗蚀剂为掩模除去第1薄膜形成含第2发光层的第2薄膜，形成露出第3子像素的第2薄膜并覆盖第1子像素及第2子像素的第2薄膜的负型的第2抗蚀剂，第2抗蚀剂为掩模除去第2薄膜，在第1子像素及第2子像素残留第2薄膜，形成露出第1子像素的第2薄膜并覆盖第2子像素的第2薄膜及第3子像素的第3下电极的正型的第3抗蚀剂，第3抗蚀剂为掩模除去第1子像素的第2薄膜。剂为掩模除去第1子像素的第2薄膜。剂为掩模除去第1子像素的第2薄膜。

【技术实现步骤摘要】
显示装置的制造方法
[0001]关联申请的交叉参照
[0002]本申请基于2022年4月21日提出申请的日本专利申请第2022
‑
070105号主张优先权，并引用该日本申请所记载的全部记载内容。


[0003]本专利技术的实施方式涉及显示装置的制造方法。

技术介绍

[0004]近年来，应用有机发光二极管(OLED)作为显示元件的显示装置被实用化。该显示元件具备包含薄膜晶体管的像素电路、与像素电路连接的下电极、覆盖下电极的有机层、和覆盖有机层的上电极。有机层除了发光层以外还包含空穴传输层、电子传输层等功能层。
[0005]在制造这种显示元件的过程中，需要抑制可靠性降低的技术。

