一种扩散炉磷源供给系统技术方案

本发明专利技术公开了一种扩散炉磷源供给系统，关于太阳能电池制造技术领域，包括扩散炉磷源供给装置，所述扩散炉磷源供给装置包括液态磷源瓶，内部储存有液态三氯氧磷；氮气供给管路包括氮气主管、第一氮气支管和第二氮气支管，所述氮气主管能够为第一氮气支管和第二氮气支管提供氮气。本发明专利技术能够使氮气喷出的水平距离随着液面的降低而增加，以此来确保氮气与液态三氯氧磷的接触时间，使氮气能够携带足量的三氯氧磷，从而使磷源蒸汽中三氯含量稳定，进而保障磷源的均匀供给，通过加热箱加热氮气，利用热氮气与磷源蒸汽混合达到对磷源的预热，避免供给磷源引起扩散炉温度变化，提高电池片的扩散品质。扩散品质。扩散品质。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉磷源供给系统


[0001]本专利技术是关于太阳能电池制造
，特别是关于一种扩散炉磷源供给系统。

技术介绍

[0002]在晶体硅太阳能电池生产制造工艺中，扩散是核心工序。扩散通俗讲就是给太阳能电池片制造最核心的P
‑
N结，扩散工艺的好坏也直接影响电池片的使用效率。
[0003]晶体硅太阳能电池的扩散工艺一般是利用掺硼的P型硅作为基底材料，在800℃左右，通过扩散磷源中五价的磷原子形成N型的半导体，组成P
‑
N结的过程。扩散使用的设备是扩散炉，三氯氧磷是扩散的主要原材料。
[0004]在扩散工艺中，磷源的供给方式为：将氮气通入盛有液态三氯氧磷的石英源瓶中，通过氮气与液态三氯氧磷接触，使氮气携带三氯氧磷蒸汽到扩散炉管内。三氯氧磷与氧气反应生成单质磷，并在高温下趋入硅基体内形成N型半导体。
[0005]在实际生产过程中，随着扩散工艺的进行，石英源瓶中的液态三氯氧磷会逐渐减少，液面逐渐下降。液面下降就会导致氮气与液态三氯氧磷的接触时间逐渐减少，从而导致氮气中携带的三氯氧磷含量逐渐减少，造成磷源供给不均匀，另外，由于磷源温度较低，直接送入扩散炉中会引起扩散炉内部温度的变化，二者都会影响电池片的扩散品质；当石英源瓶中三氯氧磷液面低于30mm就需要更换石英源瓶，造成原材料的浪费，同时由于三氯氧磷为剧毒化学药品，在空气中会发生剧烈反应，后续处理起来极为困难，增加电池片的生产成本。
[0006]因此，针对上述技术问题，有必要提供一种扩散炉磷源供给系统。<br/>
技术实现思路

