一种耐高温多弧离子真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种耐高温多弧离子真空镀膜机，包括减震底座，所述减震底座的四角均焊接有支撑机构，所述减震底座的顶部焊接有安装板，所述安装板顶部的右侧通过螺栓连接有镀膜机构，所述镀膜机构的顶部通过螺栓连接有驱动机构，所述减震底座底部的四角均通过螺栓连接有行走轮。本实用新型专利技术通过支撑底板、固定板、支撑螺杆、抽真空设备、支撑柱、密封箱门、安装板、第一减震弹簧、镀膜架、减震箱体、连接板、耐高温层、加热板、镀膜箱、驱动电机、转杆、滑动块、滑杆、连接杆和第二减震弹簧的配合使用，具备减震效果更佳，避免内部零件出现松动，降低故障率，方便对多弧离子真空镀膜机进行位移的优点。优点。优点。

【技术实现步骤摘要】
一种耐高温多弧离子真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种耐高温多弧离子真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构
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迷走结构
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层状生长）形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
[0003]相对普通的离子镀镀膜机，多弧离子镀膜沉积速率快、效率高。采用数控的真空镀膜机加工质量稳定，减少劳动力，多弧离子真空镀膜机在工作工程中会产生幅度较大的震动，现有的多弧离子真空镀膜机减震效果不佳，这样长时间的震动内部的零件会出现松动，这样会导致多弧离子真空镀膜机出现故障，提高故障率，而且不方便对多弧离子真空镀膜机进行位移。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种耐高温多弧离子真空镀膜机，具备减震效果更佳，避免内部零件出现松动，降低故障率，方便对多弧离子真空镀膜机进行位移的优点，解决了现有的多弧离子真空镀膜机减震效果不佳，长时间的震动内部的零件会出现松动，会导致多弧离子真空镀膜机出现故障，提高故障率，不方便对多弧离子真空镀膜机进行位移的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种耐高温多弧离子真空镀膜机，包括减震底座，所述减震底座的四角均焊接有支撑机构，所述减震底座的顶部焊接有安装板，所述安装板顶部的右侧通过螺栓连接有镀膜机构，所述镀膜机构的顶部通过螺栓连接有驱动机构，所述镀膜箱顶部的左侧连通有抽真空设备，所述减震底座底部的四角均通过螺栓连接有行走轮。
[0006]优选的，所述减震底座包括减震箱体，所述减震箱体内腔四角的顶部和底部之间均焊接有支撑柱，左右两个支撑柱之间滑动套设有连接板，所述连接板的顶部贯穿至减震箱体的顶部并与安装板固定连接，所述连接板底部的左右两侧均通过螺栓连接有阻尼块，所述阻尼块的底部与减震箱体内腔的底部固定连接，所述支撑柱的表面套设有第一减震弹簧。
[0007]优选的，所述连接板底部的前后两侧和减震箱体内腔底部的前后两侧均通过螺栓连接有滑杆，所述滑杆的表面分别活动套设有第二减震弹簧和滑动块，上下两个滑动块之间通过销轴活动连接有连接杆，所述连接杆的数量为两个，且通过活动销互相交叉活动连
接。
[0008]优选的，所述支撑机构包括固定板，所述固定板的顶部贯穿螺纹连接有支撑螺杆，所述支撑螺杆的底部活动连接有支撑底板，所述支撑螺杆的顶部固定连接有转把。
[0009]优选的，所述镀膜机构包括镀膜箱，所述镀膜箱的内腔通过螺栓连接有耐高温层，所述镀膜箱内腔的左右和前后两侧分别通过螺栓连接有雾化喷头和加热板，所述镀膜箱的前侧通过铰链连接有密封箱门。
[0010]优选的，所述驱动机构包括驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有转杆，所述转杆的底部贯穿至镀膜机构的内腔并与镀膜机构内腔的底部通过轴承活动连接，所述转杆的表面通过螺栓连接有镀膜架。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0012]本技术通过支撑底板、固定板、支撑螺杆、抽真空设备、支撑柱、密封箱门、安装板、第一减震弹簧、镀膜架、减震箱体、连接板、耐高温层、加热板、镀膜箱、驱动电机、转杆、滑动块、滑杆、连接杆和第二减震弹簧的配合使用，具备减震效果更佳，避免内部零件出现松动，降低故障率，方便对多弧离子真空镀膜机进行位移的优点，值得推广。
