清洗后用于放置大直径石英管的装置及其控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种清洗后用于放置大直径石英管的装置及其控制方法，所属硅片加工技术领域，包括石英管、石英管清洗机构和石英管干燥放置机构，石英管干燥放置机构包括干燥放置柜，干燥放置柜下部设有支撑旋转托盘架，支撑旋转托盘架包括旋转托盘，旋转托盘上端设有若干呈环形分布的单管干燥架，旋转托盘上设有总氮气管。单管干燥架包括加热托盘，加热托盘上设有漏液孔，加热托盘上端设有与石英管相插接式支撑的顶柱，加热托盘下端与旋转托盘间设有插柱，加热托盘两端设有与石英管相弹性压接的限位组件。利用物理重力原理达到水渍流尽，从而无法残留管内。利用物理重力原理达到水渍流尽，保持清洗后的干燥和洁净。保持清洗后的干燥和洁净。保持清洗后的干燥和洁净。

【技术实现步骤摘要】
清洗后用于放置大直径石英管的装置及其控制方法


[0001]本专利技术涉及硅片加工
，具体涉及一种清洗后用于放置大直径石英管的装置及其控制方法。

技术介绍

[0002]硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气、氧气和POCl3等气体，在高温下发生化学反应并扩散后在硅片 表面形成PN结。具体地说，先将硅片插在石英舟上，然后将石英舟放入高温扩散炉或扩散石英管，通入含有扩散源的气体，在高温条件下扩散 源与硅片发生反应，实现扩散过程从而形成PN结。
[0003]中国专利《一种石英管清洗装置》，申请号为：201820984734.1，公开了包括供水系统和清洗机体，所述的清洗机体的底部设置水槽，在水槽上方设置了若干的石英管清洗器，并且在石英管清洗器的上方设置了向下喷淋的顶喷头，所述的石英管清洗器包括向上方延伸出的清洗管和连接在清洗管上的清洗管喷头，所述的供水系统向石英管清洗器、顶喷头供给清洗水，待清洗的石英管口部朝下挂接在石英管清洗器的清洗管上。
[0004]石英管又叫炉芯管，目前使用的尺寸为直径500mm，长度1320mm。石英本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洗后用于放置大直径石英管的装置，其特征在于：包括石英管（7）、石英管清洗机构和石英管干燥放置机构，所述的石英管干燥放置机构包括干燥放置柜（13），所述的干燥放置柜（13）下部设有支撑旋转托盘架（15），所述的支撑旋转托盘架（15）包括旋转托盘（19），所述的旋转托盘（19）上端设有若干呈环形分布的单管干燥架，所述的旋转托盘（19）上设有总氮气管（22）；所述的单管干燥架包括加热托盘（21），所述的加热托盘（21）上设有漏液孔，所述的加热托盘（21）上端设有与石英管（7）相插接式支撑的顶柱（23），所述的加热托盘（21）下端与旋转托盘（19）间设有与加热托盘（21）呈一体化且与旋转托盘（19）相垂直式活动插嵌连接固定的插柱（29），所述的加热托盘（21）两端设有与石英管（7）相弹性压接的限位组件（20）。2.根据权利要求1所述的清洗后用于放置大直径石英管的装置，其特征在于：所述的限位组件（20）包括一对与加热托盘（21）两侧呈一体化焊接的限位座（24），所述的限位座（24）与石英管（7）间设有弹簧（26），所述的弹簧（26）与石英管（7）间设有与弹簧（26）相固定且与石英管（7）贴合压接的弧面压板（25）。3.根据权利要求2所述的清洗后用于放置大直径石英管的装置，其特征在于：所述的插柱（29）侧边设有与总氮气管（22）相连通的氮气加热器（28），所述的氮气加热器（28）与加热托盘（21）间设有与石英管（7）相连通的氮气管（27），所述的干燥放置柜（13）上端设有排气阀（14）。4.根据权利要求3所述的清洗后用于放置大直径石英管的装置，其特征在于：所述的旋转托盘（19）外侧与干燥放置柜（13）间设有与旋转托盘（19）相轴承式套接固定的沥水环槽（18），所述的旋转托盘（19）下端设有旋转电机（17），所述的旋转电机（17）与旋转托盘（19）间设有旋转轴（16）。5.根据权利要求4所述的清洗后用于放置大直径石英管的装置，其特征在于：所述的石英管清洗机构包括清洗槽体（5），所述的清洗槽体（5）下部设有用于搁置石英管（7）的格栅隔板（8），所述的清洗槽体（5）一侧上端设有延伸至清洗槽体（5）下部的进气管（4），所述的清洗槽体（5）另一侧上端设有延伸至清洗槽体（5）下部的温度检测控制器（6），所述的清洗槽体（5）下端设有排液阀（9）。6.根据权利要求5所述的清洗后用于放置大直径石英管的装置，其特征在于：所述的清洗槽体（...

【专利技术属性】
技术研发人员：王炳官，
申请(专利权)人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：