废液分段浓度处理系统技术方案

本发明专利技术是有关于一种废液分段浓度处理系统，其针对无机废液进行分段浓度处理，不仅将高浓度废液及低浓度废液分段处理，且藉由高、低浓度处理单元，使其有效减少药剂的使用量，并自成一循环系统，使废液再生利用，而达到环保、节能、省成本的所需；本发明专利技术还利用一离子交换树脂或选用自然界材质沸石等吸附材料，因此具有使用期限长、无需定期更换、高效能吸附效果的特性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种废液处理系统，特别是涉及一种废液分段浓度处理系统。
技术介绍
例，蚀刻制程大都使用含腐蚀性的液体，且为了保持良好的清洗及蚀刻率，必需将 腐蚀性液体的浓度控制在固定浓度范围内，因此在制程中所产生的原料废液会含有大量氟 离子，而依环保法规定半导体制造业所排放的废水，氟离子浓度不得高于15ppm，才得以排 放。兹因离子态制程水溶液处理过程均有化学_碰撞理论_降解现象，请配合参阅图 1所示，是为习知氢氟酸废水加药反应示意图，由图中可清楚得知在处理较高浓度离子态制 水溶液时，所添加的反应药剂为常态比例，但当处理至固定低离子浓度时，处理药剂比例为 倍数增加，相当浪费药剂，且药剂价格相当昂贵，非常不符成本概念。由此可见，上述现有的废液处理系统在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷， 而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之 道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切结构能够解决上 述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新型的废液分段浓度处 理系统，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。有鉴于上述现有的废液处理系统存在的缺陷，本专利技术人基于从事此类产品设计制 造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种 新型的废液分段浓度处理系统，能够改进一般现有的废液处理系统，使其更具有实用性。经 过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本专利技术。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于，克服现有的废液处理系统存在的缺陷，而提供一种新型 的废液分段浓度处理系统，所要解决的技术问题是使其有效减少药剂使用量及可将废液回 收再利用，非常适于实用。本专利技术的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本专利技术提出 的一种废液分段浓度处理系统，是应用于高浓度废液处理，其处理步骤如下步骤A 将一 高浓度废液及要与废液反应的药剂一并导入一高浓度处理单元，藉由该药剂与该高浓度废 液沉淀反应，以降低废液浓度使其形成一低浓度废液；步骤B 将低浓度废液导引至一低浓 度处理单元进行吸附作业，以降低废液浓度，并产生一高浓度浓缩再生液；步骤C 将该高 浓度浓缩再生液利用一脱附单元脱附后使其提高废液浓度，再导引至该高浓度废液中并重 复A-C步骤。本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。前述的废液分段浓度处理系统，其中所述的低浓度处理单元是利用一离子交换树 脂吸附材料。前述的废液分段浓度处理系统，其中所述的低浓度处理单元是利用一沸石吸附材 料。本专利技术的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本专利技术提出的 一种废液分段浓度处理系统，是应用于大水量低浓度废液处理，其处理步骤如下步骤A 将低浓度废液导入该低浓度处理单元进行吸附作业，以降低废液浓度使其形成一低浓度废 液，并产生一高浓度浓缩再生液；步骤B 而该高浓度浓缩再生液则再利用一脱附单元脱附 后可提高其废液浓度，再导引至该高浓度废液中；步骤C 再将该高浓度废液及要与废液反 应的药剂一并导入该高浓度处理单元，藉由该药剂与该高浓度废液沉淀反应，以降低废液 浓度使其形成一低浓度废液，并重复A-C步骤。本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。前述的废液分段浓度处理系统，其中所述的低浓度处理单元是利用一离子交换树 脂吸附材料。前述的废液分段浓度处理系统，其中所述的低浓度处理单元是利用一沸石吸附材 料。