一种石墨烯合成设备制造技术

本发明专利技术提供一种石墨烯合成设备，涉及石墨烯制备技术领域，包括底座，底座上设有切换机构，基座机构有四组，四组基座机构依次设于切换机构的中心盘上侧面，顶升机构、密封机构、取放机构和气源机构设于底座的上方；基座机构的升降座上升插入到密封机构的反应室中，碳源气体在升降座和反应室中反应，在升降座的基板面上形成石墨烯，密封环境反应，反应效率高；升降座脱离反应室时，同步使两块密封机构的密封板成为水平状态，且两块密封板相互接触，反应室和两块密封板构成一个密封的空间，防止反应室中气体溢出，并且防止温度损失，有助于节能。有助于节能。有助于节能。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨烯合成设备


[0001]本专利技术主要涉及石墨烯制备
，具体涉及一种石墨烯合成设备。

技术介绍

[0002]采用化学气相沉积方法的石墨烯薄膜合成设备，其工作原理是在金属基底上生长出高质量的单层或少层石墨烯，并对其进行转移至目标基底上，石墨烯的化学气相沉积方法通常涉及碳源、生长基体和生长条件三个方面，目前生长石墨烯的碳源主要是烃类气体，如甲烷气体等，便用的生长基体主要包括金属消或特定基体上的金属薄膜，而生长条件主要是要保持特定的生长温度。
[0003]现有技术中，公开号为CN204874726U的专利申请公开了化学气相沉积法制备石墨烯的高温炉设备，该设备通过滑动控制减少对样品的震动，提高了石墨烯的质量。但是该设备无法防止反应室内的气体溢出，不利于节能。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是提供一种石墨烯合成设备，用于合成石墨烯，在更换生长基体时，保护反应室的气体不溢出，温度不损失。
[0005]针对上述技术问题，本专利技术采用的技术方案为：一种石墨烯合成设备，包括底座，底座上设有切换机构，基座机构有四组，四组基座机构依次设于切换机构的中心盘上侧面，顶升机构、密封机构、取放机构和气源机构设于底座的上方；
[0006]进一步地，所述的顶升机构包括凸轮，凸轮固定设于拨杆盘的上方，凸轮的上表面驱动顶杆平移，顶杆滑动设于滑架上，滑架固定设于底座上，弹簧三的两端分别与顶杆和滑架固定连接。
[0007]进一步地，所述的切换机构包括电机，电机固定设于底座上，电机的转动轴上固定设有拨杆盘，拨杆盘拨动槽轮转动，槽轮转动设于底座上，中心盘固定设于槽轮的上方。
[0008]进一步地，所述的基座机构包括基础板，四个基座机构依次固定在中心盘的侧面，升降座滑动设于基础板上，弹簧一的两端分别与基础板和升降座固定连接，升降座的内部设有圆孔，内板滑动设于升降座的圆孔上，弹簧二的两端分别与升降座和内板固定连接。
[0009]进一步地，所述顶杆的上端部直径大于升降座圆孔直径。
[0010]进一步地，所述的密封机构包括反应室，反应室通过支架固定设于底座上，反应室内部设有加热板，密封板有两块，密封板对称转动设于反应室内部，摆杆固定设于密封板转轴两端，摆杆上设有滑槽，滑动杆的一端与摆杆的滑槽滑动连接，滑动杆滑动设于滑座上，滑座固定设于反应室的侧面，弹簧四的两端分别与滑动杆和滑座固定连接。
[0011]进一步地，所述的取放机构包括连杆，连杆的一端与顶杆固定连接，连杆的另一端与伸缩轴固定连接。
[0012]进一步地，所述伸缩轴的上端部直径小于升降座圆孔直径。
[0013]进一步地，所述的气源机构包括气体动力源，气体动力源固定设于底座上，导管的
两端分别与气体动力源和反应室连接。
[0014]本专利技术与现有技术相比的有益效果是：(1)本专利技术的升降座上升插入到反应室中，碳源气体在升降座和反应室中反应，在升降座的基板面上形成石墨烯，密封环境反应，反应效率高；(2)本专利技术的升降座脱离反应室时，同步使两块密封板成为水平状态，且两块密封板相互接触，反应室和两块密封板构成一个密封的空间，防止反应室中气体溢出，并且防止温度损失，有助于节能；(3)本专利技术的顶杆上升时，使内板同步上升，内板顶出第二工位的基板，使基板的基板面脱离升降座，便于人工取出基板，方便操作。
附图说明
[0015]图1为本专利技术整体结构示意图。
[0016]图2为本专利技术切换机构结构示意图。
[0017]图3为本专利技术顶升机构结构示意图。
[0018]图4为本专利技术顶升机构剖面结构示意图。
[0019]图5为本专利技术取放机构结构示意图。
[0020]图6为本专利技术密封板结构示意图。
[0021]图7为图6中A处局部放大图。
[0022]图8为本专利技术内板上升剖面结构示意图。
[0023]图9为本专利技术基板安装爆炸结构示意图。
[0024]附图编号：1
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底座；2
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切换机构；3
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基座机构；4
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顶升机构；5
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密封机构；6
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取放机构；7
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气源机构；8
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基板；201
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电机；202
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拨杆盘；203
