一种基于半导体清洗的快排阀门制造技术

本实用新型专利技术涉及阀门设备技术领域，且公开了一种基于半导体清洗的快排阀门，包括清洗加工台，清洗加工台的顶部设置有清洗池，清洗池的底部固定连接有排水管，排水管的下端设置有排水组件，清洗加工台内部设置有集水桶，排水组件包括密封筒和排水阀，密封筒与排水阀可拆卸安装，排水阀的下端设置有过滤机构，过滤机构包括滤水座、过滤件、连接件和缓冲板，过滤件内部设置有滤芯。本实用新型专利技术缓冲板开设的分水孔用于对高压排水减小缓冲，使排放的水呈伞状向下洒落到过滤件处，以此对过滤件中的滤芯提供缓冲保护，后期若缓冲板表面残留杂质或对过滤件的滤芯更换时，只需要将固定底板从滤水座处拆卸掉即可。处拆卸掉即可。处拆卸掉即可。

【技术实现步骤摘要】
一种基于半导体清洗的快排阀门


[0001]本技术涉及阀门设备领域，特别涉及一种基于半导体清洗的快排阀门。

技术介绍

[0002]半导体在生产加工过程中，需要首先对晶圆进行清洗，以便去除晶圆表面的多种杂质成分，由于杂质成分较多，需要经过多种清洗液以及流程分别进行清洗作业。
[0003]为了对清洗水循环使用，会对使用过的水排放过程中过滤，对杂质过滤后再次利用使用，减少水资源浪费，但是在清洗池的阀门排水时，由于水压过大，在阀内的过滤组件滤芯无法承受水压的冲击，会导致滤芯损坏，从而致使过滤组件对杂质的过滤不完整，影响被过滤后的清洗液循环使用。
[0004]因此，针对上述问题，提出一种一种基于半导体清洗的快排阀门。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种基于半导体清洗的快排阀门，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基于半导体清洗的快排阀门，包括：
[0007]清洗加工台，所述清洗加工台的顶部设置有清洗池，所述清洗池的底部固定连接有排水管，所述排水管的下端设置有排水组件；
[0008]所述清洗加工台内部设置有集水桶；
[0009]排水组件包括密封筒和排水阀，所述密封筒与排水阀可拆卸安装，所述排水阀的下端设置有过滤机构；
[0010]所述过滤机构包括滤水座、过滤件、连接件和缓冲板，所述过滤件内部设置有滤芯，所述过滤件开设有活动槽和限位槽，所述活动槽与限位槽相互贯通，所述连接件的下端与活动槽滑动连接，所述连接件的上端开设有凹槽，所述缓冲板开设有矩形槽，所述凹槽与缓冲板卡接，所述缓冲板开设有分水孔。
[0011]优选的，所述活动槽内部设置有限位杆，所述限位杆与连接件的下端活动穿插，所述限位杆的外部套有弹簧，所述弹簧的一端与过滤件内壁固定连接，所述弹簧的另一端与连接件固定连接。
[0012]优选的，所述连接件靠近限位槽的一侧固定连接有密封板，所述密封板与限位槽活动穿插，所述连接件的顶部开设有倒角。
[0013]优选的，所述滤水座底部可拆卸连接有固定底板，所述密封筒侧边固定连接有分支管，所述分支管固定连接有输水座，所述分支管与输水座均设置有两个，两个所述分支管与输水座以排水阀中心处呈对称分布。
[0014]优选的，所述密封筒与排水管套接，所述密封筒的下端设置有排水阀，所述密封筒的底部固定连接有密封环，所述排水阀的顶部开设有环形槽，所述密封环与环形槽插接。
[0015]优选的，所述限位杆和弹簧均设置有两个，两个所述限位杆和弹簧以固定底板中心处呈对称分布，所述输水座的底部与滤水座顶部固定连接。
[0016]本技术的技术效果和优点：
[0017]本技术通过在清洗池的底部设置密封筒、输水座、滤水座、排水阀和固定底板，与传统的单向排水阀相比，在密封筒的两侧固定分别固定一个输水座，将排水处分开到滤水座处排出，缓冲板开设的分水孔用于对高压排水减小缓冲，使排放的水呈伞状向下洒落到过滤件处，以此对过滤件中的滤芯提供缓冲保护，依靠过滤件处的连接件对缓冲板卡接固定，后期若缓冲板表面残留杂质或对过滤件的滤芯更换时，只需要将固定底板从滤水座处拆卸掉即可。
附图说明
[0018]图1为本技术整体立体结构示意图。
[0019]图2为本技术滤水座结构示意图。
[0020]图3为本技术滤水座正视剖面结构示意图。
[0021]图4为本技术缓冲板结构示意图。
[0022]图5为本技术连接件结构示意图。
[0023]图6为本技术图3中A处放大结构示意图。
