【技术实现步骤摘要】
一种晶圆预定位机构及晶圆测试设备
[0001]本申请涉及晶圆检测的
，尤其是涉及一种晶圆预定位机构及晶圆测试设备。
技术介绍
[0002]目前，在对晶圆进行检测前，需要对晶圆的姿态进行调整，而调整晶圆的姿态前，需要检测晶圆上预设的编号或缺口，并与预存标准位置进行对比，才能准确调整晶圆的姿态。
[0003]针对上述中的相关技术：在不同规格或设计的晶圆上，编号可能预设 在晶圆的正面，也可能预设在晶圆的反面，从而不便于对晶圆上的编号进 行检测，进而不便于对晶圆位置进行校准。
技术实现思路
[0004]为了便于对晶圆的位置进行校准，本申请提供一种晶圆预定位机构及晶圆测试设备。
[0005]第一方面，本申请提供的一种晶圆预定位机构，采用如下的技术方案：
[0006]一种晶圆预定位机构，包括：
[0007]基板，所述基板上贯穿开设有检测口；
[0008]驱动组件，设置在所述基板上；
[0009]定位件，与所述驱动组件连接，所述定位件用于固定晶圆，所述驱动组件用于驱动所述定...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆预定位机构，其特征在于，包括：基板（1），所述基板（1）上贯穿开设有检测口（13）；驱动组件（2），设置在所述基板（1）上；定位件，与所述驱动组件（2）连接，所述定位件用于固定晶圆，所述驱动组件（2）用于驱动所述定位件进行转动及升降；相机（4），至少设置有一个，所述相机（4）设置在所述基板（1）背离所述驱动组件（2）的一侧和/或设置在所述基板（1）靠近所述驱动组件（2）的一侧，所述相机（4）靠近所述检测口（13）设置，所述相机（4）用于对晶圆进行检测。2.根据权利要求1所述的晶圆预定位机构，其特征在于：所述基板（1）上还开设有通孔（12），所述定位件包括吸盘（3），所述吸盘（3）的一端与所述驱动组件（2）连接，所述吸盘（3）的另一端穿过所述通孔（12），所述吸盘（3）用于吸附晶圆。3.根据权利要求1所述的晶圆预定位机构，其特征在于：所述驱动组件（2）包括升降驱动件（21）、连接件（22）及旋转驱动件（23），所述升降驱动件（21）设置在所述基板（1）上，所述旋转驱动件（23）通过所述连接件（22）与所述升降驱动件（21）连接，所述定位件与所述旋转驱动件（23）的输出端连接，所述升降驱动件（21）用于驱动所述旋转驱动件（23）进行升降，所述旋转驱动件（23）用于驱动所述定位件进行旋转。4.根据权利要求3所述的晶圆预定位机构，其特征在于：所述基板（1）靠近所述升降驱动件（21）的一侧垂直设置有安装板（11），所述安装板（11）上沿垂直于所述基板（1）的方向开设有滑槽（111），所述连接件（22）的一端与所述升降驱动件（21）连接，所述连接件（22）的另一端穿过所述滑槽（111）并与所述旋转驱动件（23）连接，所述安装板（11）上沿所述滑槽（111）的开设方向设置有第一导轨（112），所述连接件（22）与所述第一导轨（112）滑动连接。5.根据权利要求1所述的晶圆预定位机构，其特征在于：还包括相机驱动件（6），所述相机驱动件（6...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘世文，钟金成，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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