[0007]本专利技术的目的在于提供一种扩散炉磷源供给系统，其能够解决磷源供给不均匀，供给磷源引起扩散炉温度变化，影响电池片扩散品质和增加生产成本的问题。
[0008]为实现上述目的，本专利技术的实施例提供了一种扩散炉磷源供给系统，包括扩散炉磷源供给装置，所述扩散炉磷源供给装置包括：
[0009]液态磷源瓶，内部储存有液态三氯氧磷；
[0010]氮气供给管路，包括氮气主管、第一氮气支管和第二氮气支管，所述氮气主管能够为第一氮气支管和第二氮气支管提供氮气，所述第一氮气支管能够将部分氮气导入液态磷源瓶内部的液态三氯氧磷中，形成磷源蒸汽；
[0011]喷气组件，能够根据液态三氯氧磷的液位高度调整氮气喷出的水平行程，使液态三氯氧磷的液位高度降低后，通过增加氮气的水平行程来确保氮气与液态三氯氧磷的接触时间，以保障磷源蒸汽中三氯氧磷的含量；
[0012]氮气加热组件，包括加热箱，所述第二氮气支管能够将部分氮气导入加热箱内部进行加热，形成热氮气；
[0013]进气管，与扩散炉内部相连通，磷源蒸汽与热氮气在进气管内部相遇混合，形成热
的磷源蒸汽送入扩散炉，防止低温的磷源蒸汽对扩散炉温度造成影响。
[0014]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述液态磷源瓶内部的底端固定连接有分气盒，所述第一氮气支管的一端与分气盒固定连接，所述喷气组件固定安装在分气盒的一侧。
[0015]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述第一氮气支管上安装有单向阀。
[0016]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述所述第一氮气支管上安装有加药管。
[0017]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述加药管位于单向阀的下方。
[0018]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述进气管的一侧固定安装有磷源出气管，所述磷源出气管的一端插入液态磷源瓶内部的顶端，用于将磷源蒸汽导入进气管内部。
[0019]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述加热箱的内部固定连接有多组电热板，多组所述电热板用于对氮气加热。
[0020]在本专利技术的一个或多个实施方式中，多组所述电热板在加热箱内部呈上下交错排列。
[0021]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述加热箱内部的一侧安装有温度探头，所述温度探头用于监测热氮气的温度。
[0022]在本专利技术的一个或多个实施方式中，所述加热箱的底部固定连接有多组热氮出气管，多组所述热氮出气管能够将热氮气均匀注入进气管内部。
[0023]与现有技术相比，根据本专利技术实施方式具有以下技术效果：
[0024]本专利技术能够使氮气喷出的水平距离随着液面的降低而增加，以此来确保氮气与液态三氯氧磷的接触时间，使氮气能够携带足量的三氯氧磷，从而使磷源蒸汽中三氯含量稳定，进而保障磷源的均匀供给，通过加热箱加热氮气，利用热氮气与磷源蒸汽混合达到对磷源的预热，避免供给磷源引起扩散炉温度变化，提高电池片的扩散品质；
[0025]通过氮气喷出的水平距离增加，即使三氯氧磷液面较低，也能使氮气与三氯氧磷有足够的接触时间，从而更加充分的利用液态磷源瓶内部的三氯氧磷，减少三氯氧磷的剩余，降低后续处理的难度，节省电池片的生产成本。
附图说明
[0026]图1是根据本专利技术一实施方式的一种扩散炉磷源供给系统的系统框图；
[0027]图2是根据本专利技术一实施方式的扩散炉磷源供给装置结构示意图；
[0028]图3是根据本专利技术一实施方式的扩散炉磷源供给装置使用状态剖面图一；
[0029]图4是根据本专利技术一实施方式的扩散炉磷源供给装置使用状态剖面图二；
[0030]图5是根据本专利技术一实施方式的扩散炉磷源供给装置加热箱剖面结构示意图；
[0031]图6是根据本专利技术一实施方式的扩散炉磷源供给装置分气盒结构示意图；
[0032]图7是根据本专利技术一实施方式的扩散炉磷源供给装置液态磷源瓶俯视剖面示意图；
[0033]图8是根据本专利技术一实施方式的扩散炉磷源供给装置液态磷源瓶使用状态剖面图三。
[0034]主要附图标记说明：
[0035]1、液态磷源瓶；2、氮气主管；3、第一氮气支管；4、第二氮气支管；5、加热箱；501、电热板；502、温度探头；6、进气管；7、磷源出气管；8、热氮出气管；9、单向阀；10、加药管；11、分
气盒；12、喷气组件；1201、第一喷气管；1202、第二喷气管；1203、第三喷气管；1204、第四喷气管；1205、第五喷气管。
具体实施方式
[0036]下面结合附图，对本专利技术的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本专利技术的保护范围并不受具体实施方式的限制。
[0037]除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分。
[0038]如图1至图8所示，根据本专利技术优选实施方式的一种扩散炉磷源供给系统，包括扩散炉磷源供给装置，扩散炉磷源供给装置包括液态磷源瓶1，液态磷源瓶1内部储存有液态三氯氧磷。液态磷源瓶1采用石英玻璃材质，耐腐蚀，化学性质稳定，用来储存液态三氯氧磷更为安全可靠。
[0039]参图2和图3所示，氮气供给管路包括氮气主管2、第一氮气支管3和第二氮气支管4，氮气主管2能够为第一氮气支管3和第二氮气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉磷源供给系统，其特征在于，包括扩散炉磷源供给装置，所述扩散炉磷源供给装置包括：液态磷源瓶，内部储存有液态三氯氧磷；氮气供给管路，包括氮气主管、第一氮气支管和第二氮气支管，所述氮气主管能够为第一氮气支管和第二氮气支管提供氮气，所述第一氮气支管能够将部分氮气导入液态磷源瓶内部的液态三氯氧磷中，形成磷源蒸汽；喷气组件，能够根据液态三氯氧磷的液位高度调整氮气喷出的水平行程，使液态三氯氧磷的液位高度降低后，通过增加氮气的水平行程来确保氮气与液态三氯氧磷的接触时间，以保障磷源蒸汽中三氯氧磷的含量；氮气加热组件，包括加热箱，所述第二氮气支管能够将部分氮气导入加热箱内部进行加热，形成热氮气；进气管，与扩散炉内部相连通，磷源蒸汽与热氮气在进气管内部相遇混合，形成热的磷源蒸汽送入扩散炉，防止低温的磷源蒸汽对扩散炉温度造成影响。2.如权利要求1所述的一种扩散炉磷源供给系统，其特征在于，所述液态磷源瓶内部的底端固定连接有分气盒，所述第一氮气支管的一端与分气盒固定连接，所述喷气组件固定安装在分气盒的一侧。3.如权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：程亮亮，李枫，
申请(专利权)人：徐州中辉光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：