本实用新型专利技术公开了一种用于能对不同阶段制程进行取样的研磨液混配装置，包括柜体，设置在柜体内部不同腔室内的原液桶、混配系统和电控模块；所述混配系统包括混配桶、原液管路、循环管路、送液管路、纯水管路和气体管路，原液管路上设有原液泵，循环管路上设有循环泵，送液管路上设有送液泵，所述原液管路、循环管路和送液管路上均设有取样支管，取样支管伸入取样箱的取样瓶内。本实用新型专利技术能够对研磨液混配过程中不同阶段的管路内的液体配比进行监测，从而保证研磨液的混配精度和混配效率。从而保证研磨液的混配精度和混配效率。从而保证研磨液的混配精度和混配效率。
【技术实现步骤摘要】
一种用于能对不同阶段制程进行取样的研磨液混配装置
[0001]本技术涉及研磨液供应
，尤其涉及一种用于能对不同阶段制程进行取样的研磨液混配装置。
技术介绍
[0002]目前的研磨液供应装置直接采用取样瓶进行取样，取样时飞溅的液体会积聚在取样瓶底部，对研磨液供应系统内部造成污染，且通常仅对末端送液管路进行取样，如若研磨液混配比例不达标，则需重新进行配比，无法有效保证研磨液的混配精度和混配效率。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本技术提供了一种用于能对不同阶段制程进行取样的研磨液混配装置，用以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0004]一种用于能对不同阶段制程进行取样的研磨液混配装置，包括柜体，设置在柜体内部不同腔室内的原液桶、混配系统和电控模块；
[0005]所述混配系统包括混配桶、用以将原液桶内的原液通过原液管路泵送至混配桶进行混合的原液泵、用以将混配桶内的混合液通过循环管路泵送循环回流至桶内的循环泵、用以将混配桶内的混合液通过送液管路泵送至阀箱的送液泵、用以将混合液分配至其他设备的阀箱、以及用以输送纯水以将纯水与循环管路内的混合液按比例混合或对所有管路进行清洗的纯水管路；所述原液管路、循环管路和送液管路上均设有取样支管，原液管路、循环管路和送液管路上均连接有废液管路，循环管路上设置有用以检测纯水与混合液的混合比例是否达标的比重计；
[0006]所述取样支管伸入取样箱的取样瓶内，取样箱内水平设置有固定板和防溅板，固定板和防溅板将取样箱内部的箱体空间从上往下分隔成用以容纳取样支管上的控制阀门的第一腔室、用以放置取样瓶的第二腔室和用以收集飞溅出的废液的第三腔室，所述防溅板上设有多个防溅孔，所述取样箱的底部设置有倾斜面且其最低处设有废液口。
[0007]优选地，所述取样箱由背板、垂直固定在背板两侧的侧板、垂直固定在背板上端的顶板、以及垂直固定在背板下端的底板组成，背板两侧的侧板长度不同，长度较长的侧板的内侧面上设置有支撑板，所述防溅板的一端搁置在支撑板上、另一端搭接在长度较短的侧板与底板的连接处。
[0008]优选地，所述背板的内侧面上固定有一个安装板，取样支管上的控制阀门固定在安装板上。
[0009]优选地，所述底板由斜向下倾斜的倾斜段、从倾斜段的最低处水平延伸出的水平段，废液口设置在水平段上。
[0010]优选地，所述防溅板上的防溅孔呈矩阵式分布。
[0011]优选地，所述原液管路、循环管路和送液管路上均连接有废液管路，循环管路上设置有用以检测纯水与混合液的混合比例是否达标的比重计。
[0012]优选地，所述原液管路包括连接在各个原液桶出液口处的第一原液输送管、与所有的第一原液输送管相连的第二原液输送管、设置在第二原液输送管的末端并分别伸入各个混配桶的第三原液输送管，第一原液输送管、第二原液输送管和第三原液输送管上均安装有阀门，每个第一原液输送管上均安装有一个原液泵，原液泵的进水侧设置有用以连通两个第一原液输送管的原液连通管。
[0013]优选地，所述循环管路包括连接在各个混配桶出液口处的第一循环输送管、与所有的第一循环输送管相连的第二循环输送管、设置在第二循环输送管末端的两个第三循环输送管、与两个第三循环输送管相连的第四循环输送管、以及设置在第四循环输送管的末端并分别伸入各个混配桶的第五循环输送管，第一循环输送管、第三循环输送管、第四循环输送管和第五循环输送管上均安装有阀门，每个第三循环输送管上均安装有一个循环泵，所述比重计安装在第四循环输送管上。
[0014]优选地，所述送液管路包括连接在各个混配桶出液口处的第一送液管、与所有的第一送液管相连的第二送液管、设置在第二送液管末端的两个第三送液管、两端分别与阀箱和两个第三送液管相连的第四送液管、连接在阀箱的出液口并分别伸入各个混配桶的第五送液管，所述第一送液管、第三送液管、第四送液管和第五送液管上均安装有阀门，其中一个第三送液管上安装有两个送液泵且该第三送液管的位于两个送液泵之间的管段上设置有用以将其与另一第三送液管相连通的送液连通管。
[0015]优选地，所述混配系统还包括用以对清洗过的管路进行吹扫干燥的气体管路，气体管路上还设置有风量调节装置。