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槽轮；204
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中心盘；301
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基础板；302
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升降座；303
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弹簧一；304
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内板；305
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弹簧二；401
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凸轮；402
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顶杆；403
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滑架；404
‑
弹簧三；501
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反应室；502
‑
加热板；503
‑
密封板；504
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摆杆；505
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滑动杆；506
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弹簧四；507
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滑座；601
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连杆；602
‑
伸缩轴；701
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气体动力源；702
‑
导管；801
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基板面；802
‑
定位钉。
具体实施方式
[0025]下面结合具体实施例对本专利技术作进一步描述，在此通过本专利技术的示意性实施例以及说明解释本专利技术，但并不作为对本专利技术的限定。
[0026]一种石墨烯合成设备，包括底座1，底座1上设有切换机构2，基座机构3有四组，四组基座机构3依次设于切换机构2的中心盘204上侧面，顶升机构4、密封机构5、取放机构6和气源机构7设于底座1的上方；切换机构2包括电机201，电机201固定设于底座1上，电机201的转动轴上固定设有拨杆盘202，拨杆盘202拨动槽轮203转动，槽轮203转动设于底座1上，中心盘204固定设于槽轮203的上方。
[0027]具体地，启动电机201转动，带动拨杆盘202转动，拨杆盘202转动一圈，拨动槽轮203转动九十度。
[0028]基座机构3包括基础板301，四个基座机构3依次固定在中心盘204的侧面，升降座302底部设有四根滑柱，升降座302的滑柱滑动设于基础板301上，弹簧一303的两端分别与基础板301和升降座302固定连接，升降座302的内部设有圆孔，内板304滑动设于升降座302的圆孔上，弹簧二305的两端分别与升降座302和内板304固定连接。
[0029]其中，在原始状态下，弹簧一303提供驱动力，使升降座302贴紧基础板301上方，弹
簧二305提供驱动力，使内板304的上端贴紧升降座302的凹槽，且升降座302的上表面和内板304的上表面平齐。
[0030]顶升机构4包括凸轮401，凸轮401固定设于拨杆盘202的上方，凸轮401的上表面驱动顶杆4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨烯合成设备，包括底座(1)，其特征在于：底座(1)上设有切换机构(2)，基座机构(3)有四组，四组基座机构(3)依次设于切换机构(2)的中心盘(204)上侧面，顶升机构(4)、密封机构(5)、取放机构(6)和气源机构(7)设于底座(1)的上方；所述的顶升机构(4)包括凸轮(401)，凸轮(401)固定设于拨杆盘(202)的上方，凸轮(401)的上表面驱动顶杆(402)平移，顶杆(402)滑动设于滑架(403)上，滑架(403)固定设于底座(1)上，弹簧三(404)的两端分别与顶杆(402)和滑架(403)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种石墨烯合成设备，其特征在于：所述的切换机构(2)包括电机(201)，电机(201)固定设于底座(1)上，电机(201)的转动轴上固定设有拨杆盘(202)，拨杆盘(202)拨动槽轮(203)转动，槽轮(203)转动设于底座(1)上，中心盘(204)固定设于槽轮(203)的上方。3.根据权利要求2所述的一种石墨烯合成设备，其特征在于：所述的基座机构(3)包括基础板(301)，四个基座机构(3)依次固定在中心盘(204)的侧面，升降座(302)滑动设于基础板(301)上，弹簧一(303)的两端分别与基础板(301)和升降座(302)固定连接，升降座(302)的内部设有圆孔，内板(304)滑动设于升降座(302)的圆孔上，弹簧二(305)的两端分别与升降座(302)...

【专利技术属性】
技术研发人员：李国栋，叶庆德，
申请(专利权)人：西安新三力复合材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：