一种洁净室颗粒物浓度监测装置以及监测方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及颗粒物浓度监测技术领域，具体公开了一种洁净室颗粒物浓度监测装置以及监测方法，包括：推车主体、高处监测机构、低处监测机构、安装架、控制器、监测摄像头、风泵、软管盘、浓度检测机和蓄电池；高处监测机构安装在推车主体的左侧顶部；低处监测机构设置在推车主体的内侧；安装架设置在推车主体的顶端右侧；监测摄像头安装在安装架的顶部；风泵设置在推车主体的内侧左端；浓度检测机设置在推车主体的顶端左侧。本发明专利技术优化现有的监测设备，使监测设备采用活动式监测，覆盖更广泛的空间范围，并且实现洁净室内部高处和低处位置上同步吸取空气样本并将其进行实时监测分析，进而获取更全面的监测数据。获取更全面的监测数据。获取更全面的监测数据。

【技术实现步骤摘要】
一种洁净室颗粒物浓度监测装置以及监测方法


[0001]本专利技术涉及颗粒物浓度监测
，具体为一种洁净室颗粒物浓度监测装置以及监测方法。

技术介绍

[0002]洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气和细菌等污染物排除出去，同时将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与分布、噪音振动、照明以及静电控制在规定范围内的房间，洁净室主要用于精密机械工业、半导体工业等行业，可以有效降低污染风险，保护人员和资产，洁净室颗粒物浓度监测是用于确保洁净室内空气质量符合特定的标准和要求，洁净室颗粒物浓度的监测是持续进行的，监测数据将被记录并进行评估，以确保洁净室的运行在规定的标准范围内，并及时采取必要的纠正措施，以保持洁净室的正常运行和良好的空气质量；现有
内，常见的洁净室颗粒物浓度监测方法包括使用颗粒物计数仪或颗粒物分析仪，颗粒物计数仪能够实时测量和记录洁净室内空气中不同尺寸范围的颗粒物数量，并将其以颗粒物数量浓度的形式展示，通过监测颗粒物浓度，可以及时发现和解决洁净室内的污染源，以确保洁净室的正常运行，颗粒物分析仪则可以对颗粒物进行更详细的分析，包括颗粒物的尺寸分布、化学成分等；但是现有的监测方法，由于监测设备采用固定式进行安装，并且洁净室内部安装有大量生产设备，并且监测设备受制于设备自身的监测能力，因此针对洁净室内部监测的覆盖范围有限，导致洁净室内部空气检测局部死角的存在，使得洁净室内如设备角落和间隙等位置上的颗粒物无法被及时监测到，进而无法满足正常监测需求。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种洁净室颗粒物浓度监测装置以及监测方法，以至少解决上述
技术介绍
中所提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种洁净室颗粒物浓度监测装置，包括：推车主体、高处监测机构、低处监测机构、支撑架、控制器、监测摄像头、风泵、软管盘、浓度检测机和蓄电池；高处监测机构安装在所述推车主体的左侧顶部；低处监测机构设置在所述推车主体的内侧；支撑架设置在所述推车主体的顶端右侧；控制器安装在所述支撑架的内侧；监测摄像头安装在所述支撑架的顶部，所述监测摄像头和控制器电性连接；风泵设置在所述推车主体的内侧左端，所述风泵和控制器电性连接；软管盘安装在所述推车主体的前侧，所述软管盘和风泵相连接；浓度检测机设置在所述推车主体的顶端左侧，所述浓度检测机和风泵相连接，所述浓度检测机和控制器电性连接；蓄电池内嵌在所述推车主体的内侧顶部，所述蓄电池和控制器电性连接。
[0005]优选的，所述高处监测机构包括：高处监测机构外壳、导轨架、移动架、丝杠组件和
第一电机；高处监测机构外壳通过支架设置在所述推车主体的左侧顶部；导轨架沿上下方向设置在所述高处监测机构外壳的内侧；移动架套接在所述导轨架的外侧顶部；丝杠组件设置在所述高处监测机构外壳的内侧中部，所述丝杠组件的内部丝杠螺母与移动架的内侧相连接；第一电机设置在所述高处监测机构外壳的内侧底端，所述第一电机的转动轴与丝杠组件的内部丝杠螺杆固定连接，所述第一电机和控制器电性连接；其中，所述高处监测机构外壳的内腔前后两侧沿上下方向开设有槽体，并且前后两个槽体内腔均设置有延展组件。
