一种空心圆柱体管状硅芯制造技术

本发明专利技术公开了一种空心圆柱体管状硅芯，包括底座，底座一侧中部安装有电极盘，电极盘一侧安装有接线柱，接线柱一侧通过定位座插设有硅芯棒，且硅芯棒呈环形阵列设有多个，硅芯棒设置成U型，底座外侧安装有安装座，且安装座内部开设有安装孔，本发明专利技术管状硅芯内部也通反应气体（内外同时沉积）；在石墨电极中间也开孔，通气体；同时沉积有2大好处，速度更快、更不容易倾倒。易倾倒。易倾倒。

【技术实现步骤摘要】
一种空心圆柱体管状硅芯


[0001]本专利技术涉及管状硅芯
，具体是一种空心圆柱体管状硅芯。

技术介绍

[0002]随着光伏行业的发展，多晶硅的使用量也在逐渐增大。在生产多晶硅的生产技术中，目前改良西门子法为主要的生产方法。在生产多晶硅时，多数是利用还原炉进行多晶硅的还原生产，即通过化学气相沉积(CVD)法在硅芯的表面沉积多晶硅。在进行多晶硅还原反应时，将硅芯插在石墨件上，石墨件安装在导电电极上；在还原炉内用硅芯搭接成若干“Π”字形结构的闭合回路，即进行“搭桥”，安装完成后，按照工艺程序进行置换、击穿、进料并进而发生气相沉积反应，反应产生的晶粒沉积在硅芯上，经过一定时间生长后形成多晶硅棒。
[0003]现有技术中一种管状硅芯，其采用方形硅，沉积效率慢，且容易倾倒。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种空心圆柱体管状硅芯，以解决现有技术中硅芯棒难以形成较大的表面积，从而影响其产能，而且不便于对硅芯棒进行拆装定位处理，进而影响硅芯棒生产的效率问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种空心圆柱体管状硅芯，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）一侧中部安装有电极盘（3），所述电极盘（3）一侧安装有接线柱（2），所述接线柱（2）一侧通过定位座（6）插设有硅芯棒（5），且硅芯棒（5）呈环形阵列设有多个，所述硅芯棒（5）设置成U型。2.根据权利要求1所述的一种空心圆柱体管状硅芯，其特征在于：所述底座（1）外侧安装有安装座（4），且安装座（4...

【专利技术属性】
技术研发人员：施宇杰，
申请(专利权)人：吉顺泰上海智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：