导向治具及晶圆料盒制造技术

本申请公开了一种导向治具及晶圆料盒，包括：壳体，壳体一端敞口，且壳体具有放置晶圆的容纳腔，容纳腔相对的侧壁上对应开设有支撑槽，支撑槽用于支撑晶圆；导向槽，导向槽位于壳体相对的两侧，且自支撑槽靠近壳体敞口的一端向壳体外部延伸设置，并与支撑槽连通，用于晶圆进出支撑槽。本申请的导向治具避免了在放置晶圆时容易倾斜或碰撞，造成的晶圆破损或损伤的问题，有效提高了晶圆良品率，同时解决了后续研磨作业扫描报警的问题，提高了生产效率。提高了生产效率。提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
导向治具及晶圆料盒


[0001]本技术一般涉及半导体设备
，具体涉及一种导向治具及晶圆料盒。

技术介绍

[0002]目前，常将晶圆固定在晶圆的导向治具上，导向治具提供工作人员或者夹持机构持握的部位，从而在工作人员或者夹持机构移动单片晶圆时，不需要直接接触晶圆而避免对晶圆表面造成磨损。在实际生产加工中，在正面贴胶工序结束后，工作人员需要从导向治具中拿取晶圆检查，检查完毕后需要放回导向治具中，现有的12寸导向治具槽位间距宽度偏窄，人员在取放晶圆时容易斜插或碰撞，导致产品表面刮伤或者破裂，并且若斜插时未发现并送至研磨工序作业，研磨机作业前扫描报警影响作业效率。