[0006]优选的，所述延展组件包括：固定座、第一转动架、第二转动架、第三转动架、安装架和进风控制组件；固定座设置在所述高处监测机构外壳的内腔底端且位于高处监测机构外壳的内腔槽体下方；第一转动架，一端通过销轴转动连接在所述固定座的内侧；第二转动架一端通过销轴转动连接在所述移动架的底端外侧，所述第二转动架的内侧底端与第一转动架的外侧底端通过销轴转动连接；第三转动架一端通过销轴转动连接在所述第二转动架的另一端外侧；安装架通过销轴转动连接在所述第一转动架和第三转动架的另一端；进风控制组件设置在所述安装架的外侧。
[0007]优选的，所述进风控制组件包括：槽体外壳、连接阀管、槽体箱和引风管；槽体外壳安装在所述安装架的外侧；连接阀管设置在所述槽体外壳的右侧底部，所述连接阀管能够与风泵通过导管相连接；槽体箱设置在所述槽体外壳的内腔外侧；所述引风管的数量为两个，两个所述引风管分别设置在槽体箱的内腔上下两侧，所述引风管的一端与槽体箱的内腔相连通，所述引风管的另一端与连接阀管相连接。
[0008]优选的，所述进风控制组件还包括：密封板、转动盘、第二电机、转动杆、第一连接杆和第二连接杆；所述密封板的数量为六个，六个所述密封板分别通过销轴转动连接在槽体箱的内侧，所述密封板的轴心右侧延伸出槽体箱的外部；转动盘键连接在顶部所述密封板的轴心右侧；第二电机安装在所述槽体外壳的内腔，所述第二电机的输出端和转动盘的轴心固定连接，所述第二电机和控制器电性连接；所述转动杆的数量为五个，五个所述转动杆的一端分别键连接在从下至上五个密封板的轴心右端；第一连接杆沿上下方向通过销轴转动连接在五个第一连接杆的另一端右侧；第二连接杆一端通过销轴转动连接在所述转动盘的右侧外端，所述第二连接杆的另一端与第一连接杆的顶端右侧通过销轴转动连接。
[0009]优选的，所述低处监测机构包括：安装框体、剪式折叠架、电推杆、电动夹持器、驱动机器人、电动机械臂和进风口；安装框体沿左右方向固定安装在所述推车主体的内侧顶部；剪式折叠架设置在所述安装框体的内侧右端；所述电推杆的数量为两个，两个所述电推杆一端通过销轴座转动连接在所述安装框体的内侧右端前后两侧，两个所述电推杆的另一端与剪式折叠架的内侧通过销轴座相连接，所述电推杆和控制器电性连接；所述电动夹持器的数量为两个，两个所述电动夹持器分别设置在剪式折叠架的底端左右两侧，所述电动夹持器和控制器电性连接；驱动机器人能够被夹持在左右两个电动夹持器的内侧，所述驱动机器人能够与控制器远程网络连接；电动机械臂安装在所述驱动机器人的顶部凹槽内腔，所述电动机械臂和驱动机器人电性连接；进风口设置在所述电动机械臂的移动端，所述进风口能够与软管盘相连接。
[0010]一种洁净室颗粒物浓度监测装置的监测方法，包括以下步骤：步骤一：工作人员将蓄电池内部充电后，并将推车主体推入至洁净室内部指定地
点；步骤二：工作人员控制控制器启动第一电机，第一电机驱动丝杠组件内部丝杠螺杆转动，丝杠组件内部丝杠螺母在旋转力的作用下驱动移动架带动前后两侧延展组件内的第二转动架一端向下转动，第二转动架分别驱动第一转动架和第三转动架向外侧转动，在第一转动架和第三转动架的配合下驱动前后两侧安装架带动对应位置上进风控制组件由竖直方向向外侧转动至水平方向；步骤三：工作人员控制控制器启动风泵使其工作，进风控制组件外部空气由相邻位置上密封板的间隙进入至槽体箱内腔内侧，并依次由引风管和连接阀管进入至风泵内部，风泵将抽入的空气排入至浓度检测机内部；步骤四：浓度检测机对当前洁净室内部高处位置上空气进行检测分析，并将分析的结果由控制器进行显示；步骤五：第二电机驱动转动盘转动，转动盘驱动第二连接杆带动第一连接杆弧形移动，第一连接杆驱动对应位置上转动杆一端偏转，以使转动盘和五个转动杆分别驱动对应位置上密封板在槽体箱内腔偏转，进而改变密封板之间间隙本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种洁净室颗粒物浓度监测装置，其特征在于，