本专利技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上可知，为达到上述目 的，本专利技术提供了一种废液分段浓度处理系统，是包括有一高浓度废液、一低浓度废液、一 高浓度处理单元、一低浓度处理单元、一脱附单元。该高浓度废液及要与废液反应的药剂一并导入一高浓度处理单元，藉由该药剂与 该高浓度废液沉淀反应，以降低废液浓度使其形成一低浓度废液，再将低浓度废液导引至 一低浓度处理单元，使其废液浓度降低至排放标准以下以进行放流或回收；除此经该低浓 度处理单元后会产生一高浓度浓缩再生液，将该高浓度浓缩再生液再利用一脱附单元脱附 后可提高其废液浓度，最后导引至该高浓度废液中并重复上述步骤，俾能达到废液再生利 用及减少药剂使用量的功效。借由上述技术方案，本专利技术废液分段浓度处理系统至少具有下列优点及有益效 果1、本专利技术将高浓度废液及大水量低浓度废液分段处理，有效减少化学药剂的使用量。2、本专利技术是可应用至目前流体化床处理及化学混凝处理流程，并藉由低浓度处理 单元40与高浓度废液10相互串接，将低浓度处理单元40后所产生的高浓度浓缩再生液导 引至该高浓度废液10中，再经该高浓度处理单元20处理再生利用，自成一循环系统可回收 再利用。3、本专利技术所串接的高浓度处理单元20及低浓度处理单元40数量可依实际处理废 液情形增减。4、本专利技术所采用的低浓度处理单元40是利用一离子交换树脂或选用自然界材质 沸石等吸附材料，因此具有使用期限长、无需定期更换、高效能吸附效果的特性。综上所述，本专利技术是有关于一种废液分段浓度处理系统，其针对无机废液进行分 段浓度处理，不仅将高浓度废液及低浓度废液分段处理，且藉由高、低浓度处理单元，使其 有效减少药剂的使用量，并自成一循环系统，使废液再生利用，而达到环保、节能、省成本的 所需本专利技术在技术上有显著的进步，并具有明显的积极效果，诚为一新颖、进步、实用的新设计。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段， 而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能够 更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。附图说明图1为现有习知氢氟酸废水加药降解曲线示意图。图2为本专利技术应用于高浓度废液分段浓度处理系统示意图。图3为本专利技术应用于流体化床的高浓度氟离子废液分段浓度处理系统示意图。图4为本专利技术应用于大水量较低浓度废液分段浓度处理系统示意图。图5为本专利技术应用于化学混凝沉淀的低浓度氟离子废液分段处理处理系统示意 图。具体实施例方式为更进一步阐述本专利技术为达成预定专利技术目的所采取的技术手段及功效，以下结合 附图及较佳实施例，对依据本专利技术提出的废液分段浓度处理系统其具体实施方式、结构、特 征及其功效，详细说明如后。有关本专利技术的前述及其他
技术实现思路
、特点及功效，在以下配合参考图式的较佳实 施例的详细说明中将可清楚的呈现。为了方便说明，在以下的实施例中，相同的元件以相同 的编号表示。本专利技术是针对无机废液进行分段浓度处理，不仅将高浓度废液及低浓度废液分开 分段处理，并藉由高、低浓度处理单元，使其有效减少药剂的使用量，并自成一循环系统，使 废液再生利用。首先，请参阅图2所示，为本专利技术应用于高浓度废液分段浓度处理系统示意图，其 包括由一高浓度废液10、一高浓度处理单元20、一低浓度废液30、一低浓度处理单元40、及 一脱附单元50所组成，而上述各单元间连接关系及作用则例举一流体化床的氟酸高浓度 废液处理做为实施例并说明如后，请配合参阅图3所示，是为本专利技术应用于流体化床的高 浓度氟离子废液分段浓度处理系统示意图。步骤A 将含氟离子的高浓度废液10a及要与含氟离子的高浓度废液1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种废液分段浓度处理系统，是应用于高浓度废液处理，其特征在于其处理步骤如下：步骤Ａ：将一高浓度废液（１０ａ）及要与废液反应的药剂（１１ａ）一并导入一高浓度处理单元（２０ａ），藉由该药剂（１１ａ）与该高浓度废液（１０ａ）沉淀反应，以降低废液浓度使其形成一低浓度废液（３０ａ）；步骤Ｂ：将低浓度废液（３０ａ）导引至一低浓度处理单元（４０ａ）进行吸附作业，以降低废液浓度，并产生一高浓度浓缩再生液；步骤Ｃ：将该高浓度浓缩再生液利用一脱附单元（５０ａ）脱附后使其提高废液浓度，再导引至该高浓度废液（１０ａ）中并重复Ａ－Ｃ步骤。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡峻宏，温一鸿，杨月香，
申请(专利权)人：蔡峻宏，温一鸿，杨月香，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]