附图说明
[0013]图1为本技术结构的轴测图；
[0014]图2为本技术减震底座的主视剖视图；
[0015]图3为本技术镀膜机构和驱动机构的主视剖视图；
[0016]图4为本技术图2中A的放大图。
[0017]图中：1减震底座、2行走轮、3支撑机构、4支撑底板、5固定板、6支撑螺杆、7抽真空设备、8支撑柱、9驱动机构、10镀膜机构、11密封箱门、12安装板、13第一减震弹簧、14镀膜架、15减震箱体、16连接板、17阻尼块、18耐高温层、19雾化喷头、20加热板、21镀膜箱、22驱动电机、23转杆、24滑动块、25滑杆、26连接杆、27第二减震弹簧。
具体实施方式
[0018]请参阅图1
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图4，一种耐高温多弧离子真空镀膜机，包括减震底座1，减震底座1的四角均焊接有支撑机构3，减震底座1的顶部焊接有安装板12，安装板12顶部的右侧通过螺栓连接有镀膜机构10，镀膜机构10的顶部通过螺栓连接有驱动机构9，镀膜箱10顶部的左侧连通有抽真空设备7，减震底座1底部的四角均通过螺栓连接有行走轮2；
[0019]减震底座1包括减震箱体15，减震箱体15内腔四角的顶部和底部之间均焊接有支撑柱8，左右两个支撑柱8之间滑动套设有连接板16，连接板16的顶部贯穿至减震箱体15的顶部并与安装板12固定连接，连接板16底部的左右两侧均通过螺栓连接有阻尼块17，阻尼块17的底部与减震箱体15内腔的底部固定连接，支撑柱8的表面套设有第一减震弹簧13；
[0020]连接板16底部的前后两侧和减震箱体15内腔底部的前后两侧均通过螺栓连接有滑杆25，滑杆25的表面分别活动套设有第二减震弹簧27和滑动块24，上下两个滑动块24之间通过销轴活动连接有连接杆26，连接杆26的数量为两个，且通过活动销互相交叉活动连接；
[0021]支撑机构3包括固定板5，固定板5的顶部贯穿螺纹连接有支撑螺杆6，支撑螺杆6的
底部活动连接有支撑底板4，支撑螺杆6的顶部固定连接有转把；
[0022]镀膜机构10包括镀膜箱21，镀膜箱21的内腔通过螺栓连接有耐高温层18，镀膜箱21内腔的左右和前后两侧分别通过螺栓连接有雾化喷头19和加热板20，镀膜箱21的前侧通过铰链连接有密封箱门11；
[0023]驱动机构9包括驱动电机22，驱动电机22的输出端固定连接有转杆23，转杆23的底部贯穿至镀膜机构10的内腔并与镀膜机构10内腔的底部通过轴承活动连接，转杆23的表面通过螺栓连接有镀膜架14。
[0024]通过设置阻尼块17，能够避免本多弧离子真空镀膜机出现多余的震动，减震效果更佳；
[0025]通过设置耐高温层18，能够提高本多弧离子真空镀膜机的耐高温性能，耐高温层18为碳化物涂层；
[0026]通过设置转把，能够方便转动支撑螺杆6。
[0027]使用时，推动本装置移动至合适的工作位置后，分别顺时针转动四角的支撑螺杆6，支撑螺杆6推动支撑底板4下移与地面接触，这样即可对减震底座1进行定位支撑，然后打开密封箱门11，把需要镀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种耐高温多弧离子真空镀膜机，包括减震底座（1），其特征在于：所述减震底座（1）的四角均焊接有支撑机构（3），所述减震底座（1）的顶部焊接有安装板（12），所述安装板（12）顶部的右侧通过螺栓连接有镀膜机构（10），所述镀膜机构（10）的顶部通过螺栓连接有驱动机构（9），所述镀膜机构（10）顶部的左侧连通有抽真空设备（7），所述减震底座（1）底部的四角均通过螺栓连接有行走轮（2）。2.根据权利要求1所述的一种耐高温多弧离子真空镀膜机，其特征在于：所述减震底座（1）包括减震箱体（15），所述减震箱体（15）内腔四角的顶部和底部之间均焊接有支撑柱（8），左右两个支撑柱（8）之间滑动套设有连接板（16），所述连接板（16）的顶部贯穿至减震箱体（15）的顶部并与安装板（12）固定连接，所述连接板（16）底部的左右两侧均通过螺栓连接有阻尼块（17），所述阻尼块（17）的底部与减震箱体（15）内腔的底部固定连接，所述支撑柱（8）的表面套设有第一减震弹簧（13）。3.根据权利要求2所述的一种耐高温多弧离子真空镀膜机，其特征在于：所述连接板（16）底部的前后两侧和减震箱体（15）内腔底部的前后两侧均通过螺栓连接有滑杆（25），所述滑杆（25）的表...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄子豪，
申请(专利权)人：黄子豪，
类型：新型
国别省市：