一种激光干涉仪用内部干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及干涉仪技术领域，尤其涉及一种激光干涉仪用内部干燥装置。一种激光干涉仪用内部干燥装置，包括有外壳，外壳设置有风扇，外壳内部设置有冷凝板，外壳与冷凝板之间留有间隙，冷凝板上侧设置有密封台，外壳位于冷凝板内侧设置有内壳，内壳与冷凝板之间留有间隙，固接且连通有散气管，冷凝板内部设置有冷凝通道，冷凝板内部设置有对冲腔，外壳设置有出气管，出气管设置有出气孔，出气管固接且连通有出气通道，外壳设置有与电磁阀和风扇电连接的湿度控制传感器。本发明专利技术通过冷凝通道的分叉口，使气体分为两股气体于对冲腔内对冲，气体带动水分扩散与对冲腔内壁接触冷凝成水珠，降低空气中的水分。低空气中的水分。低空气中的水分。

【技术实现步骤摘要】
一种激光干涉仪用内部干燥装置


[0001]本专利技术涉及干涉仪
，尤其涉及一种激光干涉仪用内部干燥装置。

技术介绍

[0002]激光干涉仪是一种高精度的测量工具，基于干涉原理来测量物体表面的形态、形变和振动等，干涉仪的工作原理是通过将一束激光分成两束，分别照射到测量物体的表面，然后将两束激光重叠在一起，形成干涉图案，根据干涉图案的变化来计算物体表面的形态和变形情况，激光干涉仪的应用非常广泛，包括机械工程、制造业、航空航天、地质勘探、医疗等领域，而激光干涉仪内部的光学元件都是高精度制造的光学元件，对潮湿变化比较敏感，在高湿度环境下，潮湿可能导致光学元件表面凸凹不平或污染，进而影响干涉检测的精度和稳定性，进而改变光路或其位置，因此为了确保激光干涉仪的精度和稳定性，必须确保其内部环境的干燥以此来保护光学元件。

技术实现思路

[0003]为了克服上述
技术介绍
中所提到的缺点，本专利技术提供了一种激光干涉仪用内部干燥装置来解决上述问题。
[0004]本专利技术的技术方案是：一种激光干涉仪用内部干燥装置，包括有外壳，外壳设置有风本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光干涉仪用内部干燥装置，其特征在于：包括有外壳（101），外壳（101）设置有风扇（102），外壳（101）内部设置有周向分布的冷凝板（103），外壳（101）与周向分布的冷凝板（103）之间留有间隙，周向分布的冷凝板（103）上侧设置有密封台（105），外壳（101）设置有位于冷凝板（103）内侧的内壳（104），内壳（104）与周向分布的冷凝板（103）之间留有间隙，且外壳（101）和冷凝板（103）之间间隙与内壳（104）和冷凝板（103）之间间隙由相邻冷凝板（103）之间间隙相互连通，内壳（104）设置有氮气罐（106），氮气罐（106）设置且连通有通气管（108），通气管（108）设置有电磁阀（107），通气管（108）固定连接且连通有周向分布的散气管（109），冷凝板（103）内部设置有冷凝通道（110），冷凝板（103）内部设置有对冲腔（111），对冲腔（111）与冷凝通道（110）连通，外壳（101）设置有出气管（112），出气管（112）设置有周向分布的出气孔（113），出气管（112）固定连接且连通有周向分布的出气通道（114），外壳（101）设置有与电磁阀（107）和风扇（102）电连接的湿度控制传感器（115）。2.根据权利要求书1所述的一种激光干涉仪用内部干燥装置，其特征在于：外壳（101）的中心轴线、周向分布的冷凝板（103）的阵列中心轴线和内壳（104）的中心轴线共线。3.根据权利要求书1所述的一种激光干涉仪用内部干燥装置，其特征在于：外壳（101）设置有周向分布的混合单向孔（116），混合单向孔（116）将氮气单向输送至风扇（102）与密封台（105）之间，使潮湿空气与氮气混合。4.根据权利要求书1所述的一种激光干涉仪用内部干燥装置，其特征在于：外壳（101）与周向分布的冷凝板（103）之间和内壳（104）与冷凝板（103）之间间隙处均设置有第一折流板（117）和对称...

【专利技术属性】
技术研发人员：敖宇，韩莉，
申请(专利权)人：泰州阿法光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：