[0016]本技术的有益效果是：
[0017]1、本申请利用取样阀箱进行取样，不仅可以收集取样过程中飞溅的液体，避免取样瓶底部积液，而且也能对研磨液混配过程中不同阶段的液体进行取样检测，以对不同阶段的管路内的液体配比进行监测，从而保证研磨液的混配精度和混配效率。
[0018]2、本申请能够自动进行配液、供液，大大提高了研磨液的配置效率，且原液泵、循环泵和送液泵均配备为两个，相互之间互为备用泵，当其中一个泵发生故障时，另一个泵可以立马独立运行工作，能够保证系统稳定有效运行，不需要进行停机，可以24小时不间断供应研磨液。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0020]图1是研磨液取样箱的结构示意图。
[0021]图2是取样箱的结构示意图。
[0022]图3是研磨液混配装置的管路图。
[0023]图4是研磨液混配装置的立体结构示意图。
[0024]图中标号的含义为：
[0025]1为原液桶，
[0026]2为混配桶，
[0027]3为原液泵，
[0028]4为循环泵，
[0029]5为送液泵，
[0030]6为阀箱，
[0031]71为第一原液输送管，72为第二原液输送管，73为第三原液输送管，74为原液连通管，
[0032]81为第一循环输送管，82为第二循环输送管，83为第三循环输送管，84为第四循环输送管，85为第五循环输送管，86为比重计，
[0033]91为第一送液管，92为第二送液管，93为第三送液管，94为第四送液管，95为第五送液管，96为送液连通管，
[0034]10为取样支管，
[0035]11为废液管路，
[0036]121为纯水输送总管，122为第一纯水输送支管，123为第二纯水输送支管，124为第三纯水输送支管，125为第四纯水输送支管，126为第五纯水输送支管，
[0037]13为气体管路，
[0038]14为风量调节装置，
[0039]15为取样箱，151为固定板，152为防溅板，153为控制阀门，154为废液口，155为背板，156为侧板，157为顶板，158为底板，159为支撑板，1510为安装板，1512为防溅孔，
[0040]16为柜体。
具体实施方式
[0041]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中示出的具体实施例来描述本发本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于能对不同阶段制程进行取样的研磨液混配装置，其特征在于，包括柜体，设置在柜体内部不同腔室内的原液桶、混配系统和电控模块；所述混配系统包括混配桶、用以将原液桶内的原液通过原液管路泵送至混配桶进行混合的原液泵、用以将混配桶内的混合液通过循环管路泵送循环回流至桶内的循环泵、用以将混配桶内的混合液通过送液管路泵送至阀箱的送液泵、用以将混合液分配至其他设备的阀箱、以及用以输送纯水以将纯水与循环管路内的混合液按比例混合或对所有管路进行清洗的纯水管路；所述原液管路、循环管路和送液管路上均设有取样支管，原液管路、循环管路和送液管路上均连接有废液管路，循环管路上设置有用以检测纯水与混合液的混合比例是否达标的比重计；所述取样支管伸入取样箱的取样瓶内，取样箱内水平设置有固定板和防溅板，固定板和防溅板将取样箱内部的箱体空间从上往下分隔成用以容纳取样支管上的控制阀门的第一腔室、用以放置取样瓶的第二腔室和用以收集飞溅出的废液的第三腔室，所述防溅板上设有多个防溅孔，所述取样箱的底部设置有倾斜面且其最低处设有废液口。2.根据权利要求1所述的用于能对不同阶段制程进行取样的研磨液混配装置，其特征在于，所述取样箱由背板、垂直固定在背板两侧的侧板、垂直固定在背板上端的顶板、以及垂直固定在背板下端的底板组成，背板两侧的侧板长度不同，长度较长的侧板的内侧面上设置有支撑板，所述防溅板的一端搁置在支撑板上、另一端搭接在长度较短的侧板与底板的连接处。3.根据权利要求2所述的用于能对不同阶段制程进行取样的研磨液混配装置，其特征在于，所述背板的内侧面上固定有一个安装板，取样支管上的控制阀门固定在安装板上。4.根据权利要求2所述的用于能对不同阶段制程进行取样的研磨液混配装置，其特征在于，所述底板由斜向下倾斜的倾斜段、从倾斜段的最低处水平延伸出的水平段，废液口设置在水平段上。5.根据权利要求1所述的用于能对不同阶段制程进行取样的研磨液混配装置，其特征在于，所述防溅板上的防溅孔呈矩阵式分布。6.根据权利要求1所述的用于能对不同阶段制程进行取样的研磨液混配装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁红伟，丁双伟，郭俊杰，
申请(专利权)人：上海亿鼎电子系统集成有限公司，
类型：新型
国别省市：
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