本实用新型专利技术提供了一种微调工具及微调装置，涉及测试设备技术领域，本实用新型专利技术提供的微调工具包括底座、第一滑移座、第二滑移座和顶升机构；第一滑移座与底座沿第一方向滑动配合，底座包括第一调节件以及移动并配合第一调节件锁定第一滑移座位置的第一顶紧件；第二滑移座与第一滑移座沿第二方向滑动配合，第一滑移座包括第二调节件以及移动并配合第二调节件锁定第二滑移座位置的第二顶紧件；顶升机构安装于第二滑移座，顶升机构的顶升方向和第一方向及第二方向均相垂直。本实用新型专利技术提供的微调工具在顶升方向上调节便捷，且不需要在机械臂内部设计微调结构，减小了机械臂结构的设计成本及复杂程度。成本及复杂程度。成本及复杂程度。
【技术实现步骤摘要】
微调工具及微调装置
[0001]本技术涉及测试设备
，尤其是涉及一种微调工具及微调装置。
技术介绍
[0002]半导体自动化测试(ATE)领域中，随着芯片的设计测试需求逐渐增加，要求测试设备更加高效率、高精度检测，导致测试设备体积一般比较大。测试设备和配套搬运对接的机械臂配合使用时，为了使得机械臂上的测试设备能够对准芯片，需要在机械臂上设计微调结构，这便增加了机械臂结构的设计成本及复杂程度，而对接微调动作是低频又必不可少的操作，这便造成机械臂的制造成本很高。
[0003]因此，如何提供一种能够降低机械臂结构设计复杂程度，且能够对测试设备进行空间上微调的微调工具是本领域技术人员需解决的技术问题之一。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种微调工具及微调装置，其调节便捷，且不需要在机械臂内部设计微调结构，减小了机械臂结构的设计成本及复杂程度。
[0005]为实现上述目的，本技术提供以下技术方案：
[0006]第一方面，本技术提供一种微调工具，包括底座、第一滑移座、第二滑移座和顶升机构；
[0007]所述第一滑移座与所述底座沿第一方向滑动配合，所述底座包括用于调整所述第一滑移座位置的第一调节件以及移动并配合所述第一调节件锁定所述第一滑移座位置的第一顶紧件；
[0008]所述第二滑移座与所述第一滑移座沿第二方向滑动配合，所述第一滑移座包括用于调整所述第二滑移座位置的第二调节件以及移动并配合所述第二调节件锁定所述第二滑移座位置的第二顶紧件；
[0009]所述顶升机构安装于所述第二滑移座，所述顶升机构的顶升方向与所述第一方向及所述第二方向均相垂直。
[0010]进一步地，所述第一调节件和所述第一顶紧件位于所述第一滑移座的同侧或分别位于所述第一滑移座的两侧；
[0011]和/或，所述第二调节件和所述第二顶紧件位于所述第二滑移座的同侧或分别位于所述第二滑移座的两侧。
[0012]进一步地，所述底座包括底板组件和第一导向组件；
[0013]所述第一导向组件安装于所述底板组件，所述第一导向组件与所述第一滑移座沿所述第一方向滑动配合。
[0014]进一步地，所述底板组件包括底板和第一固定块，所述第一固定块安装于所述底板面向所述第一滑移座的一侧，所述第一固定块开设有第一通孔和第一连接孔，所述第一调节件贯穿所述第一通孔并与所述第一滑移座螺纹连接，所述第一顶紧件贯穿所述第一连
接孔并与所述第一连接孔螺纹配合，所述第一顶紧件用于与所述第一滑移座相抵；
[0015]所述第一导向组件安装于所述底板面向所述第一固定块的一侧。
[0016]进一步地，所述第一滑移座包括下滑移座和第二导向组件；
[0017]所述下滑移座面向所述底座的一侧与所述底座沿第一方向滑动配合；
[0018]所述下滑移座背离所述底座的一侧安装有所述第二导向组件，所述第二导向组件与所述第二滑移座沿所述第二方向滑动配合。
[0019]进一步地，所述下滑移座包括下滑移板、第二固定块和第三固定块；
[0020]所述下滑移板面向所述底座的一侧与所述底座沿第一方向滑动配合；
[0021]所述下滑移板背离所述底座的一侧安装有所述第二导向组件、所述第二固定块和所述第三固定块，所述第二固定块和所述第三固定块相对设置；
[0022]其中，所述第二固定块开设有第二连接孔，所述第二调节件贯穿所述第二连接孔并与所述第二连接孔螺纹配合，所述第三固定块开设有第三连接孔，所述第二顶紧件贯穿所述第三连接孔并与所述第三连接孔螺纹配合；
[0023]其中，所述第二调节件和所述第二顶紧件的端部用于与所述第二滑移座相抵；或者，所述第二调节件和所述第二顶紧件的端部用于与所述第二滑移座螺纹连接。
[0024]进一步地，所述第二滑移座包括上滑移座，所述上滑移座面向所述第一滑移座的一侧与所述第一滑移座沿第二方向滑动配合，所述上滑移座背离所述第一滑移座的一侧安装有所述顶升机构。
[0025]进一步地，所述顶升机构为千斤顶。
[0026]第二方面，本技术还提供一种微调装置，包括至少三个上述方案所述的微调工具，各个所述微调工具水平间隔分布，以各个所述微调工具为不同支撑点，各个所述支撑点依次连线呈多边形结构。