技术实现思路

[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种导向治具及晶圆料盒，结构简单，易于加工，能够避免晶圆斜插或碰撞，从而减少晶圆斜插造成的破损和/或刮伤问题，有利于有效提高生产效率。
[0004]第一方面，本技术提供一种导向治具，包括：
[0005]壳体，壳体一端敞口，且壳体具有放置晶圆的容纳腔，容纳腔相对的侧壁上对应开设有支撑槽，支撑槽用于支撑晶圆；
[0006]导向槽，导向槽位于壳体相对的两侧，且自支撑槽靠近壳体敞口的一端向壳体外部延伸设置并与支撑槽连通，用于晶圆进出支撑槽。
[0007]作为优选的方案，导向槽的长度为90mm
‑
110mm，位于容纳腔两侧的导向槽之间的最大距离为300mm
‑
310mm，位于容纳腔两侧的导向槽之间的最小距离为230mm
>‑
238mm。
[0008]作为优选的方案，支撑槽为多个，多个支撑槽沿着容纳腔的高度方向依次间隔排列，对应地，导向槽为多个，多个导向槽沿着容纳腔的高度方向与支撑槽对应设置。
[0009]作为优选的方案，壳体靠近敞口端相对的两侧壁上分别间隔设置有多个层板，多个层板沿着壳体的高度方向相互平行设置，每两相邻层板之间形成导向槽。
[0010]作为优选的方案，层板的厚度为20mm
‑
30mm，相邻两个层板的层间距为18mm
‑
20mm。
[0011]作为优选的方案，壳体每一侧的导向槽的数目为13个。
[0012]作为优选的方案，壳体敞口的一端上还设置有限位组件，限位组件包括第一板、第二板、第三板和第四板，第一板和第二板相互平行设置，第三板和第四板相互平行且固定在第一板的端部和第二板的端部之间，层板分别固定在第一板和第二板上、且位于第三板和第四板之间。
[0013]作为优选的方案，第一板和第二板上分别设置有第一把手和第二把手。
[0014]作为优选的方案，第三板和第四板上分别设置有第三把手和第四把手。
[0015]作为优选的方案，限位组件位于壳体底部的区域上设置有垫块，垫块对称布设在壳体两侧。
[0016]第二方面，本技术提供一种晶圆料盒，包括第一方面的导向治具。
[0017]本技术的有益效果如下：
[0018]本技术的导向治具及晶圆料盒，其中导向治具的导向槽有利于方便取放晶圆，避免了现有的治具在放置晶圆时容易倾斜或碰撞，造成的晶圆破损或损伤的问题，有效提高了晶圆良品率，同时解决了后续研磨作业扫描报警的问题，提高了生产效率。
附图说明
[0019]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0020]图1为本技术的一种导向治具的结构示意图；
[0021]图2为本技术的一种导向治具的结构示意图(去除壳体)。
[0022]图中，
[0023]100.导向治具；
[0024]11.壳体，12.晶圆，13.容纳腔，14.支撑槽，15.导向槽，16.层板，17.限位组件，171.第一板，172.第二板，173.第三板，174.第四板，175.垫块，18.第一把手，19.第二把手，20.第三把手。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术，而非对该技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与技术相关的部分。
[0026]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0027]需要说明的是，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
[0028]需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0029]第一方面，本申请提供了一种导向治具，该导向治具能够配套适用于晶圆料盒，方便取放晶圆，便于晶圆的转移搬运；其中，导向槽有效避免了在放置晶圆时容易倾斜或碰撞，造成的晶圆破损或损伤的问题，有效提高了晶圆良品率，同时解决了后续研磨作业扫描报警的问题，提高了生产效率。
[0030]如图1和图2所示，本申请的实施例提供一种导向治具100，包括：
[0031]壳体11，壳体11一端敞口，且壳体11具有放置晶圆12的容纳腔13，容纳腔13相对的侧壁上对应开设有支撑槽14，支撑槽14用于支撑晶圆12；
[0032]导向槽15，导向槽15位于壳体11相对的两侧，且自支撑槽14靠近壳体11敞口的一
端向壳体11外部延伸设置并与支撑槽14连通，用于晶圆12进出支撑槽14。
[0033]可以理解的是，壳体11作为整个导向治具的防护罩，用于容纳和安装其他部件。为了便于晶圆12的取放，壳体11的一端敞口，敞口与容纳腔13连通，敞口供晶圆12进出容纳腔13。
[0034]支撑槽14用于晶圆12活动取放并承托晶圆12，在晶圆12插装于支撑槽14内部时，支撑槽14的槽壁支撑晶圆12，从而实现晶圆12存放在容纳腔13内；还可以理解的是，为了实现晶圆12的稳定承托，支撑槽14对应设置在容纳腔13的相对的两侧壁，对应位置位于两侧壁上的支撑槽14处于同一水平面且槽口相对，共同配合承托同一个晶圆12。
[0035]还可以理解的是，为了方便晶圆12进出容纳腔13，壳体11敞口一端设置有导向槽15，同样地，导向槽15对应设置在壳体11相对的两侧壁，对应位置位于两侧壁上的导向槽15处于同一水平面且槽口相对，共同配合承托同一个晶圆12；导向槽15与支撑槽14连通，方便晶圆12从导向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.导向治具，其特征在于，包括：壳体，所述壳体一端敞口，且所述壳体具有放置晶圆的容纳腔，所述容纳腔相对的侧壁上对应开设有支撑槽，所述支撑槽用于支撑所述晶圆；导向槽，所述导向槽位于所述壳体相对的两侧，且自所述支撑槽靠近所述壳体敞口的一端向所述壳体外部延伸设置，并与所述支撑槽连通，用于晶圆进出所述支撑槽；所述导向槽的长度为90mm
‑
110mm，位于所述容纳腔两侧的所述导向槽之间的最大距离为300mm
‑
310mm，位于所述容纳腔两侧的所述导向槽之间的最小距离为230mm
‑
238mm。2.根据权利要求1所述的导向治具，其特征在于，所述支撑槽为多个，多个所述支撑槽沿着所述容纳腔的高度方向依次间隔排列，对应地，所述导向槽为多个，多个所述导向槽沿着所述容纳腔的高度方向与所述支撑槽对应设置。3.根据权利要求1所述的导向治具，其特征在于，所述壳体靠近敞口端相对的两侧壁上分别间隔设置有多个层板，多个层板沿着所述壳体的高度方向相互平行设置，每两相邻所述层板之间形成所述导向槽。4.根据权利要求3所述的导向治具，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂伟，林育全，连锦滨，陈志远，
申请(专利权)人：厦门通富微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：