技术实现思路

[0006]实施方式的目的在于提供能够抑制可靠性降低的显示装置的制造方法。
[0007]根据一个实施方式，在显示装置的制造方法中，
[0008]准备形成有第1子像素的第1下电极、第2子像素的第2下电极、第3子像素的第3下电极、并形成有肋部的处理基板，其中，所述肋部具有与所述第1下电极重叠的第1开口、与所述第2下电极重叠的第2开口、及与所述第3下电极重叠的第3开口，遍及所述第1子像素、所述第2子像素及所述第3子像素而形成包含第1发光层的第1薄膜，形成使所述第2子像素及所述第3子像素的所述第1薄膜露出、并且覆盖所述第1子像素的所述第1薄膜的负型的第1抗蚀剂，以所述第1抗蚀剂为掩模将所述第2子像素及所述第3子像素的所述第1薄膜除去，在所述第1子像素使所述第1薄膜残留，使所述第2下电极从所述第2开口露出并使所述第3下电极从所述第3开口露出，将所述第1抗蚀剂除去，遍及所述第1子像素、所述第2子像素及所述第3子像素而形成包含第2发光层的第2薄膜，形成使所述第3子像素的所述第2薄膜露出、并且覆盖所述第1子像素及所述第2子像素的所述第2薄膜的负型的第2抗蚀剂，以所述第2抗蚀剂为掩模将所述第3子像素的所述第2薄膜除去，在所述第1子像素及所述第2子像素使所述第2薄膜残留，使所述第3下电极从所述第3开口露出，将所述第2抗蚀剂除去，形成使所述第1子像素的所述第2薄膜露出、并且覆盖所述第2子像素的所述第2薄膜及所述第3子像素的所述第3下电极的正型的第3抗蚀剂，以所述第3抗蚀剂为掩模将所述第1子像素的所述第2薄膜除去，并将所述第3抗蚀剂除去。
[0009]根据一个实施方式，能够提供能够抑制可靠性降低的显示装置的制造方法。
附图说明
[0010]图1是示出显示装置DSP的构成例的图。
[0011]图2是示出子像素SP1、SP2、SP3的布局的一例的图。
[0012]图3是沿着图2中的III
‑
III线的显示装置DSP的概略剖视图。
[0013]图4是用于说明显示装置DSP的制造方法的一例的流程图。
[0014]图5是用于说明显示装置DSP的制造方法的图。
[0015]图6是用于说明显示装置DSP的制造方法的图。
[0016]图7是将配置于子像素SP1的第1薄膜31放大的剖视图。
[0017]图8是用于说明显示装置DSP的制造方法的图。
[0018]图9是用于说明显示装置DSP的制造方法的图。
[0019]图10是用于说明显示装置DSP的制造方法的图。
[0020]图11是用于说明显示装置DSP的制造方法的图。
[0021]图12是用于说明显示装置DSP的制造方法的图。
[0022]图13是用于说明显示装置DSP的制造方法的图。
[0023]图14是用于说明显示装置DSP的制造方法的图。
[0024]图15是用于说明显示装置DSP的制造方法的图。
具体实施方式
[0025]参照附图说明一个实施方式。
[0026]公开只不过是一例，本领域技术人员能够容易想到的未脱离专利技术主旨的适当变更当然包含在本专利技术范围内。另外，为了使说明更加明确，与实际方式相比，有时附图示意性表示各部分的宽度、厚度、形状等，但只不过是一例，并非限定本专利技术的解释。另外，在本说明书和各图中，对于与关于已出现的附图说明过的构成要素发挥相同或类似功能的构成要素，存在标注同一附图标记并适当省略重复的详细说明的情况。
[0027]需要说明的是，为了便于理解而根据需要在附图中记载有相互正交的X轴、Y轴及Z轴。将沿着X轴的方向称为第1方向，将沿着Y轴的方向称为第2方向，将沿着Z轴的方向称为第3方向。将与第3方向Z平行地观察各种要素的情形称为俯视观察。
[0028]本实施方式的显示装置是具备有机发光二极管(OLED)作为显示元件的有机电致发光显示装置，能够搭载于电视、个人计算机、车载设备、平板电脑终端、智能手机、移动电话终端等。
[0029]图1是示出显示装置DSP的构成例的图。
[0030]显示装置DSP在绝缘性的基板10之上具有显示图像的显示区域DA和显示区域DA周边的周边区域SA。基板10可以是玻璃，也可以是具有挠性的树脂膜。
[0031]在本实施方式中，俯视观察的基板10的形状为长方形。需要说明的是，基板10的俯视观察的形状不限于长方形，也可以是正方形、圆形或椭圆形等其他形状。
[0032]显示区域DA具备在第1方向X及第2方向Y上以矩阵状排列的多个像素PX。像素PX包含多个子像素SP。在一例中，像素PX包含第1色的子像素SP1、第2色的子像素SP2及第3色的子像素SP3。第1色、第2色及第3色是相互不同的颜色。需要说明的是，像素PX也可以与子像素SP1、SP2、SP3一起或取代子像素SP1、SP2、SP3中的任一者而包含白色等其他颜色的子像素SP。
[0033]子像素SP具备像素电路1和由像素电路1驱动的显示元件20。像素电路1具备像素开关2、驱动晶体管3、电容器4。像素开关2及驱动晶体管3是由例如薄膜晶体管构成的开关
元件。
[0034]像素开关2的栅电极与扫描线GL连接。像素开关2的源电极及漏电极中的一者与信号线SL连接，另一者与驱动晶体管3的栅电极及电容器4连接。在驱动晶体管3中，源电极及漏电极中的一者与电源线PL及电容器4连接，另一者与显示元件20的阳极连接。
[0035]需要说明的是，像素电路1的构成不限于图示的例子。例如，像素电路1也可以具备更多的薄膜晶体管及电容器。
[0036]显示元件20是作为发光元件的有机发光二极管(OLED)，存在称为有机EL元件的情况。
[0037]图2是示出子像素SP1、SP2、SP3的布局的一例的图。
[0038]在图2的例子中，子像素SP2与子像素SP3在第2方向Y上排列。此外，子像素SP2、SP3分别与子像素SP1在第1方向X上排列。
[0039]在子像素SP1、SP2、SP3为这种布局的情况下，在显示区域DA中形成有子像素SP2、SP3在第2方向Y上交替配置的列和多个子像素SP1在第2方向Y上重复配置的列。这些列在第1方向X上交替排列。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.显示装置的制造方法，其包括：准备形成有第1子像素的第1下电极、第2子像素的第2下电极、第3子像素的第3下电极、并形成有肋部的处理基板，其中，所述肋部具有与所述第1下电极重叠的第1开口、与所述第2下电极重叠的第2开口、及与所述第3下电极重叠的第3开口，遍及所述第1子像素、所述第2子像素及所述第3子像素而形成包含第1发光层的第1薄膜，形成使所述第2子像素及所述第3子像素的所述第1薄膜露出、并且覆盖所述第1子像素的所述第1薄膜的负型的第1抗蚀剂，以所述第1抗蚀剂为掩模将所述第2子像素及所述第3子像素的所述第1薄膜除去，在所述第1子像素使所述第1薄膜残留，使所述第2下电极从所述第2开口露出并使所述第3下电极从所述第3开口露出，将所述第1抗蚀剂除去，遍及所述第1子像素、所述第2子像素及所述第3子像素而形成包含第2发光层的第2薄膜，形成使所述第3子像素的所述第2薄膜露出、并且覆盖所述第1子像素及所述第2子像素的所述第2薄膜的负型的第2抗蚀剂，以所述第2抗蚀剂为掩模将所述第3子像素的所述第2薄膜除去，在所述第1子像素及所述第2子像素使所述第2薄膜残留，使所述第3下电极从所述第3开口露出，将所述第2抗蚀剂除去，形成使所述第1子像素的所述第2薄膜露出、并覆盖所述第2子像素的所述第2薄膜及所述第3子像素的所述第3下电极的正型的第3抗蚀剂，以所述第3抗蚀剂为掩模将所述第1子像素的所述第2薄膜除去，将所述第3抗蚀剂除去。2.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中，在将所述第3抗蚀剂除去后，进一步包括：遍及所述第1子像素、所述第2子像素及所述第3子像素而形成包含第3发光层的第3薄膜，形成使所述第1子像素及所述第2子像素的所述第3薄膜露出、并且覆盖所述第3子像素的所述第3薄膜的正型的第4抗蚀剂，以所述第4抗蚀剂为掩模将所述第1子像素及所述第2子像素的所述第3薄膜除去，在所述第3子像素使所述第3薄膜残留，将所述第4抗蚀剂除去。3.根据权利要求2所述的显示装置的制造方法，其中，所述第1发光层由发出蓝色波长范围的光的材料形成，所述第2发光层由发出绿色波长范围的光的材料形成，所述第3发光...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本优子，
申请(专利权)人：株式会社日本显示器，
类型：发明
国别省市：