清洁装置制造方法及图纸

技术编号:39080727 阅读:3 留言:0更新日期:2023-10-17 10:44
本申请涉及一种清洁装置,包括:箱体及通气管道,箱体具有一侧设有开口的容置腔,容置腔用于放置石英舟,且容置腔的腔壁设有注液口;通气管道至少部分布设在容置腔内,通气管道上设有气孔,通气管道能够通过气孔向容置腔内通入气体。清洁作业时,将石英舟放在容置腔内,通过注液口向容置腔注入清洗药液进行浸泡清洗,同时向通气管道内通入气体,使气体进入容置腔对清洗药液进行扰动,使清洗药液充分与石英舟接触,提高清洗效果;清洗完成后,将清洗药液排出,再次通过通气管道向容置腔内通入气体以对石英舟进行风干。可见,该清洁装置能够在一个腔室内完成对石英舟的清洗及风干,且此过程无需对石英舟进行转移,因而避免了因转移造成的磕碰现象。造成的磕碰现象。造成的磕碰现象。

【技术实现步骤摘要】
清洁装置


[0001]本申请涉及太阳电池片清洗设备
,尤其是涉及一种清洁装置。

技术介绍

[0002]在太阳电池片的制备过程中,硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。其中,扩散工艺是制备过程中的一个核心工序,即硅片以石英舟为载体放入扩散炉中,在一定温度下,向扩散炉内通入氮气和扩散源,以使硅片的表面扩散沉积PN结。石英舟作为硅片扩散的载体,在扩散结束后,石英舟的表面也会产生沉积物,再次使用时容易污染新的硅片,最终导致电池片可能出现各种不良现象,因此需要定期对石英舟进行清洁作业。
[0003]为了去除石英舟上的沉积物,往往将石英舟置于流水线清洁系统中先进行长时间的浸泡及清洗后再转移至风干箱内进行风干,最终完成对石英舟的清洁作业。然而,上述操作过程较为复杂,且容易发生磕碰,造成石英舟损坏,进而容易导致太阳电池片生产成本过高。