[0024]图中：1、清洗加工台；2、清洗池；3、排水管；4、密封筒；5、输水座；6、滤水座；7、集水桶；8、排水阀；9、固定底板；10、密封环；11、缓冲板；12、过滤件；13、连接件；14、凹槽；15、密封板；16、限位槽；17、限位杆；18、弹簧。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]本技术提供了如图1
‑
6所示的一种基于半导体清洗的快排阀门，包括：
[0027]清洗加工台1，清洗加工台1的顶部设置有清洗池2，清洗池2的底部固定连接有排水管3，排水管3的下端设置有排水组件；
[0028]清洗加工台1内部设置有集水桶7；
[0029]排水组件包括密封筒4和排水阀8，密封筒4与排水阀8可拆卸安装，排水阀8的下端设置有过滤机构；
[0030]过滤机构包括滤水座6、过滤件12、连接件13和缓冲板11，过滤件12内部设置有滤芯，过滤件12开设有活动槽和限位槽16，活动槽与限位槽16相互贯通，连接件13的下端与活动槽滑动连接，连接件13的上端开设有凹槽14，缓冲板11开设有矩形槽，凹槽14与缓冲板11卡接，缓冲板11开设有分水孔，活动槽内部设置有限位杆17，限位杆17与连接件13的下端活动穿插，限位杆17的外部套有弹簧18，弹簧18的一端与过滤件12内壁固定连接，弹簧18的另一端与连接件13固定连接，连接件13靠近限位槽16的一侧固定连接有密封板15，密封板15与限位槽16活动穿插，连接件13的顶部开设有倒角，限位杆17和弹簧18均设置有两个，两个
限位杆17和弹簧18以固定底板9中心处呈对称分布，输水座5的底部与滤水座6顶部固定连接；
[0031]过滤件12开设的活动槽对连接件13起到限位的移动的作用，活动槽的长度等于连接件13的可活动距离，连接件13的一面通过与弹簧18固定，使连接件13始终被弹簧18施加推力，使连接件13开设的凹槽14与过滤件12之间形成卡接固定，同时连接件13另一面固定的密封板15对活动槽起到密封的作用，防止排水进入到活动槽内，同时密封板15与限位槽16活动穿插对连接件13同样起到限位移动的作用，缓冲板11开设的矩形槽与连接件13的顶部相适配，连接件13开设的倒角方便与缓冲板11开设的矩形槽穿插，缓冲板11开设的分水孔对高压排水起到缓冲的作用，使高压排水透过分水孔排放到过滤件12顶部，限位杆17通过与连接件13活动穿插，限位杆17对弹簧18起到防止发生形变的作用，同时对连接件13起到限位保护。
[0032]滤水座6底部可拆卸连接有固定底板9，密封筒4侧边固定连接有分支管，分支管固定连接有输水座5，分支管与输水座5均设置有两个，两个分支管与输水座5以排水阀8中心处呈对称分布，密封筒4与排水管3套接，密封筒4的下端设置有排水阀8，密封筒4的底部固定连接有密封环10，排水阀8的顶部开设有环形槽，密封环10与环形槽插接；
[0033]密封筒4底部固定的密封环10本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于半导体清洗的快排阀门，包括：清洗加工台(1)，所述清洗加工台(1)的顶部设置有清洗池(2)，所述清洗池(2)的底部固定连接有排水管(3)，所述排水管(3)的下端设置有排水组件；其特征在于，所述清洗加工台(1)内部设置有集水桶(7)；排水组件包括密封筒(4)和排水阀(8)，所述密封筒(4)与排水阀(8)可拆卸安装，所述排水阀(8)的下端设置有过滤机构；所述过滤机构包括滤水座(6)、过滤件(12)、连接件(13)和缓冲板(11)，所述过滤件(12)内部设置有滤芯，所述过滤件(12)开设有活动槽和限位槽(16)，所述活动槽与限位槽(16)相互贯通，所述连接件(13)的下端与活动槽滑动连接，所述连接件(13)的上端开设有凹槽(14)，所述缓冲板(11)开设有矩形槽，所述凹槽(14)与缓冲板(11)卡接，所述缓冲板(11)开设有分水孔。2.根据权利要求1所述的一种基于半导体清洗的快排阀门，其特征在于，所述活动槽内部设置有限位杆(17)，所述限位杆(17)与连接件(13)的下端活动穿插，所述限位杆(17)的外部套有弹簧(18)，所述弹簧(18)的一端与过滤件(12)内壁固定连接，所述弹簧(18)的另一端与连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：阙进林，李永祥，
申请(专利权)人：苏州亚信华电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：