本发明专利技术公开了一种冷却板水管连接装置及冷却板水管连接方法，冷却板水管连接装置包括进水管和返水管；进水管具有第一端和第二端，第一端和第二端分别设置为进水口和出水口；返水管具端部一和端部二，端部一和端部二分别设置为返水口和排水口；出水口与冷却板上的入水口连接，返水口与冷却板上的回水口连接；进水口和排水口上分别连接进水软管和返水软管；第一端与冷却板移动方向平行，端部二与冷却板移动方向平行；本发明专利技术通过冷却板水管连接装置的使用，实现水流铜管与水流管道的转接，使得水流管道呈水平状态，消除水流管道受到的扭矩了，延长水流管道和冷却板设备的使用寿命。延长水流管道和冷却板设备的使用寿命。延长水流管道和冷却板设备的使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
一种冷却板水管连接装置及冷却板水管连接方法
[0001]本专利技术属于晶圆冷却设备
，更具体地说涉及一种冷却板水管连接装置及冷却板水管连接方法。
技术介绍
[0002]在涂胶显影机工作流程中，涂胶、显影等步骤后，需要对晶圆进行加热操作，而晶圆在加热后，需要冷却至一定温度后才能进行后续加工，不然会使晶圆及覆盖在其上材料的性能发生影响，导致良品率降低。
[0003]现有技术中，对晶圆进行冷却工作是通过将晶圆贴近冷却板(TCP,Transition
‑
chill
‑
plate)，利用热辐射进行降温，冷却板内部设置有水流铜管，通过水流带走晶圆的多余热量。现有技术中，冷却板中内的水流铜管的进出口(入水口、回水口)与外部的水流管道(进水软管和返水软管)垂直，水流管道与冷却板内部的水流铜管的进出口直接连接，这样，水流管道整体呈竖向设置，水流管道受到的扭转力较大。工作时，水流管道随冷却板平移运动，导致水流管道与冷却板内水流铜管接口处扭转力变化，从而导致水流管道容易破裂，特别是与水流铜管连接位置极易破裂，缩减了设备的使用周期，提高使用和维护成本。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种冷却板水管连接装置及冷却板水管连接方法，解决
技术介绍
中提出的水流管道与冷却板内水流铜管连接后呈竖向设置，水流管道受到扭转力导致变形和问题，通过冷却板水管连接装置的使用，实现水流铜管与水流管道的转接，使得水流管道呈水平状态，消除水流管道受到的扭矩了，延长水流管道和冷却板设备的使用寿命。
[0005]本专利技术技术方案一种冷却板水管连接装置，包括与冷却板固接且随冷却板同步同向移动的进水管和返水管；所述进水管具有第一端和第二端，所述第一端和所述第二端分别设置为进水口和出水口；所述返水管具端部一和端部二，所述端部一和所述端部二分别设置为返水口和排水口；所述出水口与冷却板上的入水口连接，所述返水口与所述冷却板上的回水口连接；所述进水口和所述排水口上分别连接进水软管和返水软管；
[0006]所述第一端与冷却板移动方向平行，所述进水口与进水软管连接位置水流方向与冷却板移动方向平行；所述端部二与冷却板移动方向平行，所述排水口与返水软管连接位置水流方向与冷却板移动方向平行。
[0007]优选的，所述第一端和所述端部二均呈水平状态设置，所述进水软管与所述进水口连接位置水流方向为水平方向，所述返水软管与所述排水口连接位置水流方向为水平方向。
[0008]优选的，所述出水口与所述返水口之间距离与冷却板上入水口和回水口之间距离相适应，且所述出水口与所述返水口与冷却板上入水口和回水口一一对应设置。
[0009]优选的，所述进水管外部均包覆有隔热层，所述隔热层由隔热材料制成，所述隔离材料选用隔热涂料、反射涂料和保温材料中任一种。
[0010]优选的，冷却板水管连接装置还包括与冷却板相对固定的安装基体，所述进水管和所述返水管均与所述安装基体固定，所述第一端和所述端部二均与所述安装基体移动方向平行。
[0011]优选的，所述安装基体为一安装盒体，所述安装盒体具体一容置腔，所述进水管和所述返水管均固定于所述容置腔内，所述第二端和所述端部一相近且均由所述安装盒体延伸出并均向上延伸，且呈竖向设置；所述第一端和所述端部二由所述安装盒体上垂直于所述安装盒体移动方向侧面延伸出，且与所述安装盒体移动方向平行。
[0012]优选的，所述第二端和所述端部一呈竖直状态由所述安装盒体的顶面延伸出。
[0013]优选的，所述安装盒体上设置有若干散热孔。
[0014]优选的，所述安装盒体包括连通的第一盒体和第二盒体，所述第二盒体连接于所述第一盒体底部；沿所述安装盒体移动方向，所述第二盒体靠近所述第一盒体一端设置，所述散热孔设置在所述第一盒体的底面上；所述第二端和所述端部一呈竖直状态由所述第一盒体的顶面延伸出；沿所述安装盒体移动方向，所述第一端和所述端部二由所述第二盒体上垂直于所述安装盒体移动方向的侧面延伸出，且由靠近所述第一盒体底面的侧面延伸出。
[0015]一种冷却板水管连接方法，采用前述的冷却板水管连接装置实现冷却板与进水软管和返水软管连接；
