一种多芯光纤端面磁场和温度解耦传感器及其制备方法技术

本发明专利技术属于光纤传感技术领域，具体为一种多芯光纤端面磁场和温度解耦传感器及其制备方法。本发明专利技术传感器包括：多芯光纤；位于多芯光纤端面的顶部带有空心结构的微悬臂梁，通过飞秒激光双光子聚合技术在光纤端面直接打印而成；填充在空心结构中的磁敏材料，使微悬臂梁具备磁敏性；位于多芯光纤端面的液体微腔，通过飞秒激光双光子聚合技术在光纤端面直接打印而成。本发明专利技术提出的多芯光纤端面磁场和温度解耦传感器，可以实现对磁场强度和温度的同时测量，具有超紧凑、高灵敏度和高可靠性的特点，在环境探测、电磁设备监控等领域具有应用前景。景。景。

【技术实现步骤摘要】
一种多芯光纤端面磁场和温度解耦传感器及其制备方法


[0001]本专利技术属于光纤传感
，具体涉及一种多芯光纤端面磁场和温度解耦传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]光纤传感器因其抗电磁干扰、耐腐蚀、小尺寸和廉价等优势而被广泛研究。其中，基于单芯光纤的传感器研究最为成熟，已被开发用于高温、气体、生物等领域的传感应用，其良好的生物相容性以及无电弧、高灵敏度的特点展示了光纤在生物和极端环境中传感的优秀潜力。然而，最常见的单芯光纤传感器主要被用于测量单一参量，很难实现复杂环境中对多参量的同时测量，并且环境中其他参量的变化往往会引入测量误差，造成传感器的准确度和精度受限。有部分研究通过在单芯光纤上制作如光纤光栅、干涉仪等多个传感元件来达到多参量传感的目的，并获得了一些传感参量补偿的效果，但这类制作多个传感元件的处理一般只能在光纤纤芯内进行，很容易引起多个传感元件之间的串扰，并会引入损耗，进而影响传感器的性能。还有部分研究利用光纤束进行分立的多参量测量，这导致传感器尺寸变大，并使传感系统变得复杂。
[0003]多芯光纤将若干分立的纤芯组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多芯光纤端面磁场和温度解耦传感器，其特征在于，包括：多芯光纤，单个共同的包层内含有多根纤芯；多芯光纤端面处的微悬臂梁结构，包括支撑块、微悬臂梁和空心结构；所述支撑块底部粘附于多芯光纤端面，支撑块上端支撑微悬臂梁结构；空心结构位于微悬臂梁上表面；磁敏材料，被填充至空心结构内；液体微腔，位于多芯光纤端面；所述微悬臂梁结构悬浮于某一纤芯上端，并遮挡从纤芯出射的光，纤芯端面和微悬臂梁作为两面反射镜形成空气法布里珀罗干涉仪；所述液体微腔位于某一纤芯端面，并遮挡从纤芯出射的光，纤芯端面和微腔顶部作为两面反射镜形成液体聚合物法布里珀罗干涉仪。2.根据权利要求1所述的多芯光纤端面磁场和温度解耦传感器，其特征在于，所述支撑块、微悬臂梁、空心结构和液体微腔由飞秒激光双光子聚合技术在光纤端面一次打印而成。3.根据权利要求1所述的多芯光纤端面磁场和温度解耦传感器，其特征在于，所述磁敏材料通过微操作平台被填充至空心结构内。4.根据权利要求2所述的多芯光纤端面磁场和温度解耦传感器，其特征在于，所述液体微腔在飞秒激光双光子聚合时仅固化微腔外轮廓，未固化的光刻胶封闭在微腔内。5.根据权利要求1所述的多芯光纤端面磁场和温度解耦传感器，其特征在于，所述多芯光纤的纤芯数为N，N≥2。6.根据权利要求1所述的多芯光纤端面磁场和温度解耦传感器，其特征在于，所述支撑块的形状为长方体、圆柱、圆台或棱柱，高度为5
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【专利技术属性】
技术研发人员：肖力敏，熊聪，王草源，顾桔，
申请(专利权)人：复旦大学义乌研究院，
类型：发明
国别省市：