本发明专利技术提供一种小型MEMS传感器测试设备及测试方法，涉及MEMS传感器测试领域。该基于MEMS传感器测试设备及测试方法，包括固定架，所述固定架的内侧中部设置有箱体，所述箱体的内部后侧左端固定连接在温度检测仪的后端，所述箱体的内部后侧右端固定连接在压强检测仪的后端，所述固定架的内侧上下端中部均固定连接在伸缩杆缸体底端，所述伸缩杆杆体顶端分别贯穿箱体的上下端中部并固定连接在压缩板的靠外一侧中部，所述箱体的内部设置有MEMS传感器。温度检测仪和压强检测仪对箱体内的温度和压强采集，MEMS传感器对箱体内的温度和压强采集，并通过采集的数据进行对比，解决了MEMS传感器测试的温度和压强准确性不够准确的问题。感器测试的温度和压强准确性不够准确的问题。感器测试的温度和压强准确性不够准确的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种小型MEMS传感器测试设备及测试方法
[0001]本专利技术涉及MEMS传感器测试
，具体为一种小型MEMS传感器测试设备及测试方法。
技术介绍
[0002]MEMS传感器即微机电系统，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，已成为世界瞩目的重大科技领域之一，它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景，包括微型压力传感器、加速度传感器、微型温度传感器、数字微镜显示器等，MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器，与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点，同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
[0003]现有的MEMS传感器在对温度和压强测试时，通过将MEMS传感器放置在温度和压强的静态输出箱内测试温度和压强，但是静态温度或压强输出箱在输出温度和压强时，由于外界不确定因素的干扰，容易导致温度和压强略微改变，使MEMS传感器测试的温度和压强准确性略微不够准确，需要设计一种小型MEMS传感器测试设备及测试方法，在对MEMS传感器温度和压强检测时，能够通过对空间内的温度和压强进行准确检测后，通过与MEMS传感器检测的温度和压强进行对比，增加MEMS传感器检测的准确性。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种小型MEMS传感器测试设备及测试方法，解决了MEMS传感器测试的温度和压强准确性不够准确的问题。
[0005]为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种小型MEMS传感器测试设备，包括固定架，所述固定架的内侧左端中部固定连接有冷暖风扇，所述固定架的内侧中部设置有箱体，所述箱体的左右端中部均固定连接有连通头，所述连通头分别固定连接在进气管和排气管的一端，所述进气管的另一端固定连接在进气斗的右侧，所述进气斗的另一侧位于冷暖风扇的右侧，所述排气管的另一端贯穿固定架的内侧右端中部并向外延伸，所述箱体的内部后侧左端固定连接在温度检测仪的后端，所述箱体的内部后侧右端固定连接在压强检测仪的后端，所述固定架的内侧上下端中部均固定连接在伸缩杆缸体底端，所述伸缩杆杆体顶端分别贯穿箱体的上下端中部并固定连接在压缩板的靠外一侧中部，所述箱体的内部设置有MEMS传感器。
[0006]优选的，所述进气管的外侧中部设置有第一电磁阀，所述排气管的外侧设置有第二电磁阀，所述箱体的前侧转动连接有透明观察门。
[0007]优选的，所述箱体的上下端四角处均固定连接在连接柱的一端，所述连接柱的另一端分别固定连接在固定架的内侧上下端四角处，所述固定架的底端左侧前后部均固定连接有支撑柱。
[0008]优选的，所述固定架的右端中部固定连接在连接套管的外侧，所述连接套管的内侧固定连接在排气管的另一端外侧，所述箱体的上下端中部均固定连接有密封套管。
[0009]优选的，一种小型MEMS传感器测试的测试系统，所述温度检测仪包括温度检测单元和温度检测数据传输单元，所述温度检测单元的输出端与温度检测数据传输单元的输入端连接，所述温度检测数据传输单元的输出端与温度对比单元的输入端连接。
[0010]优选的，所述MEMS传感器包括MEMS温度检测单元和MEMS温度传输单元，所述MEMS温度检测单元的输出端与MEMS温度传输单元的输入端连接，所述MEMS温度传输单元的输出端与温度对比单元的输入端连接。
[0011]优选的，压强检测仪包括压强检测单元和压强检测数据传输单元，所述压强检测单元的输出端与压强检测数据传输单元的输入端连接，所述压强检测数据传输单元的输出端与压强对比单元的输入端连接。
[0012]优选的，所述MEMS传感器包括MEMS压强检测单元和MEMS压强传输单元，所述MEMS压强检测单元的输出端与MEMS压强传输单元的输入端连接，所述MEMS压强传输单元的输出端与压强对比单元的输入端连接。
[0013]优选的，一种小型MEMS传感器测试设备的测试方法，包括以下测试步骤：
[0014]S1：通过箱体内的温度变更，使温度检测仪和MEMS传感器对箱体内的温度进行检测，同时通过箱体内的压强变更，使压强检测仪和MEMS传感器对箱体内的压强进行检测；