[0016]所述冷却板安装在一工作平台上，所述工作平台上设置有避让槽，所述冷却板水管连接装置与所述冷却板固定连接且置于所述避让槽内，所述避让槽长度与所述冷却板水管连接装置移动距离相适应；
[0017]所述进水软管和所述返水软管均置于所述工作平台上，且所述进水软管和所述返水软管均呈水平状态设置，所述进水软管和所述返水软管内水流方向均为水平方向，
[0018]所述进水软管和所述返水软管均包括依次设置的第一段、第二段和第三段，所述第一段为直管与所述冷却板水管连接装置连接，所述第三段为直管与换热器连接，所述第二段呈半圆弧状，且两端分别与所述第一段和所述第二段光滑连接；所述第一段与所述第三段之间距离与所述第二段直径相适应；
[0019]所述冷却板水管连接装置与靠近所述第二段的工作平台侧边沿之间的最小距离与第二段半径相适应。
[0020]本专利技术技术方案一种冷却板水管连接装置的有益效果是：冷却板水管连接装置结构简单，与冷却板相对固定，实现冷却板内水流铜管与进水软管和返水软管的转接，改变现有技术中冷却板内水流铜管与进水软管和返水软管连接后，进水软管和返水软管呈竖向状态造成进水软管和返水软管受到扭矩力的问题，避免进水软管和返水软管受到扭矩了破损，从而延长进水软管和返水软管的使用周期，降低进水软管和返水软管的使用成本和维护成本。
[0021]本专利技术技术方案一种冷却板水管连接方法的有益效果是：通过冷却板水管连接装置实现水流通过与进水软管和返水软管的转接，且确保转接后的进水软管和返水软管呈水平状态，并落在工作平台上后，不仅实现了进水软管和返水软管与水流铜管转接位置不受到扭矩力，也使得整体的进水软管和返水软管在工作中基本不受扭矩力，延长进水软管和返水软管的使用周期。
附图说明
[0022]图1为本专利技术技术方案一种冷却板水管连接装置的结构示意图。
[0023]图2为本专利技术技术方案一种冷却板水管连接装置的轴测图。
[0024]图3为本专利技术技术方案一种冷却板水管连接装置的内部结构示意图。
[0025]图4为图3的主视图。
[0026]图5为图3的俯视图。
[0027]图6为本专利技术技术方案一种冷却板水管连接装置的另一实施例结构简图。
[0028]图7为本专利技术技术方案一种冷却板水管连接装置的再一实施例结构简图。
[0029]图8为按照本专利技术技术方案一种冷却板水管连接方法连接的冷却板水管连接装置安装示意图。
[0030]图9为图8的主视图。
[0031]图10为图8的俯视图。
具体实施方式
[0032]为便于本领域技术人员理解本专利技术技术方案，现结合具体实施例和说明书附图对本专利技术技术方案作进一步的说明。
[0033]如图8所示，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种冷却板水管连接装置，其特征在于，包括与冷却板固接且随冷却板同步同向移动的进水管和返水管；所述进水管具有第一端和第二端，所述第一端和所述第二端分别设置为进水口和出水口；所述返水管具端部一和端部二，所述端部一和所述端部二分别设置为返水口和排水口；所述出水口与冷却板上的入水口连接，所述返水口与所述冷却板上的回水口连接；所述进水口和所述排水口上分别连接进水软管和返水软管；所述第一端与冷却板移动方向平行，所述进水口与进水软管连接位置水流方向与冷却板移动方向平行；所述端部二与冷却板移动方向平行，所述排水口与返水软管连接位置水流方向与冷却板移动方向平行。2.根据权利要求1所述的冷却板水管连接装置，其特征在于，所述第一端和所述端部二均呈水平状态设置，所述进水软管与所述进水口连接位置水流方向为水平方向，所述返水软管与所述排水口连接位置水流方向为水平方向。3.根据权利要求1所述的冷却板水管连接装置，其特征在于，所述出水口与所述返水口之间距离与冷却板上入水口和回水口之间距离相适应，且所述出水口与所述返水口与冷却板上入水口和回水口一一对应设置。4.根据权利要求1所述的冷却板水管连接装置，其特征在于，所述进水管外部均包覆有隔热层，所述隔热层由隔热材料制成，所述隔离材料选用隔热涂料、反射涂料和保温材料中任一种。5.根据权利要求1所述的冷却板水管连接装置，其特征在于，还包括与冷却板相对固定的安装基体，所述进水管和所述返水管均与所述安装基体固定，所述第一端和所述端部二均与所述安装基体移动方向平行。6.根据权利要求5所述的冷却板水管连接装置，其特征在于，所述安装基体为一安装盒体，所述安装盒体具体一容置腔，所述进水管和所述返水管均固定于所述容置腔内，所述第二端和所述端部一相近...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡虹，魏祥红，邵东，
申请(专利权)人：合肥开悦半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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