一种太阳能电池片回填方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种太阳能电池片回填方法及装置。涉及太阳能电池制备工艺领域，包括：调整平衡腔和卸载腔之间的回填管路至预设管径；同步根据指令控制平衡腔至卸载腔的下平衡阀选择执行第一控制，和/或第二控制，和/或第三控制，使得太阳能电池片位于由平衡腔至卸载腔的过程中，作用于太阳能电池片的压力由真空气压以动态梯度变化至大气压；其中，所述第一控制包括开时间10

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池片回填方法及装置


[0001]本专利技术涉及太阳能电池制备工艺领域，尤其涉及一种太阳能电池片回填方法及装置。

技术介绍

[0002]随着太阳能电池发展迅速，成本控制和效率提升是太能电池能片制备的关键。现有技术中，制备太阳能电池片通常工艺流程中硅片会经过多个不同气压腔体进行处理，具体的如：将硅片在大气中放置在载板上，载板通过传输到装载腔中，在装载腔抽真空；然后再传输到工艺腔进行刻蚀或镀膜；完成后，载板进入卸载腔，在卸载腔经过几次氮气吹扫后通入氮气或大气至大气压；载板传输出卸载腔，然后硅片从载板上取下进行下一道工序；载板循环到装载区进行新一轮处理；装载腔在载板输出后，进行几次氮气吹扫，然后通入氮气或大气至大气压接受新的载板；同样的卸载腔要抽真空后接受下一块完成工艺的载板；前述载板通过装载腔进入卸载腔的过程需要进行大气回填处理，即使得卸载腔至大气压的过程，回填时间是影响产能的重要因素，回填过程中由于压力变化产生的电池碎片也是影响太阳能电池片制备效率的关键因素。

