真空镀膜设备的电控柜及真空镀膜系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜设备的电控柜及真空镀膜系统，真空镀膜设备的面板嵌入无尘室内，真空镀膜设备的其余部分位于无尘室外，包括：第一电控柜，第一电控柜内配置有强电器件，第一电控柜位于无尘室外且与真空镀膜设备的电源相连；第二电控柜，第二电控柜内配置有弱电器件，第二电控柜的正面设置有操作面板，第二电控柜的正面嵌入无尘室内，第二电控柜的边沿与无尘室的墙壁密封连接，第二电控柜连接真空镀膜设备。第一电控柜安装强电器件，第二电控柜安装弱电器件，实现了强弱电的分离，可以节约无尘室的空间，并且维修时产生的杂物和粉尘不会进入无尘室，保证了无尘室的密封性。封性。封性。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜设备的电控柜及真空镀膜系统


[0001]本技术涉及真空镀膜领域，特别涉及一种真空镀膜设备的电控柜及真空镀膜系统。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。当产品需在无尘室内生产时，若把设备完全放置在无尘室会有以下问题：(1)占用无尘室空间大，成本提高、(2)设备运行时产生的噪音影响无尘室环境、(3)安装和维护设备时通常要用到金属切割物，产生的铁屑和其它废料影响真空室环境。目前解决此类问题的方法是把设备放置在无尘室外，腔体大门放置在无尘室内，其边缘密封。然而这就导致现有真空镀膜设备中的电控柜存在以下问题：
[0003]一、电控柜上配置有操作面板，工人人员需要在无尘室内通过操作面板控制设备的运行，但如果将电控柜放置在无尘室内，一是电控柜内部器件在安装检修时会产生杂物和粉尘，污染无尘室的环境、二是电控柜与设备的接线需穿过无尘室，不利于无尘室的密封、三是占用无尘室空间。
[0004]二、强弱电分离，真空镀膜设备的高压电源对弱电的影响非常大，对通讯和模拟量线路的干扰会影响数据的传输。现有真空镀膜设备的电控柜将强弱电器件都放在一个电控柜里，没有实现强弱电分离，虽然强弱电器件可以放在不同的底板上，在柜内的干扰不大。但在给外部设备接线时，容易产生强弱电线路交叉，存在干扰，外部桥架的走线布局也十分不便。