[0027]进一步地，还包括紧贴任意一个所述微调工具设置的矫正结构。
[0028]本技术提供的微调工具及微调装置能产生如下有益效果：
[0029]在使用上述微调工具时，可通过第一调节件调节第一滑移座沿第一方向的位置，调整完毕后通过第一顶紧件配合第一调节件锁定第一滑移座的位置；也可以通过第二调节件调节第二滑移座沿第二方向的位置，调整完毕后通过第二顶紧件配合第二调节件锁定第二滑移座的位置；还可以通过顶升机构沿自身顶升方向调整高度，在顶升方向上的调节更加的便捷。
[0030]本技术第一方面提供的微调工具可以配合机械臂使用，对机械臂的水平位置以及高度位置进行调整，从而实现测试机在空间位置上的微调，对准对接设备。调整完毕后，机械臂通过底部的伸缩支脚进行支撑，保持在调整完毕的位置，随后撤出微调工具即可。相对于现有技术来说，上述微调工具在顶升方向上调节便捷，且不需要在机械臂内部设计微调结构，不受到机械臂内部结构限制，减小了机械臂结构的设计成本及复杂程度，调节完毕后，微调工具可撤出对其他机械臂的位置进行微调。
[0031]本技术第二方面提供的微调装置包括有至少三个微调工具，各个微调工具水平间隔分布，以微调工具为不同支撑点，各个支撑点依次连线呈多边形结构。相对于现有技术来说，各个微调工具能够在机械臂的底面形成一支撑面，通过自身的微调，来调整机械臂的位置，极大程度减少了机械臂结构的设计成本及复杂程度。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0033]图1为本技术实施例提供的一种微调工具在第一视角下的三维结构示意图；
[0034]图2为本技术实施例提供的一种微调工具在第二视角下的三维结构示意图；
[0035]图3为本技术实施例提供的一种底座的三维结构示意图；
[0036]图4为本技术实施例提供的一种底座局部结构的三维结构示意图；
[0037]图5为本技术实施例提供的一种第一滑移座在第一视角下的三维结构示意图；
[0038]图6为本技术实施例提供的一种第一滑移座在第二视角下的三维结构示意图；
[0039]图7为本技术实施例提供的一种第二滑移座与顶升机构配合时的三维结构示意图；
[0040]图8为本技术实施例提供的一种微调装置在使本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微调工具，其特征在于，包括底座(1)、第一滑移座(2)、第二滑移座(3)和顶升机构(4)；所述第一滑移座(2)与所述底座(1)沿第一方向滑动配合，所述底座(1)包括用于调整所述第一滑移座(2)位置的第一调节件(11)以及移动并配合所述第一调节件(11)锁定所述第一滑移座(2)位置的第一顶紧件(12)；所述第二滑移座(3)与所述第一滑移座(2)沿第二方向滑动配合，所述第一滑移座(2)包括用于调整所述第二滑移座(3)位置的第二调节件(21)以及移动并配合所述第二调节件(21)锁定所述第二滑移座(3)位置的第二顶紧件(22)；所述顶升机构(4)安装于所述第二滑移座(3)，所述顶升机构(4)的顶升方向与所述第一方向及所述第二方向均相垂直。2.根据权利要求1所述的微调工具，其特征在于，所述第一调节件(11)和所述第一顶紧件(12)位于所述第一滑移座(2)的同侧或分别位于所述第一滑移座(2)的两侧；和/或，所述第二调节件(21)和所述第二顶紧件(22)位于所述第二滑移座(3)的同侧或分别位于所述第二滑移座(3)的两侧。3.根据权利要求1所述的微调工具，其特征在于，所述底座(1)包括底板组件(13)和第一导向组件(14)；所述第一导向组件(14)安装于所述底板组件(13)，所述第一导向组件(14)与所述第一滑移座(2)沿所述第一方向滑动配合。4.根据权利要求3所述的微调工具，其特征在于，所述底板组件(13)包括底板(131)和第一固定块(132)，所述第一固定块(132)安装于所述底板(131)面向所述第一滑移座(2)的一侧；所述第一固定块(132)开设有第一通孔(1321)和第一连接孔(1322)，所述第一调节件(11)贯穿所述第一通孔(1321)并与所述第一滑移座(2)螺纹连接，所述第一顶紧件(12)贯穿所述第一连接孔(1322)并与所述第一连接孔(1322)螺纹配合，所述第一顶紧件(12)用于与所述第一滑移座(2)相抵；所述第一导向组件(14)安装于所述底板(131)面向所述第一固定块(132)的一侧。5.根据权利要求1所述的微调工具，其特征在于，所述第一滑移座(2...
【专利技术属性】
技术研发人员：程高飞，杨奎，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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