传感器装置和传感器布置结构制造方法及图纸

在至少一个实施方式中，传感器装置(1)包括：构造成发射初级辐射(P)的光源(2)；

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】传感器装置和传感器布置结构
[0001]提供了传感器装置。此外，还提供了包括这种传感器装置的传感器布置结构。
[0002]待实现的目的是提供对液体或气体成分具有高灵敏度的紧凑型传感器装置。
[0003]该目的尤其是通过独立权利要求中限定的传感器装置和传感器布置结构来实现的。进一步优选的发展方案构成了从属权利要求的主题。
[0004]特别地，传感器装置包括借助于镜子照射检测器的光源，其中，金属纳米颗粒被施加到传感器膜上，或者光源直接位于传感器膜上方。检测器构造成测量由于金属纳米颗粒上的分子粘附而引起的光谱变化，其中，在传输构型中测量来自光源并在金属纳米颗粒处散射的光。
[0005]因此，不需要具有棱镜和透镜的大型光学器件，并且传感器装置的小型化是可能的，从而不需要台面解决方案。因此，不存在棱镜不对准的风险，并且该传感器装置特别具有成本效益。此外，作为传感器膜的金层可以由金纳米颗粒——简称GNP——代替，从而可以避免与典型的硅处理技术不兼容的技术、如物理气相沉积——简称PVD。
[0006]在至少一个实施方式中，传感器装置包括：构造成发射初级本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种传感器装置(1)，包括：
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光源(2)，所述光源(2)构造成发射初级辐射(P)，
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检测器(3)，所述检测器(3)包括多个检测器单元(31)，
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反射光学元件(4)，所述反射光学元件(4)在光学上布置在所述光源(2)与所述检测器(3)之间，以及
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传感器膜(5)，所述传感器膜(5)包括金属纳米颗粒(51)、在几何上位于所述反射光学元件(4)与所述检测器(3)之间，其中，
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所述传感器膜(5)构造成暴露于液体或气体(7)，并且
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所述检测器(3)构造成检测在暴露于所述液体或气体(7)时由所述传感器膜(5)引起的所述初级辐射(P)中的光谱变化，
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所述反射光学元件(4)是抛物线型镜，所述反射光学元件(4)是所述光源(2)与所述检测器(3)之间的光束路径中唯一的反射光学器件，并且
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所述检测器(3)构造成检测由所述金属纳米颗粒(51)散射的次级辐射。2.根据前一权利要求所述的传感器装置(1)，其中，来自所述光源(2)的初级辐射(P)仅在所述反射光学元件(4)处反射时到达所述检测器(3)，使得到达所述检测器(3)的辐射的至少99％已经在所述反射光学元件(4)处被反射。3.根据前述权利要求中的任一项所述的传感器装置(1)，其中，所有所述传感器膜(5)在几何上位于所述反射光学元件(4)与所述检测器(3)之间。4.根据前述权利要求中的任一项所述的传感器装置(1)，其中，从所述传感器膜的俯视图来看，所述光源(2)直接位于所述传感器膜(5)上方，并且所述光源(2)的主发射方向直接指向所述传感器膜。5.根据前述权利要求中的任一项所述的传感器装置(1)，其中，所述检测器单元(31)中的至少一些检测器单元被分配给不同种类的金属纳米颗粒(51)，所述不同种类的金属纳米颗粒(51)包括不同的受体外壳(52)，使得所述检测器(3)对所述液体或气体(7)的至少一种成分敏感。6.根据前述权利要求中的任一项所述的传感器装置(1)，还包括分配给所述检测器单元(31)的光谱过滤器(32)，其中，所述光谱过滤器(32)各自具有光谱传输窗(34)，所述光谱传输窗(34)的半峰全宽为至多10nm。7.根据前一权利要求所述的传感器装置(1)，其中，所述传输窗...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷姆科，
申请(专利权)人：艾迈斯传感器德国有限责任公司，
类型：发明
国别省市：