技术实现思路

[0004]基于此,有必要针对上述问题,提供一种清洁装置,该装置能有效完成对石英舟清洁作业,同时能提高清洁过程中的安全性,避免石英舟出现损坏。
[0005]一种清洁装置,包括:箱体及通气管道,所述箱体具有一侧设有开口的容置腔,所述容置腔用于放置石英舟,且所述容置腔的腔壁设有注液口;所述通气管道至少部分布设在所述容置腔内,且所述通气管道上设有气孔,所述通气管道能够通过所述气孔向所述容置腔内通入气体。
[0006]在上述的清洁装置中,当需要对石英舟进行清洁作业时,可直接将石英舟通过开口放置在容置腔内,通过注液口向容置腔内注入清洗药液进行浸泡。由于容置腔内设有通气管道,且通气管道上设有气孔,通气管道能够通过气孔向容置腔内通入气体,因此,在对石英舟进行浸泡清洗时,可直接向通气管道内通入气体,气体通过气孔进入容置腔内对清洗药液进行扰动,使清洗药液能够充分与石英舟接触,从而提高清洗效果。待清洗完成后,将容置腔内的清洗药液排出,再次通过通气管道向容置腔内通入气体以对石英舟进行风干,最终完成对石英舟的清洁作业(清洗及风干)。可见,利用该清洁装置能够在一个腔室内完成对石英舟的清洁作业,且此过程无需对石英舟进行转移等操作,因而避免了因转移等操作造成的磕碰现象,有效降低了太阳电池片的生产成本。
[0007]下面进一步对技术方案进行说明:
[0008]在其中一个实施例中,所述清洁装置还包括加热器,所述加热器设置在所述通气管道上,且所述加热器能够用于改变所述通气管道内气体的温度。
[0009]在其中一个实施例中,所述通气管道包括支管及总管,所述支管设有多个且均位于所述容置腔内,各所述支管上均设有所述气孔,且各所述支管分别与所述总管相连通,所述加热器设置在所述总管上,且所述总管的进口用于与气泵连通。
[0010]在其中一个实施例中,所述的清洁装置还包括支撑件,所述支撑件设置在所述容置腔内且用于支撑所述石英舟。
[0011]在其中一个实施例中,各个所述支管沿所述支撑件的周向方向间隔设置在所述容置腔内,且各所述支管上的所述气孔均朝向于所述支撑件设置。
[0012]在其中一个实施例中,所述清洁装置还包括单向阀,所述单向阀设置在所述总管上,且沿所述总管内的进气方向,所述单向阀位于所述总管的进口与各所述支管之间,且所述单向阀用于阻止气体或液体从所述支管的气孔回流至所述总管的进口。
[0013]在其中一个实施例中,所述清洁装置还包括调压阀,所述调压阀设置在所述总管上且位于所述总管的进口处,所述调压阀用于调节通入所述总管内气体的压力。
[0014]在其中一个实施例中,所述注液口包括第一进口和第二进口,所述第一进口用于向所述容置腔内注入清洗药液,所述第二进口用于向所述容置腔内注入纯水。
[0015]在其中一个实施例中,所述容置腔的腔壁还设有排液口。
[0016]在其中一个实施例中,所述清洁装置还包括箱盖,所述箱盖可开合盖设在所述箱体的开口处。
附图说明
[0017]构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解,本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请,并不构成对本申请的不当限定。
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]此外,附图并不是1:1的比例绘制,并且各个元件的相对尺寸在附图中仅示例地绘制,而不一定按照真实比例绘制。在附图中:
[0020]图1为本申请一实施例中清洁装置的结构示意图。
[0021]图2为本申请一实施例中清洁装置另一视角的结构示意图。
[0022]附图标记说明:
[0023]10、清洁装置;110、箱体;111、容置腔;112、注液口;120、通气管道;121、支管;1211、气孔;122、总管;130、排液管;140、加热器;150、单向阀;160、调压阀;171、第一进液管;172、第二进液管;180、箱盖;20、石英舟。
具体实施方式
[0024]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进,因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
[0025]请参阅图1和图2,本申请一实施例提供一种清洁装置10,包括:箱体110及通气管道120。箱体110具有一侧设有开口的容置腔111,容置腔111用于放置石英舟20。且容置腔111的腔壁设有注液口112。通气管道120至少部分布设在容置腔111内,且通气管道120上设
有气孔1211。通气管道120能够通过气孔1211向容置腔111内通入气体。
[0026]在上述的清洁装置10中,当需要对石英舟20进行清洁作业时,可直接将石英舟20通过开口放置在容置腔111内,通过注液口112向容置腔111内注入清洗药液进行浸泡。由于容置腔111内设有通气管道120,且通气管道120上设有气孔1211,通气管道120能够通过气孔1211向容置腔111内通入气体,因此,在对石英舟20进行浸泡清洗时,可直接向通气管道120内通入气体,气体通过气孔1211进入容置腔111内对清洗药液进行扰动,使清洗药液能够充分与石英舟20接触,从而提高清洗效果。待清洗完成后,将容置腔111内的清洗药液排出,再次通过通气管道120向容置腔111内通入气体以对石英舟20进行风干,最终完成对石英舟20的清洁作业(清洗及风干)。可见,利用该清洁装置10能够在一个腔室内完成对石英舟20的清洁作业,且此过程无需对石英舟20进行转移等操作,因而避免了因转移等操作造成的磕碰现象,有效降低了太阳电池片的生产成本。
[0027]请参阅图2,在一实施例中,容置腔111的本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洁装置,其特征在于,包括:箱体(110)及通气管道(120),所述箱体(110)具有一侧设有开口的容置腔(111),所述容置腔(111)用于放置石英舟(20),且所述容置腔(111)的腔壁设有注液口(112);所述通气管道(120)至少部分布设在所述容置腔(111)内,且所述通气管道(120)上设有气孔(1211),所述通气管道(120)能够通过所述气孔(1211)向所述容置腔(111)内通入气体。2.根据权利要求1所述的清洁装置,其特征在于,所述清洁装置还包括加热器(140),所述加热器(140)设置在所述通气管道(120)上,且所述加热器(140)能够用于改变所述通气管道(120)内气体的温度。3.根据权利要求2所述的清洁装置,其特征在于,所述通气管道(120)包括支管(121)及总管(122),所述支管(121)设有多个且均位于所述容置腔(111)内,各所述支管(121)上均设有所述气孔(1211),且各所述支管(121)分别与所述总管(122)相连通,所述加热器(140)设置在所述总管(122)上,且所述总管(122)的进口用于与气泵连通。4.根据权利要求3所述的清洁装置,其特征在于,所述的清洁装置还包括支撑件,所述支撑件设置在所述容置腔(111)内且用于支撑所述石英舟(20)。5.根据权利要求4所述的清洁装置,其特征在于,各个所述支管(12...

【专利技术属性】
技术研发人员:熊苏钟健
申请(专利权)人:通威太阳能成都有限公司
类型:新型
国别省市:

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