【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种短弧型水银灯，涉及一种良好地放射波长为300 350nm的紫外线的短弧型水银灯。
技术介绍
短弧型水银灯在半导体、液晶、滤色器等各种的曝光工程作为光 源被使用，而近年来，被要求曝光面积的大型化或高产能化。此外，以往主要使用g线(436nm) 、 h线(404nm) 、 i线(365nm) 的紫外线，但近年来，为了提高效率，被要求更短波长的紫外线，而 有利用300 350nm的紫外线的趋势。短弧型水银灯，通过使用氢氧燃烧器加热加工圆筒状石英玻璃， 而形成大约纺锤形状的灯的发光管。在其加热加工之际，水、氢气溶 解于石英玻璃中。灯点亮的期间，发光管的温度会成为500'C以上的高 温，而其溶解的氢气、水、进而氧气会作为不纯气体被放出至发光管 内，而对电弧的发光特性有不良影响。这种不纯气体中，氧气被认为会降低阴极性能而引起闪烁等。作 为吸收不纯气体的吸气剂包括在高温下作用的钽，公知有将钽线安装 于电极的短弧型水银灯。这种技术记载于日本特开2000-149872号。钽线可良好地吸收氧气，抑制因不纯气体产生的发光管的失透或 黑化，而一直到灯寿命末期为止可防...
【技术保护点】
一种短弧型水银灯，在石英玻璃制的发光管内封入稀有气体和水银，并具有一对电极，其特征在于， 在由钽或铌构成的密闭容器内，至少将钇、锆、钒的任一种和稀有气体一起封入， 上述容器被安装于上述电极上。
【技术特征摘要】
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