包括：推车主体（1）；高处监测机构（2），安装在所述推车主体（1）的左侧顶部；低处监测机构（4），设置在所述推车主体（1）的内侧；支撑架（5），设置在所述推车主体（1）的顶端右侧；控制器（6），安装在所述支撑架（5）的内侧；监测摄像头（7），安装在所述支撑架（5）的顶部，所述监测摄像头（7）和控制器（6）电性连接；风泵（8），设置在所述推车主体（1）的内侧左端，所述风泵（8）和控制器（6）电性连接；软管盘（9），安装在所述推车主体（1）的前侧，所述软管盘（9）和风泵（8）相连接；浓度检测机（10），设置在所述推车主体（1）的顶端左侧，所述浓度检测机（10）和风泵（8）相连接，所述浓度检测机（10）和控制器（6）电性连接；蓄电池（11），内嵌在所述推车主体（1）的内侧顶部，所述蓄电池（11）和控制器（6）电性连接。2.根据权利要求1所述的一种洁净室颗粒物浓度监测装置，其特征在于：所述高处监测机构（2）包括：高处监测机构外壳（21），通过支架设置在所述推车主体（1）的左侧顶部；导轨架（22），沿上下方向设置在所述高处监测机构外壳（21）的内侧；移动架（23），套接在所述导轨架（22）的外侧顶部；丝杠组件（24），设置在所述高处监测机构外壳（21）的内侧中部，所述丝杠组件（24）的内部丝杠螺母与移动架（23）的内侧相连接；第一电机（25），设置在所述高处监测机构外壳（21）的内侧底端，所述第一电机（25）的转动轴与丝杠组件（24）的内部丝杠螺杆固定连接，所述第一电机（25）和控制器（6）电性连接；其中，所述高处监测机构外壳（21）的内腔前后两侧沿上下方向开设有槽体，并且前后两个槽体内腔均设置有延展组件。3.根据权利要求2所述的一种洁净室颗粒物浓度监测装置，其特征在于：所述延展组件包括：固定座（26），设置在所述高处监测机构外壳（21）的内腔底端且位于高处监测机构外壳（21）的内腔槽体下方；第一转动架（27），一端通过销轴转动连接在所述固定座（26）的内侧；第二转动架（28），一端通过销轴转动连接在所述移动架（23）的底端外侧，所述第二转动架（28）的内侧底端与第一转动架（27）的外侧底端通过销轴转动连接；第三转动架（29），一端通过销轴转动连接在所述第二转动架（28）的另一端外侧；安装架（210），通过销轴转动连接在所述第一转动架（27）和第三转动架（29）的另一端；进风控制组件（3），设置在所述安装架（210）的外侧。4.根据权利要求3所述的一种洁净室颗粒物浓度监测装置，其特征在于：所述进风控制组件（3）包括：槽体外壳（31），安装在所述安装架（210）的外侧；
连接阀管（32），设置在所述槽体外壳（31）的右侧底部，所述连接阀管（32）能够与风泵（8）通过导管相连接；槽体箱（33），设置在所述槽体外壳（31）的内腔外侧；引风管（34），所述引风管（34）的数量为两个，两个所述引风管（34）分别设置在槽体箱（33）的内腔上下两侧，所述引风管（34）的一端与槽体箱（33）的内腔相连通，所述引风管（34）的另一端与连接阀管（32）相连接。5.根据权利要求4所述的一种洁净室颗粒物浓度监测装置，其特征在于：所述进风控制组件（3）还包括：密封板（35），所述密封板（35）的数量为六个，六个所述密封板（35）分别通过销轴转动连接在槽体箱（33）的内侧，所述密封板（35）的轴心右侧延伸出槽体箱（33）的外部；转动盘（36），键连接在顶部所述密封板（35）的轴心右侧；第二电机（37），安装在所述槽体外壳（31）的内腔，所述第二电机（37）的输出端和转动盘（36）的轴心固定连接，所述第二电机（37）和控制器（6）电性连接；转动杆（38），所述转动杆（38）的数量为五个，五个所述转动杆（38）的一端分别键连接在从下至上五个密封板（35）的轴心右端；第一连接杆（39），沿上下方向通过销轴转动连接在五个第一连接杆（39）的另一端右侧；第二连接杆（...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩辉，袁金荣，崔春杨，胡慧龙，张济沫，王德龙，韩一凡，
申请(专利权)人：北京中邦兴业科技有限公司，
类型：发明
国别省市：