[0015]S2：通过温度检测数据传输单元和MEMS温度传输单元将温度检测仪和MEMS传感器对温度采集的数据传输至温度对比单元和MEMS压强传输单元将压强检测仪和MEMS传感器对压强采集的数据传输至压强对比单元和MEMS传感器采集的温度数据传输进行对比，查看MEMS传感器采集的温度数据是否与温度检测仪采集的数据一致，通过压强对比单元和MEMS传感器采集的压强数据进行对比，查看MEMS传感器采集的压强数据是否与压强检测仪采集的数据一致；
[0016]S4：得到结果，以此完成小型MEMS传感器的温度和压强的测试。
[0017]优选的，所述S2步骤中，温度和压强数据的采集方法为通过温度检测仪和压强检测仪对箱体内的温度和压强进行采集。
[0018]工作原理：首先打开第一电磁阀，关闭第二电磁阀，通过冷暖风扇向进气斗内吹风，使冷暖风通过进气管进入箱体的内部，使箱体内的温度升高或降低，然后通过温度检测仪通过温度检测单元对箱体内的温度进行检测，MEMS传感器对箱体内的温度进行检测，温度检测仪和EMS传感器内的温度后，分别通过温度检测数据传输单元和MEMS温度传输单元将检测数据传输至温度对比单元内，将两个温度数据进行对比，同时在箱体内温度升高或降低的同时，通过伸缩杆推动压缩板在箱体内上升和下降，使箱体的内部空间减少，在温度作用的影响下，使箱体内的压强进行改变，通过压强检测仪通过压强检测单元对箱体内的压强进行检测，MEMS传感器对箱体内的压强进行检测，压强检测仪和MEMS传感器内的压强后，分别通过压强检测数据传输单元和MEMS压强传输单元将检测数据传输至压强对比单元内，将两个压强数据进行对比，使MEMS传感器测试的温度和压强准确度升高，在MEMS传感器测试温度和压强后，通过打开第二电磁阀，使箱体内的温度和气压进行重置。
[0019]本专利技术提供了一种小型MEMS传感器测试设备及测试方法。具备以下有益效果：
[0020]1、本专利技术首先通过温度检测仪通过温度检测单元对箱体内的温度进行检测，同时
MEMS传感器通过MEMS温度检测单元对箱体内的温度进行检测，然后温度检测仪和EMS传感器在检测完箱体内的温度后，分别通过温度数据传输单元和MEMS温度传输单元将检测数据传输至温度对比单元内，其次将两个温度数据进行对比，使MEMS传感器测试的温度准确度升高。
[0021]2、本专利技术首先通过压强检测仪通过压强检测单元对箱体内的压强进行检测，同时MEMS传感器通过MEMS压强检测单元对箱体内的压强进行检测，然后压强检测仪和MEMS传感器在检测完箱体内的压强后，分别通过压强数据传输单元和MEMS压强传输单元将检测数据传输本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种小型MEMS传感器测试设备，包括固定架(1)，其特征在于，所述固定架(1)的内侧左端中部固定连接有冷暖风扇(2)，所述固定架(1)的内侧中部设置有箱体(3)，所述箱体(3)的左右端中部均固定连接有连通头(4)，所述连通头(4)分别固定连接在进气管(5)和排气管(7)的一端，所述进气管(5)的另一端固定连接在进气斗(6)的右侧，所述进气斗(6)的另一侧位于冷暖风扇(2)的右侧，所述排气管(7)的另一端贯穿固定架(1)的内侧右端中部并向外延伸，所述箱体(3)的内部后侧左端固定连接在温度检测仪(8)的后端，所述箱体(3)的内部后侧右端固定连接在压强检测仪(9)的后端，所述固定架(1)的内侧上下端中部均固定连接在伸缩杆(10)缸体底端，所述伸缩杆(10)杆体顶端分别贯穿箱体(3)的上下端中部并固定连接在压缩板(11)的靠外一侧中部，所述箱体(3)的内部设置有MEMS传感器(19)。2.根据权利要求1所述的一种小型MEMS传感器测试设备，其特征在于，所述进气管(5)的外侧中部设置有第一电磁阀(12)，所述排气管(7)的外侧设置有第二电磁阀(13)，所述箱体(3)的前侧转动连接有透明观察门(17)。3.根据权利要求1所述的一种小型MEMS传感器测试设备，其特征在于，所述箱体(3)的上下端四角处均固定连接在连接柱(15)的一端，所述连接柱(15)的另一端分别固定连接在固定架(1)的内侧上下端四角处，所述固定架(1)的底端左侧前后部均固定连接有支撑柱(16)。4.根据权利要求1所述的一种小型MEMS传感器测试设备，其特征在于，所述固定架(1)的右端中部固定连接在连接套管(18)的外侧，所述连接套管(18)的内侧固定连接在排气管(7)的另一端外侧，所述箱体(3)的上下端中部均固定连接有密封套管(14)。5.根据权利要求1
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4任一项所述的一种小型MEMS传感器测试的测试系统，其特征在于，包括温度检测仪(8)，所述温度检测仪(8)由温度检测单元(20)和温度检测数据传输单元(21)组成，所述温度检测单元(20)的输出端与温度检测数据传输单元(21)的输入端连接，所述温度检测数据传输单元(21)的输出端与温度对比单元(24)的输入端连接。6.根据权利要求5所述的一种小型MEMS传感器测试的测试系统，其特征在于，包括MEMS传感器(19)，所述MEMS传感器(19)由MEMS温度检测单元(22)和MEMS温度传输单元(23)组成，所述MEMS温度检测单元...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗文东，
申请(专利权)人：苏州英特联智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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