【技术实现步骤摘要】
一种稀土掺杂光纤预制棒芯棒、制备方法及光纤
[0001]本专利技术属于光纤激光器
,特别涉及一种激光器用稀土掺杂光纤预制棒芯棒、制备方法及光纤。
技术介绍
[0002]稀土掺杂石英光纤在光纤激光器、光放大器中有重要应用,但稀土掺杂光纤制备技术难度大,产率低,导致光纤的成本居高不下。螯合物气相沉积工艺是一种制备稀土掺杂石英光纤的工艺。螯合物全气相沉积工艺,在制备稀土掺杂光纤预制棒时无法避免造成较高的背景损耗,损耗约10
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20dB/km。较高的背景损耗,在高功率激光器中会导致功耗增加,光纤发热,不利于高功率激光器的热管理系统。
[0003]P2O5具有低熔点(340℃)和低蒸发点(360℃)的特性;目前激光光纤预制棒在使用MCVD全气相高浓度P元素掺杂时,P元素在1700
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2200℃的高温下严重挥发,同时会带走部分共掺的稀土元素,造成折射率中心下陷和高质量激光性能下降。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题,本专利技术的目的在于提供一种稀土掺杂光纤预制 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种稀土掺杂光纤预制棒芯棒的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1,刻蚀:向沉积管内通入CF4和氧气,加热到2000℃,在沉积管内壁进行化学反应;S2,预热:设定沉积温度为1400
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1500℃,火焰灯通过PID控制模块达到设定的沉积温度后对沉积管进行预热处理,并稳定沉积管温度;S3,制备疏松体:在1400
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1500℃的温度条件下,向沉积管内通入SiCl4、稀土气体物料、AlCl3、氧气和氦气,沉积形成疏松体soot层;S4,氧化:在900℃的温度条件下通入过量氧气,进行氧化还原反应,生成氧化物;S5,掺磷:在1400
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1500℃的温度条件下,向沉积管内通入POCl3和氧气,并与氧化生成的Al2O3共同反应生产AlPO4和磷酸盐物质;S6,吹扫:在800℃的温度条件下通入过量氧气,保持5min;S7,烧结:在1900℃以上的温度条件下通入氧气和氯气,将疏松体soot层完全玻璃化成透明非晶态;S8,沉积:重复多次步骤S2
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S7,完成材料沉积;S9,塌缩:将沉积管加热到2200℃以上,并通入POCl3,重复多次缩成实心棒。2.根据权利要求1所述的一种稀土掺杂光纤预制棒芯棒的制备方法,其特征在于,所述稀土气体物料为Yb(thd)3和/或Ce(thd)4。3.根据权利要求1所述的一种稀土掺杂光纤预制棒芯棒的制备方法,其特征在于,步骤S1中,CF4的流量为300sccm,氧气的流量为500scc...
【专利技术属性】
技术研发人员:阎权,郝昌平,陈富铭,陈永良,陈昭,赵立果,郭洁,仝思琪,孙舒杨,陶东鑫,曹宇,刘振华,
申请(专利权)人:江苏亨通光电股份有限公司江苏亨通光导新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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