用于LiDAR信号过滤的微快门阵列制造技术

本说明书实施例提供一种微快门阵列及光信号过滤方法。所述微快门阵列用于过滤多个时间点的一系列光信号。每个时间点的光信号包括激光束。所述微快门阵列包括排列成阵列的多个微快门元件和驱动器。所述驱动器被配置为在每个时间点于指定位置依次打开所述微快门元件的子集，以允许相应的激光束在该时间点通过所述微快门阵列。述微快门阵列。述微快门阵列。

【技术实现步骤摘要】
用于LiDAR信号过滤的微快门阵列
优先权声明
[0001]本申请要求2022年03月21日提交的题为“用于LiDAR信号过滤的微快门阵列”的美国申请No.17/699,615的优先权，其全部内容通过引用合并与此。


[0002]本说明书涉及光探测和测距(LiDAR)系统，更具体地，涉及在LiDAR系统的接收器中使用的微快门阵列，所述微快门阵列用于过滤从环境中返回的激光束。

技术介绍

[0003]在扫描式LiDAR系统中，双轴架构具有一些优点，例如，更简单的光学器件、对扫描仪有更小的限制以及不受扫描仪尺寸限制的更大孔径。双轴架构的优势之一是接收光学器件的视场(FOV)可以非常大以覆盖远场中的所有扫描点。然而，如果LiDAR系统的接收光学器件做得很大，那么在实际应用中，很多环境光，例如来自远场物体反射的直接或间接太阳光的光，也可能同时被接收光学器件收集。接收光学器件的FOV越大，接收到的环境光越多，这意味着后端处理的噪声越大，因此探测精度越低。因此，在现有的双轴扫描LiDAR系统中，影响探测范围的接收光学器件的FOV和影响探测精度的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于过滤多个时间点的一系列光信号的微快门阵列，其特征在于，每个时间点的光信号包括激光束，所述微快门阵列包括：排列成阵列的多个微快门元件；以及驱动器，其被配置为在每个时间点于指定位置，依次打开微快门元件的子集，以允许相应的激光束在该时间点通过所述微快门阵列。2.根据权利要求1所述的微快门阵列，其特征在于，所述多个微快门元件被排列成包括多行的二维阵列。3.根据权利要求2所述的微快门阵列，其特征在于，所述驱动器被配置为逐行依次打开所述微快门元件。4.根据权利要求3所述的微快门阵列，其特征在于，所述驱动器被配置为以Z字形图案依次打开所述微快门元件。5.根据权利要求1所述的微快门阵列，其特征在于，每个微快门元件包括涂有反光镜的遮光单元。6.根据权利要求5所述的微快门阵列，其特征在于，所述每个时间点的光信号还包括环境光，所述微快门阵列的剩余微快门元件被配置为在每个时间点反射环境光。7.根据权利要求1所述的微快门阵列，其特征在于，所述驱动器是微机电系统(MEMS)驱动器。8.根据权利要求1所述的微快门阵列，其特征在于，所述驱动器被配置为将所述微快门元件的子集中的每个微快门元件横向拉开，以创建供所述激光束通过的路径。9.根据权利要求8所述的微快门阵列，其特征在于，所述驱动器包括多个静电梳状驱动器，每个静电梳状驱动器被配置为驱动所述微快门阵列中的微快门元件。10.根据权利要求1所述的微快门阵列，其特征在于，所述驱动器被配置为将所述微快门元件的子集中的每个微快门元件旋转出入射到所述激光束的平面，以允许所述激光束通过。11.一种光信号过滤方法，其特征在于，所述方法包括：在微快门阵列处接收多个时间点的一系列光信号，其中，每个时间点的光信号包括激光束，所述微快门阵列包括排列成阵列的多个微快门元件和被配置为驱动所述多个微快门元件的驱动器；以及由所述驱动器在每个时间点于指定位置，依次打开所述微快门元件的子集，以允许相应的激光束在该时间点通过所述微快门阵列。...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕越，王佑民，
申请(专利权)人：北京航迹科技有限公司，
类型：发明
国别省市：