技术实现思路

[0005]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种真空镀膜设备的电控柜及真空镀膜系统，能够解决现有真空镀膜设备的电控柜存在的污染无尘室环境、占用无尘室空间大、没有实现强弱电分离的问题。
[0006]根据本技术第一方面实施例的真空镀膜设备的电控柜，真空镀膜设备的面板嵌入无尘室内，真空镀膜设备的其余部分位于无尘室外，包括：第一电控柜，所述第一电控柜内配置有强电器件，所述第一电控柜位于无尘室外且与所述真空镀膜设备的电源相连；第二电控柜，所述第二电控柜内配置有弱电器件，所述第二电控柜的正面设置有操作面板，所述第二电控柜的正面嵌入所述无尘室内，所述第二电控柜的边沿与所述无尘室的墙壁密封连接，所述第二电控柜连接所述真空镀膜设备的控制端。
[0007]根据本技术第一方面实施例的真空镀膜设备的电控柜，至少具有如下有益效果：
[0008]本技术将电控柜分成第一电控柜和第二电控柜，第一电控柜安装强电器件，第二电控柜安装弱电器件，实现了强弱电的分离，第一电控柜和第二电控柜分开走线，使强
弱电线路之间不会产生干扰，提高运行的可靠性。此外第二电控柜只将带操作面板的正面嵌入无尘室，其余部分位于无尘室外，工作人员在无尘室内通过操作面板即可控制真空镀膜设备的启停和运行，可以很好的节约无尘室的空间，并且维修时拆开第二电控柜在无尘室外的面板即可，产生的杂物和粉尘不会进入无尘室，第一电控柜、第二电控柜和真空镀膜设备之间的走线也都在无尘室外布置，不会穿过无尘室，保证了无尘室的密封性和真空镀膜生产时的可靠性。
[0009]根据本技术的一些实施例，所述第二电控柜位于无尘室外的外壁上设置有航空插座，所述第二电控柜通过航空插座连接所述真空镀膜设备的控制端。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述第一电控柜固定在所述真空镀膜设备的钢架末端。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述第二电控柜的正面还设置有显示器和键盘托盘。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述第二电控柜的底部设置有滚轮和可升降的固定座。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述第二电控柜的底部正面设置有挡板以用于遮挡第二电控柜的下沿至地面的区域。
[0014]根据本技术的一些实施例，所述第二电控柜的侧壁设置有可拆卸的面板。
[0015]根据本技术的一些实施例，所述第二电控柜的侧壁设置有滤网。
[0016]根据本技术的一些实施例，所述第二电控柜的侧壁设置有风扇。
[0017]根据本技术第二方面实施例的真空镀膜系统，包括无尘室、维护室、真空镀膜系统和上述的电控柜，所述维护室与所述无尘室相邻，所述无尘室的墙壁上设置有第一开口和第二开口，所述真空镀膜设备的设备门通过所述第一开口嵌入所述无尘室内，所述真空镀膜设备的其余部分和所述第一电控柜皆位于所述维护室内，所述第二电控柜的正面通过所述第二开口嵌入所述无尘室内。
[0018]根据本技术第一方面实施例的真空镀膜设备的电控柜，至少具有如下有益效果：
[0019]本技术将电控柜分成第一电控柜和第二电控柜，第一电控柜安装强电器件，第二电控柜安装弱电器件，实现了强弱电的分离，第一电控柜和第二电控柜分开走线，使强弱电线路之间不会产生干扰，提高运行的可靠性。此外第二电控柜只将带操作面板的正面嵌入无尘室，其余部分位于无尘室外，工作人员在无尘室内通过操作面板即可控制真空镀膜设备的启停和运行，可以很好的节约无尘室的空间，并且维修时拆开第二电控柜在无尘室外的面板即可，产生的杂物和粉尘不会进入无尘室，第一电控柜、第二电控柜和真空镀膜设备之间的走线也都在无尘室外布置，不会穿过无尘室，保证了无尘室的密封性和真空镀膜生产时的可靠性。
[0020]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0021]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中：
[0022]图1为本技术实施例中真空镀膜设备、第一电控柜、第二电控柜的安装位置示意图；
[0023]图2为本技术实施例中第二电控柜的正视图；
[0024]图3为本技术实施例中第二电控柜的后视图；
[0025]图4为本技术实施例中第二电控柜的左视图；
[0026]图5为本技术实施例中第二电控柜的右视图；
[0027]图6为本技术实施例中第一电控柜的正视图；
[0028]图7为本技术实施例中第一电控柜和真空镀膜设备的俯视图。
[0029]附图标号：
[0030]第一电控柜100、滤网开孔110、风扇开孔120、第二电控柜200、面板201、柜门202、操作面板210、航空插座220、显示器230、键盘托盘240、滚轮250、固定座260、挡板270、滤网281、风扇282、三色报警灯290、真空镀膜设备300、钢架310。
具体实施方式
[0031]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0032]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下等指示的方位或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备的电控柜，真空镀膜设备(300)的设备门嵌入无尘室内，真空镀膜设备(300)的其余部分位于无尘室外，其特征在于，包括：第一电控柜(100)，所述第一电控柜(100)内配置有强电器件，所述第一电控柜(100)位于无尘室外且与所述真空镀膜设备(300)的电源相连；第二电控柜(200)，所述第二电控柜(200)内配置有弱电器件，所述第二电控柜(200)的正面设置有操作面板(210)，所述第二电控柜(200)的正面嵌入所述无尘室内，所述第二电控柜(200)的边沿与所述无尘室的墙壁密封连接，所述第二电控柜(200)连接所述真空镀膜设备(300)的控制端。2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的电控柜，其特征在于，所述第二电控柜(200)位于无尘室外的外壁上设置有航空插座(220)，所述第二电控柜(200)通过航空插座(220)连接所述真空镀膜设备(300)的控制端。3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的电控柜，其特征在于，所述第一电控柜(100)固定在所述真空镀膜设备(300)的钢架(310)末端。4.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的电控柜，其特征在于，所述第二电控柜(200)的正面还设置有显示器(230)和键盘...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨诗锋，彭中业，未钊，周婷婷，
申请(专利权)人：中山凯旋真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：