技术实现思路

[0003]为了克服上述技术缺陷，本专利技术的目的在于提供一种太阳能电池片回填方法及装置，解决现有太阳能电池片制备过程中回填时间长且产生碎片率较高的问题。
[0004]本专利技术公开了一种太阳能电池片回填方法，包括：
[0005]调整平衡腔和卸载腔之间的回填管路至预设管径；
[0006]同步根据指令控制平衡腔至卸载腔的下平衡阀选择执行第一控制，和/或第二控制，和/或第三控制，使得太阳能电池片位于由平衡腔至卸载腔的过程中，作用于太阳能电池片的压力由真空气压以动态梯度变化至大气压；
[0007]其中，所述第一控制包括开时间10
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100ms，关时间100
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500ms，次数5
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30次；所述第二控制包括开时间30
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300ms，关时间100
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500ms，次数5
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30次；所述第三控制包括开时间100
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500ms，关时间100
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500ms，次数5
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30次。
[0008]优选地，根据指令控制下平衡阀执行第一控制，和/或第二控制，和/或第三控制，使得作用于太阳能电池片的压力以8000pa、15000pa至30000pa三次动态变化至大气压。
[0009]优选地，根据指令控制下平衡阀控制循环执行第一控制，和/或第二控制，和/或第三控制。
[0010]优选地，调整回填管路由2个15mm管径的管路为3个60mm管径的管路。
[0011]优选地，在根据指令控制平衡腔至卸载腔的下平衡阀前，控制平衡腔至卸载腔的上平衡阀工作180ms，并根据下平衡阀的控制使得作用于太阳能电池片两侧压力保持相对稳定。
[0012]本专利技术还提供一种太阳能电池片回填装置，包括平衡腔和卸载腔，还包括：
[0013]管道控制模块，用于调整平衡腔和卸载腔之间的回填管路至预设管径；
[0014]气动控制模块，用于同步根据指令控制平衡腔至卸载腔的下平衡阀选择执行第一控制，和/或第二控制，和/或第三控制，使得太阳能电池片位于由平衡腔至卸载腔的过程中，作用于太阳能电池片的压力由真空气压以动态梯度变化至大气压；
[0015]其中，所述第一控制包括开时间10
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100ms，关时间100
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500ms，次数5
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30次；所述第二控制包括开时间30
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300ms，关时间100
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500ms，次数5
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30次；所述第三控制包括开时间100
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500ms，关时间100
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500ms，次数5
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30次。
[0016]优选地，所述平衡腔设置包括第一平衡腔和第二平衡腔；
[0017]通过气动模块根据指令控制第一平衡腔、第二平衡腔至卸载腔的下平衡阀，使得太阳能电池片由第一平衡腔经过第二平衡腔至卸载腔的过程中，压力以动态梯度变化至大气压。
[0018]优选地，还包括上平衡控制模块，用于在根据指令控制平衡腔至卸载腔的下平衡阀前，控制平衡腔至卸载腔的上平衡阀工作180ms，并根据下平衡阀的控制使得作用于太阳能电池片两侧压力保持相对稳定。
[0019]采用了上述技术方案后，与现有技术相比，具有以下有益效果：
[0020]本申请提出的回填方法及装置通过调整回填管路的管径，并同步据指令控制平衡腔至卸载腔的下平衡阀选择执行第一控制，和/或第二控制，和/或第三控制，使得太阳能电池片位于由平衡腔至卸载腔的过程中，作用于太阳能电池片的压力由真空气压以动态梯度变化至大气压，通过第一控制，第二控制，第三控制可实现不同的回填速度，实现动态梯度大气回填，解决现有太阳能电池片制备过程中回填时间长且产生碎片率较高的问题。
附图说明
[0021]图1为本专利技术所述一种太阳能电池片回填方法及装置实施例一的流程图；
[0022]图2为本专利技术所述一种太阳能电池片回填方法及装置实施例二的模块示意图。
[0023]附图标记：
[0024]3‑
太阳能电池片回填装置；31
‑
平衡腔；311
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第一平衡腔；312
‑
第二平衡腔；32
‑
卸载腔；33
‑
管道控制模块；34
‑
气动控制模块。
具体实施方式
[0025]以下结合附图与具体实施例进一步阐述本专利技术的优点。
[0026]这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本公开相稳定的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本公开的一些方面相稳定的装置和方法的例子。
[0027]在本公开使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本公开。在本公开和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。
[0028]应当理解，尽管在本公开可能采用术语第一、第二、第三等来描述各种信息，但这
些信息不应限于这些术语。这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。取决于语境，如在此所使用的词语“如果”可以被解释成为“在
……
时”或“当
……
时”或“响应于确定”。
[0029]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池片回填方法，其特征在于，包括：调整平衡腔和卸载腔之间的回填管路至预设管径；同步根据指令控制平衡腔至卸载腔的下平衡阀选择执行第一控制，和/或第二控制，和/或第三控制，使得太阳能电池片位于由平衡腔至卸载腔的过程中，作用于太阳能电池片的压力由真空气压以动态梯度变化至大气压；其中，所述第一控制包括开时间10
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100ms，关时间100
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500ms，次数5
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30次；所述第二控制包括开时间30
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300ms，关时间100
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500ms，次数5
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30次；所述第三控制包括开时间100
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500ms，关时间100
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500ms，次数5
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30次。2.根据权利要求1所述的回填方法，其特征在于：根据指令控制下平衡阀执行第一控制，和/或第二控制，和/或第三控制，使得作用于太阳能电池片的压力以8000pa、15000pa至30000pa三次动态变化至大气压。3.根据权利要求1所述的回填方法，其特征在于：根据指令控制下平衡阀控制循环执行第一控制，和/或第二控制，和/或第三控制。4.根据权利要求1所述的回填方法，其特征在于：调整回填管路由2个15mm管径的管路为3个60mm管径的管路。5.根据权利要求1所述的回填方法，其特征在于，还包括：在根据指令控制平衡腔至卸载腔的下平衡阀前，控制平衡腔至卸载腔的上平衡阀工作180ms，并根据下平衡...

【专利技术属性】
技术研发人员：张政，黄立根，范恒灵，臧凯，
申请(专利权)人：江苏杰太光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：